本技术涉及打点装置，具体领域为一种自动化晶圆打点装置。
背景技术：
1、晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)。由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。衬底材料有硅、锗、gaas、inp、gan等。由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆在测试完成后需要进行打点标记不良晶圆，以便后续工序的正常进行。
2、现有技术如中国专利一种晶圆测试用打点装置，公开号：cn219203120u中通过在打点装置进料端设置输送带，在出料端设置推板组件，实现了上料、打点、出料三者自动化，而该专利不足之处在于打点完毕后，需等待推板组件将晶圆推至收集箱后推板组件归位，打点工位才能接收新的晶圆进行打点，这个过程中，上料、打点、出料之间不够连贯，打点装置处于待机或者停机的状态的时间较长，影响晶圆打点效率。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种自动化晶圆打点装置，它可以实现提高晶圆打点效率。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动化晶圆打点装置，包括底座、打点器、驱动电机，驱动电机设于底座上，该打点装置还包括转盘、若干组吸盘组件；所述转盘与驱动电机的输出端连接；若干组吸盘组件均设于转盘的上端且若干组吸盘组件绕转盘的轴心分布；打点器安装在吸盘组件的上侧；驱动电机工作时，若干组吸盘组件择一地与打点器位置对应。
3、优选的，还包括支撑柱；所述驱动电机为空心轴电机；所述转盘的轴心开设通孔；通孔的内径大于支撑柱的外径；支撑柱的下部依次贯穿转盘的通孔和空心轴电机且支撑柱的下端与底座固接；所述打点器安装在支撑柱的上端部。
4、优选的，所述支撑柱与转盘共轴。
5、优选的，所述吸盘组件设有三组，三组吸盘组件绕转盘的轴心均匀分布。
6、优选的，还包括固定板、导杆气缸和安装座；所述导杆气缸通过固定板设于支撑柱的上端部；所述安装座设于导杆气缸的输出端；打点器安装在安装座上；所述导杆气缸的输出方向择一地指向吸盘组件。
7、优选的，所述导杆气缸的输出方向与转盘的径向相同。
8、优选的，所述吸盘组件具有编码器电机、真空发生器和载片吸盘，所述编码器电机固定安装在转盘上，真空发生器安装在编码器电机的输出端；载片吸盘安装在真空发生器上；载片吸盘上设有若干个吸附孔，所述真空发生器与若干个吸附孔连通；打点器位于载片吸盘上侧。
9、优选的，还包括控制器；所述控制器与打点器、编码器电机、真空发生器、驱动电机、导杆气缸均电路连接。
10、优选的，所述支撑柱的外周与空心轴电机为松配合。
11、优选的，所述载片吸盘的轴位于所述打点器的移动路径上。
12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13、通过在转盘上设置三组吸盘组件，通过三组吸盘组件之间的轮换，提高了晶圆进料到打点作业到出料之间的连贯性，减少了打点器待机或停机等待的时间，从而有效地提高了晶圆打点效率；
14、通过采用空心轴电机驱动转盘，而支撑柱下部贯穿空心轴电机，打点器设于支撑柱的上端部且位于吸盘组件的上侧，使本打点装置的结构更加紧凑，占用空间小。
1.一种自动化晶圆打点装置，包括底座（1）、打点器、驱动电机，驱动电机设于底座（1）上，其特征在于：该打点装置还包括转盘（3）、若干组吸盘组件（4）；所述转盘（3）与驱动电机的输出端连接；若干组吸盘组件（4）均设于转盘（3）的上端且若干组吸盘组件（4）绕转盘（3）的轴心分布；打点器安装在吸盘组件（4）的上侧；驱动电机工作时，若干组吸盘组件（4）择一地与打点器位置对应。
2.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：还包括支撑柱（5）；所述驱动电机为空心轴电机（2）；所述转盘（3）的轴心开设通孔；通孔的内径大于支撑柱（5）的外径；支撑柱（5）的下部依次贯穿转盘（3）的通孔和空心轴电机（2）且支撑柱（5）的下端与底座（1）固接；所述打点器安装在支撑柱（5）的上端部。
3.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：所述支撑柱（5）与转盘（3）共轴。
4.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：所述吸盘组件（4）设有三组，三组吸盘组件（4）绕转盘（3）的轴心均匀分布。
5.根据权利要求1所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：还包括固定板（6）、导杆气缸（7）和安装座（8）；所述导杆气缸（7）通过固定板（6）设于支撑柱（5）的上端部；所述安装座（8）设于导杆气缸（7）的输出端；打点器安装在安装座（8）上；所述导杆气缸（7）的输出方向择一地指向吸盘组件（4）。
6.根据权利要求5所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：所述导杆气缸（7）的输出方向与转盘（3）的径向相同。
7.根据权利要求5所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：所述吸盘组件（4）具有编码器电机（41）、真空发生器（42）和载片吸盘（43），所述编码器电机（41）固定安装在转盘（3）上，真空发生器（42）安装在编码器电机（41）的输出端；载片吸盘（43）安装在真空发生器（42）上；载片吸盘（43）上设有若干个吸附孔，所述真空发生器（42）与若干个吸附孔连通；打点器位于载片吸盘（43）上侧。
8.根据权利要求7所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：还包括控制器；所述控制器与打点器、编码器电机（41）、真空发生器（42）、驱动电机、导杆气缸（7）均电路连接。
9.根据权利要求2所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：所述支撑柱（5）的外周与空心轴电机（2）为松配合。
10.根据权利要求7所述的一种自动化晶圆打点装置，其特征在于：所述载片吸盘（43）的轴位于所述打点器的移动路径上。
