一种发光二极管的制作方法

    技术2022-07-11  255


    本实用新型属于半导体领域,尤其涉及一种具有位于外延层内的n扩展条的发光二极管。



    背景技术:

    目前正装gan基led的常规工艺制程,为于蓝宝石衬底100上利用mocvd工艺生长外延层。由于蓝宝石衬底100为绝缘材质,须采用台面结构,在衬底100的同一侧制备欧姆接触的p型电极和n型电极。正装led结构中,因台面结构的存在,由于横向电阻的存在,使得靠近n型电极的台面边缘的电流密度大于靠近p型电极焊盘处,即存在电流拥挤效应。尤其对于电流密度较大的芯片,电流拥挤效应更明显。电流的局部集中,势必造成发光效率的降低,以及可靠性隐患。



    技术实现要素:

    为改善技术中电流拥挤效益,本实用新型提供了一种发光二极管,包括衬底、层叠于衬底之上的n型半导体层、发光层和p型半导体层,以及分别与p型半导体层和n型半导体层电性连接的p电极和n电极,所述p电极和n电极位于衬底的同一侧,所述p电极包括焊接区和指状结构,其特征在于:所述衬底和发光层之间有与n电极连接的n扩展条。

    在其一实施例中,所述n扩展条设置于衬底和n型层之间,刻蚀p型半导体层至衬底表面形成孔洞,n电极置于孔洞内,n扩展条与n电极连接。

    在其二实施例中,所述n扩展条设置于n型层中间,刻蚀p型半导体层至n型层中间形成孔洞,n电极置于孔洞内,n扩展条与n电极连接。

    在其三实施例中,所述n扩展条设置于n型层和发光层之间,刻蚀p型半导体层至n型层表面形成孔洞,n电极置于孔洞内,n扩展条与n电极连接。

    其中,所述指状结构至少为1个以上,所述n扩展条至少为1个以上。

    优选的,所述指状结构至少为2个以上,所述n扩展条至少为2以上,所述n扩展条对应于相邻指状结构之间。

    进一步地,所述n扩展条与相邻指状结构的距离相等。

    优选的,所述n扩展条为金属或金属氧化物n扩展条。

    优选的,所述p电极和p型半导体层之间还包括透明导电层。

    优选的,所述衬底为平片衬底或者图形化衬底。

    本实用新型直接在外延生长之前或者外延生长中,于衬底和n型半导体层之间、或者n型半导体层内部、或者n型半导体层和发光层之间制作n扩展条,从而一方面节省了刻蚀形成沟槽的工艺步骤,简化工艺流程,另一方面减小了外延层的损失,增大了发光面积,提高了光效,同时促进了电流扩展,改善了电流拥挤效益。

    附图说明

    图1为本实用新型之实施例1之发光二极管俯视图。

    图2为图1中线a-a之发光二极管截面图。

    图3为图1中线b-b之发光二极管截面图。

    图4为传统发光二极管俯视图。

    图5为图4中线c-c之发光二极管截面图。

    图6为本实用新型之实施例2之发光二极管截面图。

    图7为本实用新型之实施例3之发光二极管截面图。

    具体实施方式

    下面将结合示意图对本实用新型/进行更详细的描述,其中表示了本实用新型的优选实施例,应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型,而仍然实现本实用新型的有利效果。因此,下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道,而并不作为对本实用新型的限制。

    实施例1

    参看附图1和2,本实用新型提供了一种发光二极管,包括衬底100、层叠于衬底100之上的n型半导体层200、发光层300和p型半导体层400,以及分别与p型半导体层400和n型半导体层200电性200连接的p电极500和n电极600。p电极500和n电极600位于衬底100的同一侧,形成正装结构的led。p电极500和n电极600电性相对,当p电极500和n电极600接通外部电源的正负极后,电流注入发光二极管内,发光层300发射一定波长的光线。

    衬底100的材料是选自al2o3、sic、gaas、gan、aln、gap、si、zno、mno及上述的任意组合中择其中之一。本实施例的的外延成长衬底100以蓝宝石衬底100(sapphiresubstrate)为例说明,晶格方向例如为(0001),但本实用新型不限制所使用的衬底100材质与晶格方向。衬底100可以为平片衬底,或者可以对衬底100进行图形化处理,改变光的传播路径,提升发光元件的出光效率。

    p型半导体层400或n型半导体层200分别为p或n型掺杂,p型被掺杂有诸如mg、zn、ca、sr、或者ba的p型掺杂物,n型掺杂有诸如si、ge、或者sn的n型掺杂物,也不排除其他的元素等效替代的掺杂。p型半导体层400或n型半导体层200可以为氮化镓基、砷化镓基、磷化镓基材质。

