本发明属于显示领域,具体涉及一种显示基板及其制备方法和显示面板。
背景技术:
1、oled(organic light-emitting diode,有机发光二极管)显示屏以其自发光、功耗低、轻薄、可挠性、色彩绚丽、对比度高、响应速率快等优势,受到广泛的关注。
技术实现思路
1、本发明提供一种显示基板及其制备方法和显示面板。该显示基板,一方面,能防止阴极穿刺所导致的阴极与第一电极通过电荷产生层间接接触,从而避免发光器件的漏电效应;另一方面,第一电极所对应的发光器件的开口可以增大至极限开口,从而可增大发光器件的发光亮度并提高其发光效率。
2、本发明提供一种显示基板,包括基板,
3、多个第一电极,位于所述基板一侧且同层设置,所述多个第一电极排布呈阵列,
4、还包括绝缘阻挡层,位于所述第一电极的边缘侧面上,所述第一电极的边缘侧面包括第一区、第二区和第三区,所述第一区、所述第二区和所述第三区依次远离所述基板分布,所述绝缘阻挡层至少覆盖所述第一电极的边缘侧面的所述第二区。
5、在一些实施例中,所述第一电极包括第一子层、第二子层和第三子层,所述第一子层、所述第二子层和所述第三子层依次远离所述基板叠置,
6、所述第二子层的厚度大于所述第一子层的厚度,
7、所述第二子层的厚度大于所述第三子层的厚度,
8、所述第一子层的边缘侧面为所述第一区,
9、所述第二子层的边缘侧面为所述第二区,
10、所述第三子层的边缘侧面为所述第三区。
11、在一些实施例中,所述第一电极的边缘侧面与所述基板之间的夹角大于0°且小于或等于90°。
12、在一些实施例中,所述绝缘阻挡层的沿垂直于所述第一电极的边缘侧面方向的厚度范围为100~200埃。
13、在一些实施例中,所述绝缘阻挡层的材料包括氟碳聚合物。
14、在一些实施例中,相邻两所述第一电极之间的间距范围为180~250nm。
15、在一些实施例中,还包括绝缘填充层,位于相邻的所述第一电极之间,
16、所述绝缘填充层的背离所述基板的一侧表面与所述第一电极的背离所述基板的一侧表面平齐。
17、在一些实施例中,还包括绝缘填充层,位于相邻的所述第一电极之间,
18、所述绝缘填充层的背离所述基板的一侧表面与所述基板之间的距离小于所述第一电极的背离所述基板的一侧表面与所述基板之间的距离。
19、在一些实施例中,还包括绝缘填充层,位于相邻的所述第一电极之间,
20、所述绝缘填充层的背离所述基板的一侧形成有凹槽,所述凹槽和与其相邻的所述第一电极的边缘侧面之间的距离大于0且小于100nm。
21、本发明还提供一种显示面板,包括上述显示基板。
22、在一些实施例中,还包括像素界定层、发光功能层和第二电极,
23、所述像素界定层位于所述显示基板中第一电极背离基板的一侧,所述像素界定层中开设有多个第一开口和多个第二开口,所述第一开口在所述基板上的正投影位于所述第一电极在所述基板上的正投影区域内,所述第二开口在所述基板上的正投影位于所述显示基板中绝缘填充层在所述基板上的正投影区域内;
24、所述发光功能层和所述第二电极依次叠置于所述像素界定层的背离所述显示基板的一侧,
25、所述发光功能层的对应所述第一开口的区域与所述第一电极接触,
26、所述发光功能层包括叠置的至少一个电荷产生层和多个发光层,所述电荷产生层位于相邻的所述发光层之间,
27、所述发光功能层中至少所述电荷产生层在所述第二开口处断开。
28、在一些实施例中,所述像素界定层包括第一子层、第二子层和第三子层,所述第一子层、所述第二子层和所述第三子层依次远离所述显示基板叠置,
29、在所述第二开口的边缘处,所述第二子层、所述第一子层和所述第三子层的边缘在所述基板上的正投影沿远离所述第一电极在所述基板上正投影的方向依次分布。
30、本发明还提供一种显示基板的制备方法,包括:制备基板;
31、在所述基板的一侧制备多个第一电极;
32、还包括制备绝缘阻挡层,
