本发明涉及载荷传感器元件。
背景技术：
1、在jph07－167720a中公开了一种压力传感器。
2、该压力传感器是由树脂制的上壳体以及组装在上壳体中而构成压力传感器的。压力传感元件将其基板的圆形部分的周缘部作为固定部分，将该固定部分内侧的圆形部分作为受压部。在压力传感器元件的受压部设置有应变感测电阻体。另外，压力传感器在压力传感器元件的非应变部设置有调整用电阻体。
技术实现思路
1、在这样的压力传感器中，具有与下壳体的凹部连通安装的管，或与元件部分对应地与设置于上壳体的凹部连通安装的管，要通过这些管中的一个来测定的压力施加在元件的圆形部分。即，在承受到载荷时，压力传感器元件整体变形。因此，即使使用调整用电阻体来进行温度补偿，调整用电阻体的输出也会受到压力传感器元件的变形的影响。
2、由此，导致温度校正的精度降低。
3、因此，本发明的目的在于能够提高温度补偿精度。
4、本发明的一个方式的载荷传感器元件是用于测量表面压力载荷的载荷传感器元件，具备：基板；以及无机层，具有承受载荷的受压面，并且所述无机层被设置为覆盖所述基板的一面的一部分。载荷传感器元件具备薄膜电阻体，所述薄膜电阻体是电阻值根据所述无机层所承受的载荷而变化的电阻体，并且具有主体部以及两端部，所述主体部夹在所述基板与所述无机层之间，所述两端部配置在未被所述无机层覆盖的所述基板的暴露部。载荷传感器元件具备：第一温度补偿电阻体，独立于所述薄膜电阻体，并且配置在所述基板的一面的所述暴露部；以及第二温度补偿电阻体，配置在所述基板的另一面，并表现出与所述第一温度补偿电阻体相同的行为。
5、根据本方式，在基板因无机层所承受的载荷而变形时，设置于基板的一面的第一温度补偿电阻体和设置于基板的另一面的第二温度补偿电阻体产生彼此相反极性的电阻值变化。具体而言，示例性地，若第一温度补偿电阻体的电阻值变高，则第二温度补偿电阻体的电阻值变低。
6、因此，通过利用第一温度补偿电阻体所示的电阻值和第二温度补偿电阻体所示的电阻值，能够消除因基板的变形而产生的电阻值的变化。由此，能够获取依赖于环境温度的电阻值的变化成分。
7、因此，在测量表面压力载荷的载荷传感器元件中，通过抑制由基板的变形引起的对电阻值的变化的影响，能够提高温度补偿精度。
1.一种载荷传感器元件，用于测量表面压力载荷，所述载荷传感器元件具备：
2.根据权利要求1所述的载荷传感器元件，其中，
3.根据权利要求1或2所述的载荷传感器元件，其中，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的载荷传感器元件，其中，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的载荷传感器元件，具备：
6.根据权利要求1至5中任一项所述的载荷传感器元件，其中，
