本发明涉及一种半导体装置,尤其是其恢复损耗的降低。
背景技术:
1、在半导体装置中,利用使用pn结来控制电流的技术。二极管具有pn结,允许从p侧的阳极向n侧的阴极流通的电流,阻断相反方向的电流。而且,导通时,从阳极注入大量被称为电洞的载子,从阴极注入大量被称为电子的载子,从而降低导通时的顺向电压降vf。
2、另一方面,恢复时,将所注入的电洞与电子(载子)分别向阳极与阴极排出,因此若存在大量载子,则恢复损耗err会变大。
3、专利文献1中揭示了设置寿命抑制因数(lifetime killer),使内部的载子消亡,由此加快载子排出的内容。
4、[背景技术文献]
5、[专利文献]
6、[专利文献1]国际公开wo2017/146148号公报
技术实现思路
1、[发明要解决的问题]
2、在这里,寿命抑制因数是通过使半导体形成晶体缺陷而设置的,实施该处理需要大规模的装置及作业工序。进而,设置寿命抑制因数还会造成温度特性变差及漏电流变大的问题。
3、[解决问题的技术手段]
4、本发明的半导体装置包含:
5、半导体基材;
6、阳极电极,形成在所述半导体基材的一侧的表面上;
7、阴极电极,形成在所述半导体基材的另一侧的表面上;
8、p层,形成在所述半导体基材内的所述阳极电极侧;
9、n层,形成在所述半导体基材内的所述p层的所述阴极电极侧;
10、n+层,配置在所述p层与所述n层之间,载子浓度比所述n层高;及
11、阳极沟槽,从所述半导体基材的一侧的表面向另一侧的表面延伸,贯通所述p层,延伸到所述n+层,在周边的所述n+层之间形成有绝缘膜,并且内部配置的导电材连接于所述阳极电极。
12、[发明的效果]
13、根据本发明的半导体装置,通过具有n+层,能使断路时残留的载子为相对较低的浓度,从而在断路时能降低损耗。另外,通过阳极沟槽所带来的电场,能提高耐压。
1.一种半导体装置,包含:
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中