    发光层300为能够提供光辐射的材料,具体的辐射波段介于550~950nm,如红、黄、橙、红外光,发光层300可以为单量子阱结构或多量子阱结构。

    p电极500和p型半导体层400之间还包括透明导电层700。透明导电层700可以为氧化铟锡层、氧化锌层、氧化锌铟锡层、氧化铟锌层、氧化锌锡层、氧化镓铟锡层、氧化镓铟层、氧化镓锌层、掺杂铝的氧化锌层或掺杂氟的氧化锡层。

    如图1所示,p电极500包括p焊接区510和指状结构520,指状结构520至少为1个以上,进一步地,指状结构520至少为2个以上,可以使注入p焊接区510的电流扩展更均匀。与p焊接区510连接的指状结构520可以促进注入p焊接区510处的电流沿p型半导体层400表面延伸和扩展。

    n电极600也包括n焊接区610以及与其连接的n扩展条620。其中,n焊接区610位于孔洞k内,周围被外延层环绕,n电极600与周围的外延层之间具有间隙,以达到电性隔离的目的。孔洞内的n电极600和周围外延层之间还可以设置绝缘层(图中未示出),以实现两者之间的电性隔离。

    如图2所示,本实用新型中,n扩展条620位于衬底100和发光层300之间。具体地,可以根据实际生产工艺需要,调节n扩展,620在外延层纵向上的位置,例如n扩展条620可以位于衬底100和n型半导体层200之间,或者位于n型半导体层200内,或者位于n型半导体层200和发光层300之间。

    图3为图1中线b-b的发光二极管截面图。如图3所示,本实施例中,以n扩展条620位于衬底100和n型半导体层200之间为例进行说明n扩展条620的有益效果。在外延生长之前,于衬底上制作n扩展条620,然后进行外延生长,形成包括n型半导体层200、发光层300和p型半导体层400的外延层,最后刻蚀p型半导体层400至衬底100表面形成孔洞k,于孔洞k内制作n焊接区610,并且使n焊接区610与n扩展条620连接,可以直接将n焊接区610制作于n扩展条620一端的表面上。

    与指状结构520对应,n扩展条至少为1个以上,进一步地,n扩展条至少为2个以上,促进电流的扩展。当指状结构520为2个以上,n扩展条也为2个以上,为使电流分布均匀,n扩展条可以与相邻指状结构520的距离相等。例如指状结构520为平行的3个,n扩展条为2个,在平面投影上,每一n扩展条位于相邻的指状结构520之间,n扩展条620与指状结构520大致平行,并且2条n扩展条620与3条指状结构520的距离相同。

    因制作n扩展条620之后,需继续进行外延生长,因此n扩展条620的材质须不影响外延生长的质量,其材质可以为金属或者金属氧化物,金属例如金、银、镍、钛、铝等,金属氧化物例如氧化铟锡,氧化锌、氧化锌铟锡、氧化铟锌、氧化锌锡、氧化镓铟锡、氧化镓铟、氧化镓锌、掺杂铝的氧化锌或掺杂氟的氧化锡等。

    图4示出了传统led俯视图,图5为图4中线c-c的截面图,如图4和5所示,常规工艺中,为了制作与n电极600连接的n扩展条620,通常在外延层生长完成后,采用刻蚀工艺,从p型半导体层400经发光层300刻蚀至n型半导体层200形成一定宽度的沟槽g,然后再采用镀膜工艺在沟槽g中制作n扩展条620。常规工艺,一方面增加了制作n扩展条620的刻蚀步骤,另一方面形成沟槽g的过程中,经刻蚀去掉的外延层造成损失,减小了外延发光面积,降低了光效。

    本实用新型中,直接在衬底100和n型半导体层200之间制作n扩展条,然后继续外延生长形成外延层,在外延生长完成后,刻蚀p型半导体层400至衬底100表面形成孔洞,在孔洞内制作n电极600,从而无需进一步采用刻蚀工艺形成放置n扩展条的沟槽,简化了工艺步骤。

