一种晶圆崩膜效果检验治具的制作方法

    技术2026-07-02  15


    本技术涉及半导体封装,具体地说是一种晶圆崩膜效果检验治具。


    背景技术:

    1、晶圆做完崩膜制程需要检查崩膜是否均匀、完整、没有开裂。现有的检验方式是手持晶圆框架目视观察,检验效果不佳,难以直观判断,易发生品质风险。且员工作业易疲劳,作业效率慢。


    技术实现思路

    1、本实用新型为克服现有技术的不足,提供一种晶圆崩膜效果检验治具。

    2、为实现上述目的,设计一种晶圆崩膜效果检验治具,包括物料平台,其特征在于:所述物料平台上方四周设有凸起卡槽,晶圆框架放置在凸起卡槽的中间,物料平台中间为圆形空心,空心处内部安装led灯,空心处表面安装亚克力板,亚克力板与物料平台表面平整一致,物料平台的上方设有感应开关,物料平台的下方通过伸缩折叠支架与底座连接。

    3、所述物料平台的上方一侧设有调节旋钮。

    4、所述感应开关为接触式开关。

    5、所述亚克力板为白色、防静电亚克力板。

    6、所述物料平台的侧面开有凹槽。

    7、本实用新型同现有技术相比,通过将晶圆框架放置在物料平台上并设置led灯,便于对崩膜效果进行观察,且通过伸缩折叠支架可以对平台进行调节,能够适应不同员工的操作习惯,提高作业效率。



    技术特征:

    1.一种晶圆崩膜效果检验治具,包括物料平台,其特征在于:所述物料平台(1)上方四周设有凸起卡槽(2),晶圆框架(10)放置在凸起卡槽(2)的中间,物料平台(1)中间为圆形空心,空心处内部安装led灯(4),空心处表面安装亚克力板(3),亚克力板(3)与物料平台(1)表面平整一致,物料平台(1)的上方设有感应开关(7),物料平台(1)的下方通过伸缩折叠支架(5)与底座(6)连接。

    2.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述物料平台(1)的上方一侧设有调节旋钮(8)。

    3.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述感应开关(7)为接触式开关。

    4.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述亚克力板(3)为白色、防静电亚克力板。

    5.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述物料平台(1)的侧面开有凹槽(9)。


    技术总结
    本技术涉及半导体封装技术领域,具体地说是一种晶圆崩膜效果检验治具,包括物料平台,其特征在于:所述物料平台上方四周设有凸起卡槽,晶圆框架放置在凸起卡槽的中间,物料平台中间为圆形空心,空心处内部安装LED灯,空心处表面安装亚克力板,亚克力板与物料平台表面平整一致,物料平台的上方设有感应开关,物料平台的下方通过伸缩折叠支架与底座连接。同现有技术相比,通过将晶圆框架放置在物料平台上并设置LED灯,便于对崩膜效果进行观察,且通过伸缩折叠支架可以对平台进行调节,能够适应不同员工的操作习惯,提高作业效率。

    技术研发人员:谢秩生,杨纯利,邵滋人
    受保护的技术使用者:宏茂微电子(上海)有限公司
    技术研发日:20231107
    技术公布日:2024/10/24
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