33、所述绝缘阻挡层制备于所述第一电极的边缘侧面上,所述第一电极的边缘侧面包括第一区、第二区和第三区,所述第一区、所述第二区和所述第三区依次远离所述基板分布,所述绝缘阻挡层至少覆盖所述第一电极的边缘侧面的所述第二区。
34、在一些实施例中,所述制备绝缘阻挡层,包括:
35、在干法刻蚀形成所述第一电极的图形后,减小向干法刻蚀工艺腔室内通入氧气的流量至50sccm以下,同时向所述工艺腔室内通入三氟甲烷气体,并将所述工艺腔室内三氟甲烷气体和四氟化碳气体的通入流量比例调整为100%~500%,继续干法刻蚀,以在所述第一电极的边缘侧面上形成所述绝缘阻挡层。
36、在一些实施例中,所述制备绝缘阻挡层,包括:
37、在干法刻蚀形成所述第一电极的图形后,减小向干法刻蚀工艺腔室内通入氧气的流量至50sccm以下,同时向所述工艺腔室内通入六氟化硫气体,并将所述工艺腔室内六氟化硫气体和四氟化碳气体的通入流量比例调整为100%~200%,继续干法刻蚀,以在所述第一电极的边缘侧面上形成所述绝缘阻挡层。
38、本发明的有益效果:本发明所提供的显示基板,通过使绝缘阻挡层至少覆盖第一电极的边缘侧面的第二区,一方面,能至少阻挡电荷产生层与第一电极边缘侧面第二区之间的直接接触,从而防止阴极穿刺所导致的阴极与第一电极通过电荷产生层间接接触,进而可避免发光器件的漏电效应;另一方面,相邻第一电极之间的间隔区内无需再保留一定厚度的氧化硅作为横向保护层,从而相邻第一电极之间的间隔区的宽度可以减小至工艺极限宽度,进而第一电极所对应的发光器件的开口可以增大至极限开口,最终可增大发光器件的发光亮度并提高其发光效率。
39、本发明所提供的显示面板,通过采用上述显示基板,一方面,能避免显示面板中发光器件的漏电效应,另一方面,能增大发光器件的开口,从而增大显示面板的发光亮度和发光效率。
1.一种显示基板,包括基板,
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第一电极包括第一子层、第二子层和第三子层,所述第一子层、所述第二子层和所述第三子层依次远离所述基板叠置,
3.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第一电极的边缘侧面与所述基板之间的夹角大于0°且小于或等于90°。
4.根据权利要求3所述的显示基板,其特征在于,所述绝缘阻挡层的沿垂直于所述第一电极的边缘侧面方向的厚度范围为100~200埃。
5.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述绝缘阻挡层的材料包括氟碳聚合物。
6.根据权利要求3所述的显示基板,其特征在于,相邻两所述第一电极之间的间距范围为180~250nm。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的显示基板,其特征在于,还包括绝缘填充层,位于相邻的所述第一电极之间,
8.根据权利要求1-6任意一项所述的显示基板,其特征在于,还包括绝缘填充层,位于相邻的所述第一电极之间,
9.根据权利要求1-6任意一项所述的显示基板,其特征在于,还包括绝缘填充层,位于相邻的所述第一电极之间,
10.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1-9任意一项所述的显示基板。
11.根据权利要求10所述的显示面板,其特征在于,还包括像素界定层、发光功能层和第二电极,
12.根据权利要求11所述的显示面板,其特征在于,所述像素界定层包括第一子层、第二子层和第三子层,所述第一子层、所述第二子层和所述第三子层依次远离所述显示基板叠置,
13.一种显示基板的制备方法,包括:制备基板;
14.根据权利要求13所述的显示基板的制备方法,其特征在于,所述制备绝缘阻挡层,包括:
15.根据权利要求13所述的显示基板的制备方法,其特征在于,所述制备绝缘阻挡层,包括:
