真空镀膜设备的气密性检测装置的制作方法

    技术2026-10-08  4


    本技术涉及真空镀膜机,具体为真空镀膜设备的气密性检测装置。


    背景技术:

    1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

    2、随着人们生活的不断变化,人们对于真空镀膜机的使用也变得越来越常见,但是在真空镀膜机的使用时,需要保证设备的气密性,所以现在提出一种新的结构,来解决这一技术问题。


    技术实现思路

    1、(一)解决的技术问题

    2、针对现有技术的不足,本实用新型提供了真空镀膜设备的气密性检测装置,具备对于真空镀膜机气密性检测等优点,解决了不便于对设备气密性进行检测的问题。

    3、(二)技术方案

    4、为实现上述背景技术中提到的对于真空镀膜设备进行气密性检测的目的,本实用新型提供如下技术方案:真空镀膜设备的气密性检测装置,包括连接结构,所述连接结构外表面一侧设置有风管设备;

    5、所述连接结构包括装置架,所述装置架外表面一侧设置有垫板,所述装置架外表面一侧设置有连接管,所述装置架外表面一侧设置有连接架,所述连接架外表面一侧设置有连接块,所述连接架一端设置有装置管,所述装置管内部设置有转管,所述转管外表面设置有绷带,所述绷带一端设置有连接钩,所述装置管外表面一侧设置有螺纹板,所述螺纹板外表面一侧设置有螺纹杆;

    6、所述风管设备包括风管,所述风管内部设置有风扇,所述风管外表面一侧设置有装置板,所述装置板外表面一侧设置有支管,所述支管内部设置有辅助管,所述辅助管内部设置有限位杆,所述辅助管外表面设置有弹簧,所述风管一端设置有盖板,所述盖板外表面一侧设置连接杆。

    7、优选的,所述连接架数量为两个,且两个所述连接架均匀设置于装置架上下两端。

    8、优选的,所述连接管一端与装置架外表面一侧接触,并贯穿装置架外表面一侧,至装置架内壁一侧,且与装置架之间固定连接。

    9、优选的,所述螺纹板外表面一侧与装置管外表面一侧接触,并贯穿装置管外表面一侧,至装置管内,且与装置管之间固定连接。

    10、优选的,所述螺纹杆一端与螺纹板外表面一侧接触,并贯穿螺纹板外表面一侧,至螺纹板外表面另一侧,且与螺纹板之间螺纹连接。

    11、连接块外表面一侧设置有连接孔,且连接孔一端与连接块外表面一侧接触,并贯穿连接块外表面一侧,至连接块内,且连接孔与连接钩之间相适配,且连接钩与连接孔相适配,从而使得连接钩与连接孔插接时,再通过转动转管,使得绷带拉动,且当螺纹杆转动时,使得螺纹杆左右运动,当螺纹杆对绷带挤压时,使得绷带位置固定,不能带动连接架运动;

    12、且连接架一端与装置架之间通过转轴连接,从而使得连接架可以转动,则使得该装置可以对不同规格的设备使用。

    13、优选的,所述装置板数量为两个,且两个所述装置板均匀设置于风管外表面上下两侧,且与风管之间固定连接。

    14、辅助管内壁左右两侧设置有上下滑槽,且上下滑槽外表面一侧与辅助管内壁一侧接触,并贯穿辅助管内壁一侧,至辅助管外表面一侧,且限位杆设置于辅助管内,且限位杆外表面一侧设置有辅助杆,且辅助杆一端与限位杆外表面一侧固定连接,且辅助杆另一端与上下滑槽内壁滑动连接,从而使得限位杆在上下运动时,更具有稳定性,且辅助杆外表面一侧与弹簧一端固定连接,从而使得弹簧可以带动限位杆向下运动。

    15、与现有技术相比,本实用新型提供了真空镀膜设备的气密性检测装置,具备以下有益效果:

    16、1、本实用新型,通过使得连接结构与风管设备之间连接,然后再通过将连接结构与真空镀膜设备之间连接,然后再打开盖板,通过观察风扇是否转动,来判断真空镀膜设备气密性。

    17、2、本实用新型,通过设置在风管装置内的盖板,且盖板外表面设置有连接杆,当使得限位杆与连接杆插接时,使得盖板与风管之间固定连接,从而使得在不用时,可以对设备进行防护。



    技术特征:

    1.真空镀膜设备的气密性检测装置,包括连接结构(1),其特征在于:所述连接结构(1)外表面一侧设置有风管设备(2);

    2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的气密性检测装置,其特征在于:所述连接架(104)数量为两个,且两个所述连接架(104)均匀设置于装置架(101)上下两端。

    3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的气密性检测装置,其特征在于:所述连接管(103)一端与装置架(101)外表面一侧接触,并贯穿装置架(101)外表面一侧,至装置架(101)内壁一侧,且与装置架(101)之间固定连接。

    4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的气密性检测装置,其特征在于:所述螺纹板(110)外表面一侧与装置管(106)外表面一侧接触,并贯穿装置管(106)外表面一侧,至装置管(106)内,且与装置管(106)之间固定连接。

    5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的气密性检测装置,其特征在于:所述螺纹杆(111)一端与螺纹板(110)外表面一侧接触,并贯穿螺纹板(110)外表面一侧,至螺纹板(110)外表面另一侧,且与螺纹板(110)之间螺纹连接。

    6.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的气密性检测装置,其特征在于:所述装置板(203)数量为两个,且两个所述装置板(203)均匀设置于风管(201)外表面上下两侧,且与风管(201)之间固定连接。


    技术总结
    本技术涉及真空镀膜机技术领域,且公开了真空镀膜设备的气密性检测装置,包括连接结构,所述连接结构外表面一侧设置有风管设备,所述连接结构包括装置架,所述装置架外表面一侧设置有垫板,所述装置架外表面一侧设置有连接管,所述装置架外表面一侧设置有连接架,所述连接架外表面一侧设置有连接块,所述连接架一端设置有装置管,所述装置管内部设置有转管,所述转管外表面设置有绷带,所述绷带一端设置有连接钩,所述装置管外表面一侧设置有螺纹板。该技术,通过使得连接结构与风管设备之间连接,然后再通过将连接结构与真空镀膜设备之间连接,然后再打开盖板,通过观察风扇是否转动,来判断真空镀膜设备气密性。

    技术研发人员:熊西剑
    受保护的技术使用者:东莞市德隆保纳米科技有限公司
    技术研发日:20240229
    技术公布日:2024/10/24
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