本技术涉及太阳能光伏领域，具体而言，涉及一种真空镀膜生产线。
背景技术：
1、在pvd镀膜过程中，为了使成膜质量更好，经常对基板进行加热。在基板加热过程，加热源的热量会以辐射的方式传递给真空腔体内包括基板传输系统的各个零部件。基板传输系统所用的轴承温度升高，当轴承的温度升得足够高时，其寿命严重降低。
2、为了提高轴承的寿命，业界普遍使用陶瓷轴承，而陶瓷轴承的成本很高，pvd整台设备的成本也被无形中抬高。
技术实现思路
1、本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜生产线，以解决现有技术中真空镀膜生产线的轴承寿命短的问题。
2、为了实现上述目的，本实用新型提供了一种真空镀膜生产线，包括：基体，基体内部具有真空腔；多个平行布置的基板传输辊道，设置于真空腔内用以运输基板；轴承座组，包括布置于基板传输辊道的轴向方向上的两侧的两个轴承座，多个基板传输辊道通过轴承设置于轴承座上，轴承座内设置有流道，流道具有流道进口和流道出口，基体上设置有分别与流道进口和流道出口对应并连通的第一过流口和第二过流口，流道进口与第一过流口之间密封连接，流道出口与第二过流口之间密封连接。
3、在一个实施方式中，轴承座组为沿基板传送方向上间隔布置的多组，多个平行布置的基板传输辊道被分为与轴承座组的数量相匹配的多个传动组，在基板传送方向上，位于前一组的轴承座组的流道出口与位于后一组的轴承座组的流道进口通过连接管连通，连接管位于基体外侧，连接管的管口与流道进口以及流道出口密封连接。
4、在一个实施方式中，流道包括流入段、流出段以及位于流入段与流出段之间的冷却段，流入段的入口形成流道进口，流出段的出口形成流道出口，冷却段沿多个轴承的布置方向延伸。
5、在一个实施方式中，各轴承的下方均具有冷却段。
6、在一个实施方式中，轴承座上设置有贯穿座体的两个侧端面的第一过流孔，轴承座的底面上设置有向上延伸并在第一过流孔的轴线方向上间隔布置的两个第二过流孔，第一过流孔与第二过流孔连通以形成流道，两个第二过流孔中的一个的端口形成流道进口，另一个的端口形成流道出口，第一过流孔的两端设置有堵头，多个轴承位于第一过流孔上方。
7、在一个实施方式中，两个第二过流孔处均设置有水路接头，两个水路接头分别与流道进口和流道出口密封连接。
8、在一个实施方式中，轴承座上设置有贯穿座体的两个侧端面的第三过流孔，轴承座的座体的两个侧端面上分别设置有相对设置的第一盲孔和第二盲孔，第一盲孔和第二盲孔与第三过流孔平行并位于第三过流孔下方，轴承座的底面上设置有向上延伸并在第三过流孔的轴线方向依次间隔布置的第三盲孔、第四盲孔、第五盲孔和第六盲孔，第三盲孔穿过第一盲孔并与第三过流孔连通，第四盲孔与第一盲孔连通，第五盲孔与第二盲孔连通，第六盲孔穿过第二盲孔并与第三过流孔连通，第三过流孔的两端、第一盲孔和第二盲孔的端口以及第三盲孔和第六盲孔的端口设置有堵头，各盲孔以及第三过流孔共同形成流道，第四盲孔的端口形成流道进口，第五盲孔的端口形成流道出口。
9、在一个实施方式中，在基板传送方向上，位于第一组的轴承座组的第四盲孔的端口和位于最后一组的第五盲孔的端口处均设置有水路接头，两个水路接头分别与对应的流道进口和流道出口密封连接。
10、在一个实施方式中，流道为气体流道或液体流道。
11、在一个实施方式中，真空镀膜生产线还包括：加热装置，包括位于基板传输辊道的上下两侧的上加热器和下加热器。
12、应用本实用新型的技术方案，在镀膜的过程中，向两个轴承座的流道内通入温度较低的流体，低温的流体能够吸收轴承座以及其上的轴承的热量并将该热量排出轴承座。上述结构能够对轴承进行降温，从而保证轴承的寿命。同时，轴承不必设置成本较高的陶瓷轴承，从而降低了真空镀膜生产线的成本。
13、除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。
1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述轴承座组(30)为沿基板传送方向上间隔布置的多组，多个平行布置的基板传输辊道(20)被分为与所述轴承座组(30)的数量相匹配的多个传动组，在所述基板传送方向上，位于前一组的轴承座组(30)的流道出口(313)与位于后一组的轴承座组(30)的流道进口(312)通过连接管(50)连通，所述连接管(50)位于所述基体(10)外侧，所述连接管(50)的管口与所述流道进口(312)以及流道出口(313)密封连接。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述流道(311)包括流入段(314)、流出段(315)以及位于所述流入段(314)与所述流出段(315)之间的冷却段(316)，所述流入段(314)的入口形成所述流道进口(312)，所述流出段(315)的出口形成所述流道出口(313)，所述冷却段(316)沿多个所述轴承(40)的布置方向延伸。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线，其特征在于，各所述轴承(40)的下方均具有所述冷却段(316)。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述轴承座(31)上设置有贯穿座体的两个侧端面的第一过流孔(32)，所述轴承座(31)的底面上设置有向上延伸并在所述第一过流孔(32)的轴线方向上间隔布置的两个第二过流孔(33)，所述第一过流孔(32)与所述第二过流孔(33)连通以形成所述流道(311)，两个所述第二过流孔(33)中的一个的端口形成所述流道进口(312)，另一个的端口形成所述流道出口(313)，所述第一过流孔(32)的两端设置有堵头(60)，多个所述轴承(40)位于所述第一过流孔(32)上方。
6.根据权利要求5所述的真空镀膜生产线，其特征在于，两个所述第二过流孔(33)处均设置有水路接头(70)，两个所述水路接头(70)分别与所述流道进口(312)和所述流道出口(313)密封连接。
7.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述轴承座(31)上设置有贯穿座体的两个侧端面的第三过流孔(34)，所述轴承座(31)的座体的两个侧端面上分别设置有相对设置的第一盲孔(35)和第二盲孔(36)，所述第一盲孔(35)和所述第二盲孔(36)与所述第三过流孔(34)平行并位于所述第三过流孔(34)下方，所述轴承座(31)的底面上设置有向上延伸并在所述第三过流孔(34)的轴线方向依次间隔布置的第三盲孔(371)、第四盲孔(372)、第五盲孔(373)和第六盲孔(374)，所述第三盲孔(371)穿过所述第一盲孔(35)并与所述第三过流孔(34)连通，所述第四盲孔(372)与所述第一盲孔(35)连通，所述第五盲孔(373)与所述第二盲孔(36)连通，所述第六盲孔(374)穿过所述第二盲孔(36)并与所述第三过流孔(34)连通，所述第三过流孔(34)的两端、所述第一盲孔(35)和所述第二盲孔(36)的端口以及所述第三盲孔(371)和所述第六盲孔(374)的端口设置有堵头(60)，各盲孔以及所述第三过流孔(34)共同形成所述流道(311)，所述第四盲孔(372)的端口形成所述流道进口(312)，所述第五盲孔(373)的端口形成所述流道出口(313)。
8.根据权利要求7所述的真空镀膜生产线，其特征在于，在所述基板传送方向上，位于第一组的轴承座组(30)的第四盲孔(372)的端口和位于最后一组的第五盲孔(373)的端口处均设置有水路接头(70)，两个所述水路接头(70)分别与对应的所述流道进口(312)和所述流道出口(313)密封连接。
9.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述流道(311)为气体流道或液体流道。
10.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜生产线还包括：
