一种简化互联结构重布线的工艺方法与流程

    技术2026-08-22  10


    本发明属于半导体封装,具体涉及一种简化互联结构重布线的工艺方法。


    背景技术:

    1、正常rdl重布线的制备方法,包括采用溅射种子层技术、光刻技术,对衬底上的光刻胶层进行曝光,再通过钻蚀或刻蚀的方式修饰剩余底部光刻胶层图形,最后进行金属电镀,形成rdl布线层。多层rdl重布线则采用多次重复叠加的方式作业。此制作方式在封装领域是一种标准的工艺流程,但制备的细节导致重布线层工艺成本较高。


    技术实现思路

    1、为解决现有技术中存在的技术问题,本发明的目的在于提供一种简化互联结构重布线的工艺方法。

    2、为实现上述目的,达到上述技术效果,本发明采用的技术方案为:

    3、一种简化互联结构重布线的工艺方法,包括以下步骤:

    4、步骤一:在芯片上制备金属层;

    5、步骤二:将多个步骤一所得芯片包覆形成一个整体,使得多个芯片在同一个平面;

    6、步骤三:在步骤二所得半成品表面增设绝缘层ⅰ;

    7、步骤四:在绝缘层ⅰ表面形成导电层;

    8、步骤五:在导电层表面形成第一层rdl图形;

    9、步骤六:形成rdl图形层;

    10、步骤七:在rdl图形层表面形成绝缘层ⅱ;

    11、步骤八:使芯片pad和/或rdl图形层裸露;

    12、步骤九:在步骤八的基础上,进行rdl增层工序,形成重布线层,通过一次性穿透多个金属层来实现各rdl层之间的导通。

    13、进一步的,步骤一中,所述金属层的厚度为3微米以上。

    14、进一步的,步骤二中,采用塑封或者贴绝缘膜的方式,将多个步骤一所得芯片包覆形成一个整体。

    15、进一步的,步骤三中,所述绝缘层ⅰ的厚度大于5微米。

    16、进一步的,步骤四中,在绝缘层ⅰ表面形成导电层的步骤包括:

    17、首先在绝缘层ⅰ表面形成种子层,再在种子层上方采用电镀的工艺形成导电层。

    18、进一步的,所述种子层采用cu或ti/cu。

    19、进一步的,步骤五中,在导电层表面形成第一层rdl图形的步骤包括:

    20、在导电层表面贴上过程胶膜,过程胶膜为可光刻胶膜,再通过曝光显影方式形成第一层rdl图形,所述过程胶膜在步骤六中去除。

    21、进一步的,步骤六中,通过刻蚀的方式形成rdl图形层。

    22、进一步的,步骤八中,通过uv&co2开孔的方式,结合具体设计,进行各种搭配,制作出不同种类的互联层,使得芯片pad裸露和/或rdl图形层裸露。

    23、与现有技术相比,本发明的有益效果为:

    24、本发明公开了一种简化互联结构重布线的工艺方法,通过一次性穿透多个金属层来实现各rdl层之间的导通,实现与各芯片互联,实现多层rdl布线,可有效的降低工艺成本。



    技术特征:

    1.一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,包括以下步骤:

    2.根据权利要求1所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,步骤一中,所述金属层的厚度为3微米以上。

    3.根据权利要求1所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,步骤二中,采用塑封或者贴绝缘膜的方式,将多个步骤一所得芯片包覆形成一个整体。

    4.根据权利要求1所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,步骤三中,所述绝缘层ⅰ的厚度大于5微米。

    5.根据权利要求1所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,步骤四中,在绝缘层ⅰ表面形成导电层的步骤包括:

    6.根据权利要求5所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,所述种子层采用cu或ti/cu。

    7.根据权利要求1所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,步骤五中,在导电层表面形成第一层rdl图形的步骤包括:

    8.根据权利要求1所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,步骤六中,通过刻蚀的方式形成rdl图形层。

    9.根据权利要求1所述的一种简化互联结构重布线的工艺方法,其特征在于,步骤八中,通过uv&co2开孔的方式,结合具体设计,进行各种搭配,制作出不同种类的互联层,使得芯片pad裸露和/或rdl图形层裸露。


    技术总结
    本发明公开了一种简化互联结构重布线的工艺方法,包括以下步骤:步骤一:在芯片上制备金属层;步骤二:将多个步骤一所得芯片包覆形成一个整体;步骤三:在步骤二所得半成品表面增设绝缘层Ⅰ;步骤四:在绝缘层Ⅰ表面形成导电层;步骤五:在导电层表面形成第一层RDL图形;步骤六:形成RDL图形层;步骤七:在RDL图形层表面形成绝缘层Ⅱ;步骤八:使芯片pad和/或RDL图形层裸露;步骤九:在步骤八的基础上,进行RDL增层工序,形成重布线层,通过一次性穿透多个金属层来实现各RDL层之间的导通。本发明通过一次性穿透多个金属层来实现各RDL层之间的导通,实现与各芯片互联,实现多层RDL布线,可有效的降低工艺成本。

    技术研发人员:孙妮,王姣,马书英
    受保护的技术使用者:华天科技(昆山)电子有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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