本技术涉及晶棒转运,尤其涉及一种晶棒转运车。
背景技术:
1、单晶棒从炉内取出后,上部温度低下部温度高,需要将其放置于晶棒转运车,待晶棒完全冷却后再进行加工。
2、但是,晶棒通常由吊运装置直接放置于转运车的固定支架上,两者直接接触,存在机械冲击过大或转运车运行过程的振动,导致晶棒损坏的问题。
技术实现思路
1、本实用新型提供一种晶棒转运车,用以解决现有技术中晶棒在转运车上易损坏的问题。
2、本实用新型提供一种晶棒转运车,包括:
3、车体;
4、支撑装置,设置有多个,多个所述支撑装置间隔设置在所述车体上,每个所述支撑装置包括弹性件和承载台,所述承载台用于与晶棒的外周面相接触,所述承载台的底部与所述弹性件相接触,所述承载台能够在所述弹性件的作用下沿所述车体的高度方向往复移动。
5、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述车体的一端设置有保温盖,所述保温盖用于盖在晶棒的尾部。
6、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述保温盖的内部设置有保温夹层。
7、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述保温盖的一侧与所述车体铰接连接,所述保温盖的外部设置有翻转把手。
8、根据本实用新型提供的晶棒转运车,多个所述支撑装置沿晶棒的长度方向等间距设置。
9、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述支撑装置还包括底座,所述底座设置在所述车体上,所述底座设置有安装腔,所述弹性件设置在所述安装腔中。
10、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述承载台包括支撑部和滑动连接部,所述支撑部用于与所述晶棒的外周面相接触,所述滑动连接部设置在所述支撑部的下方,所述滑动连接部设置在所述安装腔中,并与所述安装腔滑动连接,且所述滑动连接部的底部与所述弹性件相接触。
11、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述滑动连接部与所述安装腔之间设置有限位结构,所述限位结构包括:
12、限位孔,所述限位孔设置在所述底座的至少一侧,所述限位孔沿所述底座的高度方向延伸,且所述限位孔与所述安装腔连通;
13、连接销,所述连接销穿过所述限位孔与所述安装腔中的所述滑动连接部相连接,所述连接销能够随所述滑动连接部在所述限位孔内沿所述底座的高度方向做往复移动。
14、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述支撑部设置有v形承载面。
15、根据本实用新型提供的晶棒转运车,所述车体的底部设置有万向轮。
16、本实用新型提供的一种晶棒转运车,包括车体和支撑装置,由于在车体上设置多个相间隔的支撑装置,使用时,将晶棒水平放置并由多个支撑装置共同支撑,保证晶棒运输稳定的同时,相邻支撑装置之间的间隙还有利于晶棒的冷却,通过在每个支撑装置中设置弹性件和承载台,使用于接触并支撑晶棒的承载台通过弹性件的作用,为晶棒运输过程提供了缓冲和减震功能,当车体受到振动或冲击时,弹性件能够吸收部分能量,减少车体传递给晶棒的振动和冲击力,从而保护晶棒免受损坏。
1.一种晶棒转运车,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的晶棒转运车,其特征在于,所述车体(1)的一端设置有保温盖(3),所述保温盖(3)用于盖在晶棒的尾部。
3.根据权利要求2所述的晶棒转运车,其特征在于,所述保温盖(3)的内部设置有保温夹层(31)。
4.根据权利要求2所述的晶棒转运车,其特征在于,所述保温盖(3)的一侧与所述车体(1)铰接连接,所述保温盖(3)的外部设置有翻转把手(32)。
5.根据权利要求1所述的晶棒转运车,其特征在于,多个所述支撑装置(2)沿晶棒的长度方向等间距设置。
6.根据权利要求1所述的晶棒转运车,其特征在于,所述支撑装置(2)还包括底座(23),所述底座(23)设置在所述车体(1)上,所述底座(23)设置有安装腔(231),所述弹性件(21)设置在所述安装腔(231)中。
7.根据权利要求6所述的晶棒转运车,其特征在于,所述承载台(22)包括支撑部(221)和滑动连接部(222),所述支撑部(221)用于与所述晶棒的外周面相接触,所述滑动连接部(222)设置在所述支撑部(221)的下方,所述滑动连接部(222)设置在所述安装腔(231)中,并与所述安装腔(231)滑动连接,且所述滑动连接部(222)的底部与所述弹性件(21)相接触。
8.根据权利要求7所述的晶棒转运车,其特征在于,所述滑动连接部(222)与所述安装腔(231)之间设置有限位结构,所述限位结构包括:
9.根据权利要求7所述的晶棒转运车,其特征在于,所述支撑部(221)设置有v形承载面。
10.根据权利要求1所述的晶棒转运车,其特征在于,所述车体(1)的底部设置有万向轮(11)。
