一种成膜均匀的光学镀膜装置的制作方法

    技术2026-07-13  4


    本发明涉及光学镀膜,具体为一种成膜均匀的光学镀膜装置。


    背景技术:

    1、随着现代科技的发展,光学镜片的应用日益广泛,市场需求量也大幅度增加。镜片镀膜属于重要的工艺之一,镀膜镜片利用一定厚度的光学薄膜,使镜片获得一些新的、原本不具备的优良性能,也可以改善镜片反射光线的能力,常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜,将镜片置于真空镀膜腔室内,控制真空镀膜腔室达到一定的真空度,在真空室内靶料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。

    2、现有的光学镀膜装置通过工件旋转,便于将工件进行旋转镀膜,使工件成膜均匀,但多数情况下,工件只能进行单向旋转,导致工件表面镀膜均匀度不高,不能达到很好的镀膜效果;因而,在对成膜均匀的光学镀膜装置进行设计时,就需要注意避免工件旋转方向的单一性。


    技术实现思路

    1、基于此,本发明的目的是提供一种成膜均匀的光学镀膜装置,以解决现有的光学镀膜装置在多数情况下,工件只能进行单向旋转,导致工件表面镀膜均匀度不高,不能达到很好的镀膜效果的技术问题。

    2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种成膜均匀的光学镀膜装置,包括底座、镀膜箱和放置筒,所述镀膜箱外侧的下方固定套接有第一齿环,所述放置筒的外侧活动套接有第二齿环,所述镀膜箱的内侧壁固定连接有连接杆,所述连接杆的另一端固定连接有圆环,所述圆环的内侧壁设置有多个呈环形分布的夹持机构,所述夹持机构包括固定杆,所述固定杆的内部活动连接有转杆,所述转杆的顶部固定连接有第二齿轮。

    3、通过采用上述技术方案,使工件具备了双向旋转的功效,不仅能够保障工件成膜的均匀性,还能够大大提高工件的镀膜效果,进而增强了该装置的实用性。

    4、进一步的,所述底座的内部开设有安装槽,所述安装槽的内侧壁转动连接有滚轮,且安装槽通过滚轮与镀膜箱转动连接。

    5、通过采用上述技术方案,使镀膜箱能够于安装槽内部进行稳定地转动,从而确保了光学工件的镀膜过程。

    6、进一步的,所述底座顶部的一端设置有驱动机构,所述驱动机构包括支撑架,所述支撑架上安装有伺服电机,所述伺服电机与控制器电性连接,且伺服电机的输出端连接有第一齿轮,且第一齿轮与第一齿环相啮合。

    7、通过采用上述技术方案,能够在伺服电机通电驱动第一齿轮转动,进而使第一齿轮与第一齿环相啮合,带动镀膜箱进行旋转。

    8、进一步的,所述放置筒内部的下方设置有加热件,且加热件与控制器电性连接,所述放置筒的内部横向设置有呈十字形结构的限位架,所述放置筒的外表面开设有多个通孔,所述放置筒顶端的内部设置有橡胶材质的密封塞。

    9、通过采用上述技术方案,以便打开密封塞将靶料放置于放置筒内部且位于限位架上,并通过加热件对靶料进行加热,使靶料气化经由多个通孔沉积于待镀工件的表面,从而实现镀膜的目的。

    10、进一步的,所述放置筒纵向贯穿于镀膜箱的轴心处,所述放置筒与镀膜箱之间的夹缝处设置有密封圈,且放置筒与镀膜箱之间构成转动连接。

    11、通过采用上述技术方案,使待镀膜的光学工件能够均匀地成膜,并能够大大提升放置筒与镀膜箱之间气密性,保障了工件镀膜的正常运作。

    12、进一步的,所述转杆远离第二齿轮的一端固定连接有夹具,所述转杆与固定杆构成卡合转动连接

    13、通过采用上述技术方案,以便将待镀膜的光学工件固定于夹具上,保障了工件在镀膜过程中的稳定性,且能够防止工件在旋转过程中位置发生偏移。

    14、进一步的,所述放置筒与第二齿环构成卡合转动连接,且第二齿环与第二齿轮相啮合。

    15、通过采用上述技术方案,能够利用第二齿环与第二齿轮之间啮合所产生的咬合力,保障第二齿环稳定旋转的同时,确保后续工件镀膜的均匀性。

    16、进一步的,所述镀膜箱一侧的上方连接有抽气管,且抽气管通过管道连接有真空泵。

    17、通过采用上述技术方案,能够通过真空泵,使镀膜箱内部形成一定的真空度,以便将工件放置于真空环境下,确保了工件的镀膜效果。

    18、综上所述,本发明主要具有以下有益效果:

    19、本发明,通过第一齿环、第一齿轮、第二齿环及第二齿轮,启动伺服电机,使第一齿轮与第一齿环发生啮合,并利用两者啮合所产生的咬合力,带动镀膜箱于安装槽内部进行转动,安装槽通过连接杆带动圆环旋转,圆环带动夹持机构整体转动,使第二齿轮通过与第二齿环啮合后,带动转杆发生转动,进而带动与转杆固定连接的夹具及工件一同转动,进而使工件多个表面能够均匀地与气化后的靶料相接触,保障工件成膜的均匀度;使工件具备了双向旋转的功效,不仅能够保障工件成膜的均匀性,还能够大大提高工件的镀膜效果,进而增强了该装置的实用性。



    技术特征:

    1.一种成膜均匀的光学镀膜装置,包括底座(1)、镀膜箱(3)和放置筒(4),其特征在于:所述镀膜箱(3)外侧的下方固定套接有第一齿环(5),所述放置筒(4)的外侧活动套接有第二齿环(7),所述镀膜箱(3)的内侧壁固定连接有连接杆(8),所述连接杆(8)的另一端固定连接有圆环(9),所述圆环(9)的内侧壁设置有多个呈环形分布的夹持机构(10),所述夹持机构(10)包括固定杆(1001),所述固定杆(1001)的内部活动连接有转杆(1002),所述转杆(1002)的顶部固定连接有第二齿轮(1004)。

    2.根据权利要求1所述的成膜均匀的光学镀膜装置,其特征在于:所述底座(1)的内部开设有安装槽(2),所述安装槽(2)的内侧壁转动连接有滚轮(201),且安装槽(2)通过滚轮(201)与镀膜箱(3)转动连接。

    3.根据权利要求1所述的成膜均匀的光学镀膜装置,其特征在于:所述底座(1)顶部的一端设置有驱动机构(6),所述驱动机构(6)包括支撑架(601),所述支撑架(601)上安装有伺服电机(602),所述伺服电机(602)与控制器电性连接,且伺服电机(602)的输出端连接有第一齿轮(603),且第一齿轮(603)与第一齿环(5)相啮合。

    4.根据权利要求1所述的成膜均匀的光学镀膜装置,其特征在于:所述放置筒(4)内部的下方设置有加热件(401),且加热件(401)与控制器电性连接,所述放置筒(4)的内部横向设置有呈十字形结构的限位架(403),所述放置筒(4)的外表面开设有多个通孔(404),所述放置筒(4)顶端的内部设置有橡胶材质的密封塞(402)。

    5.根据权利要求1所述的成膜均匀的光学镀膜装置,其特征在于:所述放置筒(4)纵向贯穿于镀膜箱(3)的轴心处,所述放置筒(4)与镀膜箱(3)之间的夹缝处设置有密封圈,且放置筒(4)与镀膜箱(3)之间构成转动连接。

    6.根据权利要求1所述的成膜均匀的光学镀膜装置,其特征在于:所述转杆(1002)远离第二齿轮(1004)的一端固定连接有夹具(1003),所述转杆(1002)与固定杆(1001)构成卡合转动连接。

    7.根据权利要求1所述的成膜均匀的光学镀膜装置,其特征在于:所述放置筒(4)与第二齿环(7)构成卡合转动连接,且第二齿环(7)与第二齿轮(1004)相啮合。

    8.根据权利要求1所述的成膜均匀的光学镀膜装置,其特征在于:所述镀膜箱(3)一侧的上方连接有抽气管(11),且抽气管(11)通过管道连接有真空泵。


    技术总结
    本发明公开了一种成膜均匀的光学镀膜装置,涉及光学镀膜技术领域。本发明包括底座、镀膜箱和放置筒,所述镀膜箱外侧的下方固定套接有第一齿环,所述放置筒的外侧活动套接有第二齿环,所述镀膜箱的内侧壁固定连接有连接杆,所述连接杆的另一端固定连接有圆环,所述圆环的内侧壁设置有多个呈环形分布的夹持机构,所述夹持机构包括固定杆,所述固定杆的内部活动连接有转杆,所述转杆的顶部固定连接有第二齿轮,本发明通过第一齿环、第一齿轮、第二齿环及第二齿轮,使工件具备了双向旋转的功效,不仅能够保障工件成膜的均匀性,还能够大大提高工件的镀膜效果,进而增强了该装置的实用性。

    技术研发人员:肖志宏
    受保护的技术使用者:日禺光学科技(苏州)有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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