碳化硅粉料石墨加热装置的制作方法

    技术2026-07-20  10


    本技术涉及石墨加热领域,具体涉及一种碳化硅粉料石墨加热装置。


    背景技术:

    1、碳化硅晶体的生产中多是将碳化硅籽晶放置在坩埚顶部,将sic粉料作为原料放置在坩埚底部,在高温低压的密闭环境下,sic粉料升华,并在温度梯度和浓度差的作用下向上传输至籽晶附近,达到过饱和状态后再结晶,在上述过程中多采用石墨加热器对碳化硅晶体进行加热,石墨加热器的加热效果会直接影响碳化硅晶体的产品质量。


    技术实现思路

    1、为解决现有技术的问题,本实用新型提供了一种碳化硅粉料石墨加热装置。

    2、为了达到上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

    3、一种碳化硅粉料石墨加热装置,包括:

    4、箱体;

    5、下加热器,由石墨材质构成,为可拆卸结构,其固定于箱体内;

    6、箱盖,匹配设置于箱体上部;

    7、上加热器,由石墨材质构成,为可拆卸结构,其固定于箱盖内;

    8、下加热器包括:

    9、主加热器;

    10、侧加热器一,固定于主加热器一侧;

    11、侧加热器二,固定于主加热器另一侧,侧加热器二与侧加热器一对称设置;

    12、主加热器包括:

    13、电极一,一端穿入至箱体内,且电极一固定于箱体一侧;

    14、左加热板,一端与左加热板上部固定连接;

    15、连接件一,与左加热板可拆卸连接;

    16、底板,一侧与连接件一固定连接;

    17、连接件二,一侧与底板另一侧固定连接,连接件二的结构与连接件一的结构一致;

    18、右加热板,底部与连接件二可拆卸连接;

    19、电极二,一端与右加热板上部固定连接;

    20、底板平放于左加热板和右加热板之间,底板一侧通过连接件一与左加热板可拆卸连接,底板另一侧通过连接件二与右加热板可拆卸连接;左加热板下端开设插槽,插槽从左加热板的前端延伸至后端。

    21、所述箱体包括:

    22、箱壳;

    23、箱体保温层,固定设置于箱壳内,箱体保温层由石墨硬毡构成;

    24、箱体隔板,为板状结构,其固定设置于箱体保温层内。

    25、所述连接件一包括:

    26、凸起,匹配设置于插槽内;

    27、连接板,固定于凸起底部一侧;

    28、支撑板,固定于连接板上部一侧,支撑板横向水平设置;

    29、底板一侧搭接于连接件一的支撑板上,底板另一侧搭接于连接件二的支撑板上。

    30、所述侧加热器一包括:

    31、侧电极一,一端穿入至箱体内;

    32、衔接板一,与侧电极一一端固定连接;

    33、侧加热板,一侧与衔接板一固定连接;

    34、衔接板二,一侧与侧加热板另一侧固定连接;

    35、侧电极二,一端穿入至箱体内,侧电极二一端与衔接板二另一侧固定连接,侧加热板上部两侧固定延展片,延展片凸出于侧加热板的侧面。

    36、所述箱盖包括:

    37、箱盖壳;

    38、箱盖保温层,固定设置于箱盖壳内侧和底部,箱盖保温层由石墨硬毡构成;

    39、箱盖隔板,固定设置于箱盖保温层内,上加热器位于箱盖隔板内。

    40、所述上加热器包括:

    41、上电极一,固定于箱盖一侧,上电极一一端穿入至箱盖内;

    42、竖板一,位于箱盖隔板内,竖板一与上电极一端固定连接;

    43、上加热板,一侧与竖板一固定连接;

    44、竖板二,一侧与上加热板另一侧固定连接;

    45、上电极二,固定于箱盖另一侧,上电极二一端穿入至箱盖内。

    46、与现有技术相比,实用新型的有益效果是:安装拆卸方便,在一定程度上提高了石墨加热器的加热效果,下加热器和上加热器的相对位置可根据加热情况需要进行微调,通过箱体与下加热器的协同配合以及上加热器与箱盖的协同配合共同完成对坩埚内石墨粉的加热。



    技术特征:

    1.一种碳化硅粉料石墨加热装置,其特征在于,包括:

    2.根据权利要求1所述碳化硅粉料石墨加热装置,其特征在于,所述箱体包括:

    3.根据权利要求2所述碳化硅粉料石墨加热装置,其特征在于,所述连接件一包括:

    4.根据权利要求3所述碳化硅粉料石墨加热装置,其特征在于,所述侧加热器一包括:

    5.根据权利要求4所述碳化硅粉料石墨加热装置,其特征在于,所述箱盖包括:

    6.根据权利要求5所述碳化硅粉料石墨加热装置,其特征在于,所述上加热器包括:


    技术总结
    本技术涉及石墨加热领域,具体涉及一种碳化硅粉料石墨加热装置。包括箱体、下加热器、箱盖和上加热器,下加热器和上加热器的相对位置可根据加热情况需要进行微调,通过箱体与下加热器的协同配合以及上加热器与箱盖的协同配合共同完成对坩埚内石墨粉的加热。本技术安装拆卸方便,在一定程度上提高了石墨加热器的加热效果。

    技术研发人员:黄义,左雷杰,庞宇,梁赫
    受保护的技术使用者:郑州鬃晶科技有限公司
    技术研发日:20240312
    技术公布日:2024/10/24
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