    实施例2

    参看附图6,本实施例与实施例1的区别在于,调整n扩展条620的位置,n扩展条620设置于n型层中间,刻蚀p型半导体层400至n型层中间形成孔洞,n电极600置于孔洞内,n扩展条620与n电极600连接。

    实施例3

    参看附图7,本实施例与实施例1和2的区别在于,调整n扩展条620的位置,n扩展条620设置于n型层和发光层300之间,刻蚀p型半导体层400至n型层表面形成孔洞k,n电极600置于孔洞内,n扩展条620与n电极600连接。

    相较于传统led,通过刻蚀外延层形成设置n扩展条620的沟槽g,本实用新型直接在外延生长之前或者外延生长中,于衬底100和n型半导体层200之间、或者n型半导体层200内部、或者n型半导体层200和发光层300之间制作n扩展条620,从而一方面节省了刻蚀形成沟槽g的工艺步骤,简化工艺流程,另一方面减小了外延层的损失,增大了发光面积,提高了光效,同时促进了电流扩展,改善了电流拥挤效益。

    应当理解的是,上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例,本实用新型的范围不限于该实施例,凡依本实用新型所做的任何变更,皆属本实用新型的保护范围之内。


    技术特征:

    1.一种发光二极管,包括衬底、层叠于衬底之上的n型半导体层、发光层和p型半导体层,以及分别与p型半导体层和n型半导体层电性连接的p电极和n电极,所述p电极和n电极位于衬底的同一侧,所述p电极包括焊接区和指状结构,其特征在于:所述衬底和发光层之间有与n电极连接的n扩展条。

    2.根据权利要求1所述的一种发光二极管,其特征在于:所述n扩展条为金属或金属氧化物n扩展条。

    3.根据权利要求1所述的一种发光二极管,其特征在于:所述n扩展条设置于衬底和n型层之间,刻蚀p型半导体层至衬底表面形成孔洞,n电极置于孔洞内,n扩展条与n电极连接。

    4.根据权利要求1所述的一种发光二极管,其特征在于:所述n扩展条设置于n型层中间,刻蚀p型半导体层至n型层中间形成孔洞,n电极置于孔洞内,n扩展条与n电极连接。

    5.根据权利要求1所述的一种发光二极管,其特征在于:所述n扩展条设置于n型层和发光层之间,刻蚀p型半导体层至n型层表面形成孔洞,n电极置于孔洞内,n扩展条与n电极连接。

    6.根据权利要求1~5所述的任意一种发光二极管,其特征在于:所述指状结构至少为1个以上,所述n扩展条至少为1个以上。

    7.根据权利要求6所述的一种发光二极管,其特征在于:所述指状结构至少为2个以上,所述n扩展条至少为2个以上,所述n扩展条对应于相邻指状结构之间。

    8.根据权利要求7所述的一种发光二极管,其特征在于:所述n扩展条与相邻指状结构的距离相等。

    9.根据权利要求1~5所述的任意一种发光二极管,其特征在于:所述p电极和p型半导体层之间还包括透明导电层。

    10.根据权利要求1所述的一种发光二极管,其特征在于:所述衬底为平片衬底或者图形化衬底。

    技术总结
    本实用新型属于半导体领域,尤其涉及一种发光二极管,包括衬底100、层叠于衬底100之上的N型半导体层、发光层和P型半导体层,以及分别与P型半导体层和N型半导体层电性连接的P电极和N电极,所述P电极和N电极位于衬底100的同一侧,所述P电极包括焊接区和指状结构,其特征在于:所述衬底和发光层之间有与N电极连接的N扩展条。本实用新型通过在衬底和发光层之间设置与N电极连接的N扩展条,增大外延层发光面积,促进电流扩展,改善电流拥挤效益。

    技术研发人员:韩权威;汪学鹏;隗彪;陈亭玉;李烨;郭师宇;晋沙沙;戴志祥;孙旭;张家豪
    受保护的技术使用者:安徽三安光电有限公司
    技术研发日:2019.07.25
    技术公布日:2020.04.03

    转载请注明原文地址:https://symbian.8miu.com/read-666.html

    最新回复(0)