本技术涉及半导体封装,具体地说是一种晶圆崩膜效果检验治具。
背景技术:
1、晶圆做完崩膜制程需要检查崩膜是否均匀、完整、没有开裂。现有的检验方式是手持晶圆框架目视观察,检验效果不佳,难以直观判断,易发生品质风险。且员工作业易疲劳,作业效率慢。
技术实现思路
1、本实用新型为克服现有技术的不足,提供一种晶圆崩膜效果检验治具。
2、为实现上述目的,设计一种晶圆崩膜效果检验治具,包括物料平台,其特征在于:所述物料平台上方四周设有凸起卡槽,晶圆框架放置在凸起卡槽的中间,物料平台中间为圆形空心,空心处内部安装led灯,空心处表面安装亚克力板,亚克力板与物料平台表面平整一致,物料平台的上方设有感应开关,物料平台的下方通过伸缩折叠支架与底座连接。
3、所述物料平台的上方一侧设有调节旋钮。
4、所述感应开关为接触式开关。
5、所述亚克力板为白色、防静电亚克力板。
6、所述物料平台的侧面开有凹槽。
7、本实用新型同现有技术相比,通过将晶圆框架放置在物料平台上并设置led灯,便于对崩膜效果进行观察,且通过伸缩折叠支架可以对平台进行调节,能够适应不同员工的操作习惯,提高作业效率。
1.一种晶圆崩膜效果检验治具,包括物料平台,其特征在于:所述物料平台(1)上方四周设有凸起卡槽(2),晶圆框架(10)放置在凸起卡槽(2)的中间,物料平台(1)中间为圆形空心,空心处内部安装led灯(4),空心处表面安装亚克力板(3),亚克力板(3)与物料平台(1)表面平整一致,物料平台(1)的上方设有感应开关(7),物料平台(1)的下方通过伸缩折叠支架(5)与底座(6)连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述物料平台(1)的上方一侧设有调节旋钮(8)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述感应开关(7)为接触式开关。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述亚克力板(3)为白色、防静电亚克力板。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆崩膜效果检验治具,其特征在于:所述物料平台(1)的侧面开有凹槽(9)。
