一种新型激光切割镜头的制作方法

    技术2022-07-12  103


    本实用新型涉及一种新型激光切割镜头,属于切割镜头领域。



    背景技术:

    激光切割和钻孔为利用高能量密度的激光束加热工件,使温度迅速上升,在非常短的时间内达到材料的沸点,材料开始汽化,形成蒸气,这些蒸气的喷出速度很大,在蒸气喷出的同时,在材料上形成切口。激光切割为非接触式切割,由于激光切割存在切割质量好、切割效率高、切割速度快、适应性好、后处理成本低等优势,激光切割和钻孔在工业生产加工中发挥越来越重要的作用。

    随着社会的发展,对材料加工的精密度、高效性提出了更高的需求。而激光加工技术现存的一大难题:系统无法同时满足具有较小的聚焦光斑和较长的焦深。现有切割镜头聚焦光斑范围最好的效果在10μm左右,焦深在0.5mm左右。



    技术实现要素:

    为了解决激光加工中,现有镜头无法同时具有小的聚焦光斑和较长的焦深的缺陷,本实用新型提供一种新型激光切割镜头。

    为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案如下:

    一种新型激光切割镜头,包括沿光线入射方向依次设置的轴锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,其中,第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜均为正透镜。

    本实用新型基于贝塞尔理论的新型激光加工镜头,解决了现有镜头无法同时具有小的聚焦光斑和较长的焦深的缺陷。本实用新型的新型激光切割镜头使用于yag激光器或紫外355nm激光器,激光入射光斑直径要小于10mm,本实用新型可以实现焦深为1.5mm,激光聚焦光斑大小约为1μm,可以实现对玻璃、陶瓷等材料的精密切割。

    为了满足高功率激光切割的要求,轴锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜均采用熔融石英材料。

    为了实现小聚焦光斑的精密切割,轴锥镜的顶角范围为170°~178°,且第一透镜和第二透镜的组合焦距范围为100mm~150mm之间,第三透镜、第四透镜和第五透镜的组合焦距范围为10mm~25mm之间。

    为了实现小聚焦光斑的精密切割,进一步优选,锥镜的中心厚度为6±0.2mm;第一透镜的中心厚度为4±0.2mm;第二透镜的中心厚度为4±0.2mm;第三透镜的中心厚度为1.7±0.2mm;第四透镜的中心厚度为1.7±0.2mm;第五透镜的中心厚度为1.5±0.2mm。

    为了满足高功率激光切割的要求,进一步优选,锥镜与第一透镜的中心间距为126.7±1mm,第一透镜与第二透镜的中心间距为56.1±1mm,第二透镜与第三透镜的中心间距为70.9±1mm,第三透镜与第四透镜的中心间距为9.8±0.5mm,第四透镜与第五透镜的中心间距为0.3±0.01mm。

    为了进一步兼顾小的聚焦光斑和较长的焦深,优选,沿光线入射方向,第一透镜的两面依次为第一曲面和第二曲面;第二透镜的两面依次为第三曲面和第四曲面,第三透镜的两面依次为第五曲面和第六曲面,第四透镜的两面依次为第七曲面和第八曲面,第五透镜的两面依次为第九曲面和第十曲面;第一曲面的曲率半径为157.49±0.5mm,第二曲面的曲率半径为-157.49±0.5mm;第三曲面的曲率半径为72.518±0.5mm,第四曲面的曲率半径为无穷大;第五曲面的曲率半径为-122.58±0.5mm,第六曲面的曲率半径为-18.23±0.5mm;第七曲面的曲率半径为17.65±0.5mm,第八曲面的曲率半径为-1250±0.5mm;第九曲面的曲率半径为9.6±0.5mm,第十曲面的曲率半径为24.156±0.5mm。

    为了保证切割精度,优选,轴锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜均装设在镜筒内,镜筒采用的材料为铝,镜筒外形为长直筒,镜筒的中心偏小于1’。

    进一步优选,镜筒包括沿轴向依次相接的第一镜筒、第二镜筒、连接筒和第三镜筒,轴锥镜位于第一镜筒内,第一透镜和第二透镜分别位于第二镜筒内两端的端部,第三透镜、第四透镜和第五透镜均位于第三镜筒内。

    为了进一步提高镜头的精度和稳定性,轴锥镜通过第一压圈固定;第一透镜通过第二压圈固定;第二透镜通过第三压圈固定;第三镜筒内周设有第一内镜座和第二内镜座,第三透镜设在第一内镜座内,第四透镜和第五透镜设在第二内镜座内;第三透镜通过第四压圈固定,第一内镜座通过五压圈固定;第一内镜座和第二内镜座之间设有调节隔圈;第二内镜座通过尼龙头调节螺钉固定;第五透镜通过第六压圈固定;第四透镜和第五透镜之间设有隔圈。上述镜筒由四节筒分组装而成,且在结构中设计了可调节螺钉和调节隔圈,用于镜片的微调,提高镜头的精度。

    为了减少损伤,第一压圈和轴锥镜之间设有弹性垫圈。

    本实用新型未提及的技术均参照现有技术。

    本实用新型新型激光切割镜头,基于贝塞尔光束的传播原理,实现了小的聚焦光斑和较长的焦深的同时满足,可实现对玻璃、陶瓷、蓝宝石等脆性材料的精密切割,还可去材料表面的油墨、pvd等。

    附图说明

    图1为本实用新型实施例中新型激光切割镜头的光路图;

    图2为本实用新型实施例中新型激光切割镜头在工作波段1.5mm内的能量分布图;

    图3为本实用新型实施例中新型激光切割镜头在1.5mm焦深处的能量分布图;

    图4为本实用新型实施例中新型激光切割镜头的内部结构图;

    其中,1为锥镜,2为第一透镜,3为第二透镜,4为第三透镜,5为第四透镜,6为第五透镜,7为第一压圈,8为弹性垫圈,9为第一镜筒,10为第二压圈,11为第二镜筒,12为第三压圈,13为连接筒,14为第四压圈,15为第五压圈,16为第一内镜座,17为调节隔圈,18为尼龙头调节螺钉,19为第三镜筒,20为第二内镜座,21为隔圈,22为第六压圈。

    具体实施方式

    为了更好地理解本实用新型,下面结合实施例进一步阐明本实用新型的内容,但本实用新型的内容不仅仅局限于下面的实施例。

    实施例1

    如图1所示:一种新型激光切割镜头,包括沿光线入射方向依次设置的锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,前述五片透镜均为正透镜,且锥镜和所有透镜都采用熔融石英材料制备。

    锥镜的厚度为6mm,且锥镜的顶角为170°。沿光线入射方向,第一透镜的两面依次为第一曲面和第二曲面;第二透镜的两面依次为第三曲面和第四曲面,第三透镜的两面依次为第五曲面和第六曲面,第四透镜的两面依次为第七曲面和第八曲面,第五透镜的两面依次为第九曲面和第十曲面;第一曲面的曲率半径为157.49mm,第二曲面的曲率半径为-157.49mm,第一透镜的中心厚度为4mm。第三曲面的曲率半径为72.518mm,第四曲面的曲率半径为infinity(无穷大),第二透镜的中心厚度为4mm。第五曲面的曲率半径为-122.58mm,第六曲面的曲率半径为-18.23mm,第三透镜的中心厚度为1.7mm。第七曲面的曲率半径为17.65mm,第八曲面的曲率半径为-1250mm,第四透镜的中心厚度为1.7mm。第九曲面的曲率半径为9.6mm,第十曲面的曲率半径为24.156mm,第五透镜的中心厚度为1.5mm。

    锥镜与第一透镜的中心间距为126.7mm,第一透镜与第二透镜的中心间距为56.1mm,第二透镜与第三透镜的中心间距为70.9mm,第三透镜与第四透镜的中心间距为9.8mm,第四透镜与第五透镜的中心间距为0.3mm。

    第一透镜和第二透镜的组合焦距为101.4mm,第三透镜、第四透镜和第五透镜的组合焦距为15.6mm。

    镜筒采用的材料为铝,镜筒外形为长直筒,镜筒的中心偏小于1’;如图4所示,镜筒包括沿轴向依次相接的第一镜筒、第二镜筒、连接筒和第三镜筒,轴锥镜位于第一镜筒内,第一透镜和第二透镜分别位于第二镜筒内两端的端部,第三透镜、第四透镜和第五透镜均位于第三镜筒内。轴锥镜通过第一压圈固定,第一压圈和轴锥镜之间设有弹性垫圈;第一透镜通过第二压圈固定;第二透镜通过第三压圈固定;第三镜筒内周设有第一内镜座和第二内镜座,第一内镜座和第二内镜座之间设有调节隔圈,第三透镜设在第一内镜座内,第四透镜和第五透镜设在第二内镜座内;第三透镜通过第四压圈固定,第一内镜座通过五压圈固定;第二内镜座通过尼龙头调节螺钉固定;第五透镜通过第六压圈固定;第四透镜和第五透镜之间设有隔圈。

    yag激光器出来的光经过扩束镜后的光斑直径为10mm,然后进入上述激光切割镜头,将厚度为1.5mm的玻璃放置在镜头的1.5mm焦深内,图2为光经过玻璃时的截面能量分布图,可以看出光经过玻璃材料时的能量随着距离逐渐降低,但在1.5mm的距离内能保持较高的能量;图3为0.5mm焦深处的能量分布图,可以看出此能量分布满足贝塞尔函数分布,且可以看出能量最集中的区域约为1μm左右,说明系统的聚焦光斑较小约为1μm左右。


    技术特征:

    1.一种新型激光切割镜头,其特征在于:包括沿光线入射方向依次设置的轴锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,其中,第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜均为正透镜。

    2.如权利要求1所述的新型激光切割镜头,其特征在于:轴锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜均采用熔融石英材料。

    3.如权利要求1或2所述的新型激光切割镜头,其特征在于:轴锥镜的顶角范围为170°~178°,且第一透镜和第二透镜的组合焦距范围为100mm~150mm之间,第三透镜、第四透镜和第五透镜的组合焦距范围为10mm~25mm之间。

    4.如权利要求1或2所述的新型激光切割镜头,其特征在于:锥镜的中心厚度为6±0.2mm;第一透镜的中心厚度为4±0.2mm;第二透镜的中心厚度为4±0.2mm;第三透镜的中心厚度为1.7±0.2mm;第四透镜的中心厚度为1.7±0.2mm;第五透镜的中心厚度为1.5±0.2mm。

    5.如权利要求1或2所述的新型激光切割镜头,其特征在于:锥镜与第一透镜的中心间距为126.7±1mm,第一透镜与第二透镜的中心间距为56.1±1mm,第二透镜与第三透镜的中心间距为70.9±1mm,第三透镜与第四透镜的中心间距为9.8±0.5mm,第四透镜与第五透镜的中心间距为0.3±0.01mm。

    6.如权利要求1或2所述的新型激光切割镜头,其特征在于:沿光线入射方向,第一透镜的两面依次为第一曲面和第二曲面;第二透镜的两面依次为第三曲面和第四曲面,第三透镜的两面依次为第五曲面和第六曲面,第四透镜的两面依次为第七曲面和第八曲面,第五透镜的两面依次为第九曲面和第十曲面;第一曲面的曲率半径为157.49±0.5mm,第二曲面的曲率半径为-157.49±0.5mm;第三曲面的曲率半径为72.518±0.5mm,第四曲面的曲率半径为无穷大;第五曲面的曲率半径为-122.58±0.5mm,第六曲面的曲率半径为-18.23±0.5mm;第七曲面的曲率半径为17.65±0.5mm,第八曲面的曲率半径为-1250±0.5mm;第九曲面的曲率半径为9.6±0.5mm,第十曲面的曲率半径为24.156±0.5mm。

    7.如权利要求1或2所述的新型激光切割镜头,其特征在于:轴锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜均装设在镜筒内,镜筒采用的材料为铝,镜筒外形为长直筒,镜筒的中心偏小于1’。

    8.如权利要求7所述的新型激光切割镜头,其特征在于:镜筒包括沿轴向依次相接的第一镜筒、第二镜筒、连接筒和第三镜筒,轴锥镜位于第一镜筒内,第一透镜和第二透镜分别位于第二镜筒内两端的端部,第三透镜、第四透镜和第五透镜均位于第三镜筒内。

    9.如权利要求8所述的新型激光切割镜头,其特征在于:轴锥镜通过第一压圈固定;第一透镜通过第二压圈固定;第二透镜通过第三压圈固定;第三镜筒内周设有第一内镜座和第二内镜座,第一内镜座和第二内镜座之间设有调节隔圈,第三透镜设在第一内镜座内,第四透镜和第五透镜设在第二内镜座内;第三透镜通过第四压圈固定,第一内镜座通过五压圈固定;第二内镜座通过尼龙头调节螺钉固定;第五透镜通过第六压圈固定;第四透镜和第五透镜之间设有隔圈。

    10.如权利要求9所述的新型激光切割镜头,其特征在于:第一压圈和轴锥镜之间设有弹性垫圈。

    技术总结
    本实用新型公开了一种新型激光切割镜头,包括沿光线入射方向依次设置的轴锥镜、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜,其中,第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜均为正透镜。本实用新型新型激光切割镜头,基于贝塞尔光束的传播原理,实现了小的聚焦光斑和较长的焦深的同时满足,可实现对玻璃、陶瓷、蓝宝石等脆性材料的精密切割,还可去材料表面的油墨、PVD等。

    技术研发人员:王静;王坚;赵科鹏;王国力
    受保护的技术使用者:南京波长光电科技股份有限公司
    技术研发日:2019.07.12
    技术公布日:2020.04.03

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