本技术涉及单晶炉液口距测量,更具体地说,本技术涉及一种新型单晶炉液口距标定工具。
背景技术:
1、新型单晶炉液口距标定工具是用于测量和标定单晶炉液口距的一种工具。在单晶生长过程中,需要准确控制单晶炉液面与单晶生长炉内炉底的距离,以确保单晶的生长质量和效率。而液口距即为液面与炉底之间的距离。
2、其中,经检索发现,专利申请号为cn202320327274.6的实用新型专利公开了一种单晶炉用液口距的测量装置,至少包括安装于导流筒本体底部的测量组件。测量组件包括环状安装部,以及沿环状安装部的底部端面周向设置、并在轴向上往下延伸超出环状安装部底部端面的多个测量单体。环状安装部所在平面与导流筒的底部端面处于同一水平面。测量单体延伸超出环状安装部底部端面的长度不同,测量单体在碰触到液面时,测量单体超出环状安装部底部端面的长度用于示出液口距。
3、该结构在使用时,通过在导流筒本体的底部端面设置环状安装部,环状安装部上设置多个测量单体,通过多个测量单体能够直接地测量熔融硅液面距离弧状安装部的距离,从而能够直接地测量液口距,以使液口距的测量更精准,但是该结构在使用时无法根据需求进行适当的调节,造成测量时不便捷,影响测量效果。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型提供一种新型单晶炉液口距标定工具,旨在解决上述背景技术中提出的问题。
2、本实用新型是这样实现的,本实用新型提供如下技术方案:一种新型单晶炉液口距标定工具,包括用于支撑的支撑板,所述支撑板上设置有两个测距组件;
3、所述测距组件包括设置在支撑板上用于支撑的支撑杆,所述支撑杆上设置有位置可调的托板;
4、所述托板上设置有角度可调的横板,所述横板的一端设置有用于测距的千分表,所述千分表的一侧设置有安装在横板上用于导向的导向块,所述导向块上滑动连接有延伸至千分表上用于测距的石英探针;
5、可以看出,上述技术方案中,使用千分表和石英探针来检测测量杆的延伸长度,将其转换为液口距,通过多次测量和调整,可以准确标定单晶炉液口距,并实现对单晶生长过程的精确控制,当石英探针与测量杆相接触时,通过导向块对石英探针进行导向,确保石英探针进行测量时的稳定性
6、可选的,在一种可能的实施方式中,所述托板上开设有用于错位的卡槽,所述卡槽内活动连接有轴销块,所述轴销块,所述轴销块的顶部且位于横板的表面贯穿开设有第一长腰孔,所述第一长腰孔内滑动连接有位置可调的限位螺栓,所述限位螺栓的底部延伸至轴销块上并与轴销块螺纹连接,所述托板的外侧设置有用于定位的旋钮,所述旋钮的一端延伸至支撑杆上,所述支撑杆的底部设置有辅助定位杆,所述辅助定位杆和支撑杆均延伸至支撑板上并与支撑板相卡接,所述横板上且位于千分表的底部开设有第二长腰孔,所述第二长腰孔内设置有安装在千分表上的卡块;
7、可以看出,上述技术方案中,通过旋转旋钮使得托板在支撑杆上失去限位,托板上各个结构能够在支撑杆上进行位置调节,通过松开限位螺栓调节横板的位置,以提高装置在进行测量时的多样性,同时也可以调节横板和轴销块的角度对千分表和石英探针的角度进行调节。
8、本实用新型的技术效果和优点:
9、通过设置测距组件,与现有技术相比,整体设计简单,结构合理,通过各个结构的相应配合使用,千分表和石英探针来检测测量杆的延伸长度,将其转换为液口距,通过多次测量和调整,可以准确标定单晶炉液口距,并实现对单晶生长过程的精确控制;
10、通过托板上各个结构能够在支撑杆上进行位置调节,通过松开限位螺栓调节横板的位置,以提高装置在进行测量时的多样性,同时也可以调节横板和轴销块的角度对千分表和石英探针的角度进行调节;
11、当石英探针与测量杆相接触时,通过导向块对石英探针进行导向,确保石英探针进行测量时的稳定性。
1.一种新型单晶炉液口距标定工具,包括用于支撑的支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)上设置有两个测距组件;
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉液口距标定工具,其特征在于:所述托板(3)上开设有用于错位的卡槽(8),所述卡槽(8)内活动连接有轴销块(9),所述轴销块(9)。
3.根据权利要求2所述的一种新型单晶炉液口距标定工具,其特征在于:所述轴销块(9)的顶部且位于横板(4)的表面贯穿开设有第一长腰孔(10),所述第一长腰孔(10)内滑动连接有位置可调的限位螺栓(11),所述限位螺栓(11)的底部延伸至轴销块(9)上并与轴销块(9)螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉液口距标定工具,其特征在于:所述托板(3)的外侧设置有用于定位的旋钮(12),所述旋钮(12)的一端延伸至支撑杆(2)上。
5.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉液口距标定工具,其特征在于:所述支撑杆(2)的底部设置有辅助定位杆(13),所述辅助定位杆(13)和支撑杆(2)均延伸至支撑板(1)上并与支撑板(1)相卡接。
6.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉液口距标定工具,其特征在于:所述横板(4)上且位于千分表(5)的底部开设有第二长腰孔(14),所述第二长腰孔(14)内设置有安装在千分表(5)上的卡块(15)。
