用于半导体石英板拼接的制造设备的制作方法

    技术2026-07-12  15


    本发明属于半导体用石英部件制造,具体涉及一种用于半导体石英板拼接的制造设备。


    背景技术:

    1、石英的主要成分是二氧化硅的无机非金属矿物,是透明或者非透明的晶体,一般为无色或乳白色,质地坚硬,物理性质和化学性质俊十分稳定,被广泛运用于光源,电子,光通讯,光伏,仪表,激光,航技术和国防领域。

    2、石英产品有的会涉及到光伏、光源等光电半导体的大型设备中,所用的产品规格较大,例如石英大板产品,尺寸有的在500mm以上,厚度在10-50mm左右。现有的焊接工艺对厚度10mm下的板焊接较好,厚度在10-50mm板焊接出现开裂,现有的焊接工艺无法满足产品需求。就要考虑到用多块石英小板进行拼接,例如2拼1、3拼1或者4拼1,得到大规格的石英板,最后铣磨表面,就可作为大品石英件中对厚度需求较厚的原料。

    3、针对这种拼接工艺需求,市场上已经开发了拼接设备,如石英大板立式拼接车床,或者石英大板卧式拼接设备。目前的拼接设备都是采用手动控制,通过手摇丝杠带动导轨上的板做相对运动,让石英板对齐,在排灯的加热中,高温熔化对接。缺点是手动控制方式极为不便,控制精度不高,一边拼接一边手动操作,不利于更好的观察拼接效果,很难随手控制。例如手摇丝杠控制拼板的进给位置,还要手摇控制排灯的位置,很难实现两者动作协调一致性,适合单件生产化,效率不高。


    技术实现思路

    1、本发明针对上述技术问题,目的在于提供一种用于半导体石英板拼接的制造设备。

    2、一种用于半导体石英板拼接的制造设备,包括一机架,所述机架上设置有:

    3、两个石英板夹紧装置,沿左右方向预设距离设置,分别用于固定两个需要拼接的石英板产品;

    4、一石英排灯组件,设置在两个所述石英板夹紧装置之间,用于通过加热对石英板对接位置实现熔化对接;

    5、一石英板对接运动装置,具有可做左右相向或相背运动的两个水平移动端,两个所述水平移动端分别连接两个所述石英板夹紧装置,由所述石英板对接运动装置带动两个所述石英板夹紧装置相向或相背运动;

    6、一排灯往返运动装置,具有可做前后往复运动的水平往复端,所述水平往复端连接所述石英排灯组件,由所述排灯往返运动装置带动所述石英排灯组件做水平往复运动。

    7、本发明使用时,将两个需要拼接的石英板产品分别通过石英板夹紧装置进行固定,通过驱动石英板对接运动装置,带动两个石英板夹紧装置做相对运动,精准控制两个石英板的对接位置。通过石英排灯组件对两个石英板对接位置进行加热,加热时,驱动排灯往返运动装置带动石英排灯组件做往返运动,实现无缝隙的加热熔化,实现拼接。通过本发明的设备的有效衔接,在达到预设时间,对石英板位置准确对齐拼接,提高了拼接面的精度,保证了石英板拼接后变形小,合格率高的特点。

    8、所述机架包括:

    9、一第一铸铁板,水平放置,长度方向与所述石英板对接运动装置的水平运动方向一致,支撑固定所述石英板对接运动装置;

    10、一第二铸铁板,水平放置,长度方向与所述排灯往返运动装置的水平运动方向一致,支撑固定所述排灯往返运动装置;

    11、所述第一铸铁板、所述第二铸铁板分别通过若干方管支撑。

    12、所述石英板夹紧装置包括:

    13、一定位板,底部与所述石英板对接运动装置的其中一个水平移动端连接;

    14、若干压紧组件,沿前后两排设置在所述定位板上,用于将石英板压紧于所述定位板上。

    15、所述定位板上沿左右方向和前后方向分别设置有若干条开槽;

    16、所述压紧组件包括:

    17、一压紧块,长度方向为前后方向,设置有上下连通的长型槽,所述长型槽的长度方向为前后方向;

    18、一调节螺丝,头部端面为平面且位于所述压紧块下方,杆部竖向设置且与所述压紧块的一侧螺纹连接;

    19、一紧定螺丝,头部位于所述压紧块上方,杆部竖向设置且从上穿出于所述长型槽下方伸入于所述开槽内;

    20、一锁紧螺母,螺纹连接于所述紧定螺丝的杆部,位于所述压紧块上方;

    21、前后两排所述压紧组件中的调节螺丝均位于外侧,所述压紧块远离所述调节螺丝的一侧作为压紧端位于内侧,用于压紧石英板。

    22、所述定位板为采用石墨材质的石墨定位板。

    23、所述压紧块为采用石墨材质的石墨压紧块。

    24、所述石英排灯组件包括:

    25、两个导向固定座,沿前后方向预设距离设置在所述排灯往返运动装置的水平往复端上;

    26、两个导向轴,分别固定在对应的所述导向固定座上,每个所述导向轴上设置有至少一个可沿所述导向轴上下滑动或锁紧的调节块;

    27、两排石英灯排,沿上下方向预设距离设置,长度方向为前后方向,两端分别通过若干调节座和导向杆固定在两个所述导向轴的调节块上。

    28、所述石英板对接运动装置包括:

    29、一石英板控制电机,设置在所述机架上;

    30、一丝杆,为正反牙丝杆,一端连接所述石英板控制电机的电机轴,另一端通过轴承固定在所述机架上,由所述石英板控制电机带动所述丝杆转动;

    31、两个丝杆螺母,分别旋转连接于所述丝杆的正反牙两侧,两个所述丝杆螺母作为所述石英板对接运动装置的两个水平移动端。

    32、所述石英板对接运动装置还包括:

    33、两条对接滑轨,沿前后方向预设距离设置在机架上,长度方向为左右方向;

    34、两排对接滑台,分别滑动连接对应的一条所述对接滑轨;

    35、两个对接固定装置,沿左右方向预设距离设置,所述对接固定装置的底部前后两端分别通过若干支撑柱与前后两排的所述对接滑台连接,所述对接固定装置的底部中间与对应的一个丝杆螺母连接,所述对接固定装置的顶面设置有对应的所述石英板夹紧装置。

    36、所述排灯往返运动装置包括:

    37、一电缸固定底板,设置在所述机架上;

    38、一电缸,设置在所述电缸固定底板上,具有可做往复运动的电缸滑台,所述电缸滑台作为所述排灯往返运动装置的水平往复端。

    39、所述排灯往返运动装置还包括:

    40、两条喷灯滑轨,沿左右方向预设距离设置在所述电缸固定底板上,长度方向为前后方向;

    41、两排喷灯滑台,分别滑动连接对应的一条所述喷灯滑轨;

    42、一喷灯固定板,底部左右两端分别与左右两排所述喷灯滑台连接,底部中间连接所述电缸滑台,顶面设置有所述石英排灯组件。

    43、所述用于半导体石英板拼接的制造设备还包括:

    44、一脚踏开关控制装置,具有两个脚踏开关,一个所述脚踏开关连接所述石英板对接运动装置的控制端,另一个所述脚踏开关连接所述排灯往返运动装置的控制端。

    45、有益效果:本发明具有如下优点:

    46、1、代替传统手动控制的拼板设备,采用电动控制,可以精准定位对接。

    47、2、该设备结构合理,符合大厚度板对接工艺要求,操作便利。

    48、3、实现了大厚度板拼接最大化量产的需求,拼接效率更高。

    49、4、采用脚踏开关对两组运动装置实时精准控制,即踩即停,操作简易,更加贴合人机化要求。


    技术特征:

    1.一种用于半导体石英板拼接的制造设备,包括一机架,其特征在于,所述机架上设置有:

    2.如权利要求1所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述机架包括:

    3.如权利要求1所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述石英板夹紧装置包括:

    4.如权利要求3所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述定位板上沿左右方向和前后方向分别设置有若干条开槽;

    5.如权利要求1所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述石英排灯组件包括:

    6.如权利要求1所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述石英板对接运动装置包括:

    7.如权利要求6所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述石英板对接运动装置还包括:

    8.如权利要求1所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述排灯往返运动装置包括:

    9.如权利要求8所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述排灯往返运动装置还包括:

    10.如权利要求1至9中任意一项所述的用于半导体石英板拼接的制造设备,其特征在于,所述用于半导体石英板拼接的制造设备还包括:


    技术总结
    本发明属于半导体用石英部件制造技术领域,具体涉及一种用于半导体石英板拼接的制造设备。一种用于半导体石英板拼接的制造设备,包括机架,机架上设置有:两个石英板夹紧装置,分别用于固定两个需要拼接的石英板产品;石英排灯组件,设置在两个石英板夹紧装置之间,用于通过加热对石英板对接位置实现熔化对接;石英板对接运动装置,具有可做左右相向或相背运动的两个水平移动端,两个水平移动端分别连接两个石英板夹紧装置;排灯往返运动装置,具有可做前后往复运动的水平往复端,水平往复端连接石英排灯组件。通过本发明的设备的有效衔接,对石英板位置准确对齐拼接,提高了拼接面的精度,保证了石英板拼接后变形小,合格率高的特点。

    技术研发人员:王辉,请求不公布姓名
    受保护的技术使用者:上海菲利华石创科技有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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