一种显影线自动下料设备的制作方法

    技术2026-06-13  1


    本技术属于半导体生产设备,更具体地说,特别涉及一种显影线自动下料设备。


    背景技术:

    1、半导体是常温下导电性能在导体与绝缘体之间的材料,其在集成电路、通信系统、光伏发电、照明等领域都有应用,在半导体行业内,显影线设备也能制造半导体器件,在将半导体器件制造完成后均需要半导体器件取下。

    2、目前在对显影线设备制造出的半导体器件进行下料时多会采用机械手和吸盘配合对半导体器件进行吸附和转移,但是在操作时需要先控制机械手与半导体器件接触,然后再控制吸盘将半导体器件吸附才能对其进行转移,操作时比较繁琐。


    技术实现思路

    1、为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种显影线自动下料设备,以解决现在的半导体下料设备在吸附半导体器件时需要单独控制吸盘,操作比较繁琐的问题。

    2、本实用新型显影线自动下料设备的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:

    3、一种显影线自动下料设备,包括底座;所述底座顶部通过焊接设置有一组平移导架;所述平移导架内侧转动安装有一根丝杆;所述平移导架内侧还滑动安装有一个下支撑块;所述底座的顶部左侧安装有一个电机,且电机的主轴右端与丝杆左端连接;所述下支撑块的顶部通过支架安装有一根电动缸;所述电动缸的顶端通过焊接固定有一块上支撑板;所述上支撑板顶部焊接有一个套筒;所述上支撑板上还滑动安装有一根工件吸附杆;所述工件吸附杆的底端设置有一个吸盘;所述工件吸附杆的外侧还设置有一个弹簧;所述上支撑板的底部还设有一块限位板;所述限位板的后侧设置有一根一号释放杆;所述底座的顶部右侧焊接有一根二号释放杆。

    4、进一步的,所述工件吸附杆为中空式结构,其内侧的空腔与吸盘内侧的空腔相连通,且工件吸附杆的顶部外壁上还设有两个内外贯穿的圆孔。

    5、进一步的,所述下支撑块的下方部分为十字形块,十字形块能够在平移导架内侧的十字形导槽中左右滑动,且下支撑块的中间位置设有一个与丝杆外侧螺纹对应的螺纹孔。

    6、进一步的,所述工件吸附杆的外侧还设置有一块圆形板,且弹簧的底端与这块圆形板的顶部面紧贴,弹簧的顶端与上支撑板前侧圆形板的底部面紧贴。

    7、进一步的,所述上支撑板前侧为一块圆形板,且圆形板的中间位置设有一个内径与工件吸附杆的外径相等的圆孔。

    8、进一步的,所述限位板的底部前侧设有一个楔形块,工件吸附杆上滑后其外侧的圆形板底部面会与限位板底部前侧楔形块的顶部面紧贴,而当下支撑块滑动到最右侧时二号释放杆会通过一号释放杆推动限位板向后弯折。

    9、进一步的,所述工件吸附杆的顶端设置有一个圆柱形橡胶活塞,且这个橡胶活塞的外径与套筒内侧圆柱形空腔的内径相等,套筒的顶部还设有一个圆形开口。

    10、本实用新型提供一种显影线自动下料设备,其有益效果为:

    11、本下料设备在对半导体器件进行吸附时只需控制电动缸收缩带动吸盘与半导体器件接触即可依靠产生的负压自动对其进行吸附,而且在移动到落料位置时也会自动将半导体器件释放,因此也就无需对吸盘单独控制,操作时更加简便。



    技术特征:

    1.一种显影线自动下料设备,其包括:底座(1);所述底座(1)顶部通过焊接设置有一组平移导架(2);所述平移导架(2)内侧转动安装有一根丝杆(3);所述平移导架(2)内侧还滑动安装有一个下支撑块(4);所述底座(1)的顶部左侧安装有一个电机(5),且电机(5)的主轴右端与丝杆(3)左端连接;所述下支撑块(4)的顶部通过支架安装有一根电动缸(6);所述电动缸(6)的顶端通过焊接固定有一块上支撑板(7);特征在于,所述上支撑板(7)顶部焊接有一个套筒(8);所述上支撑板(7)上还滑动安装有一根工件吸附杆(9);所述工件吸附杆(9)的底端设置有一个吸盘(10);所述工件吸附杆(9)的外侧还设置有一个弹簧(11);所述上支撑板(7)的底部还设有一块限位板(12);所述限位板(12)的后侧设置有一根一号释放杆(13);所述底座(1)的顶部右侧焊接有一根二号释放杆(14)。

    2.如权利要求1所述显影线自动下料设备,其特征在于:所述下支撑块(4)的下方部分为十字形块,十字形块能够在平移导架(2)内侧的十字形导槽中左右滑动,且下支撑块(4)的中间位置设有一个与丝杆(3)外侧螺纹对应的螺纹孔。

    3.如权利要求1所述显影线自动下料设备,其特征在于:所述上支撑板(7)前侧为一块圆形板,且圆形板的中间位置设有一个内径与工件吸附杆(9)的外径相等的圆孔。

    4.如权利要求1所述显影线自动下料设备,其特征在于:所述工件吸附杆(9)的顶端设置有一个圆柱形橡胶活塞,且这个橡胶活塞的外径与套筒(8)内侧圆柱形空腔的内径相等,套筒(8)的顶部还设有一个圆形开口。

    5.如权利要求1所述显影线自动下料设备,其特征在于:所述工件吸附杆(9)为中空式结构,其内侧的空腔与吸盘(10)内侧的空腔相连通,且工件吸附杆(9)的顶部外壁上还设有两个内外贯穿的圆孔。

    6.如权利要求1所述显影线自动下料设备,其特征在于:所述工件吸附杆(9)的外侧还设置有一块圆形板,且弹簧(11)的底端与这块圆形板的顶部面紧贴,弹簧(11)的顶端与上支撑板(7)前侧圆形板的底部面紧贴。

    7.如权利要求1所述显影线自动下料设备,其特征在于:所述限位板(12)的底部前侧设有一个楔形块,工件吸附杆(9)上滑后其外侧的圆形板底部面会与限位板(12)底部前侧楔形块的顶部面紧贴,而当下支撑块(4)滑动到最右侧时二号释放杆(14)会通过一号释放杆(13)推动限位板(12)向后弯折。


    技术总结
    本技术提供一种显影线自动下料设备,涉及半导体生产设备技术领域,解决了现在的半导体下料设备在吸附半导体器件时需要单独控制吸盘,操作比较繁琐的问题,包括底座;所述平移导架内侧转动安装有一根丝杆;所述下支撑块的顶部通过支架安装有一根电动缸;所述电动缸的顶端通过焊接固定有一块上支撑板;所述上支撑板顶部焊接有一个套筒;所述上支撑板上还滑动安装有一根工件吸附杆;所述工件吸附杆的底端设置有一个吸盘;所述工件吸附杆的外侧还设置有一个弹簧;所述上支撑板的底部还设有一块限位板;所述限位板的后侧设置有一根一号释放杆;所述底座的顶部右侧焊接有一根二号释放杆。本下料设备无需对吸盘单独控制,操作时更加简便。

    技术研发人员:刘金平,蔡金鑫
    受保护的技术使用者:轩明视(江苏)人工智能科技有限公司
    技术研发日:20240109
    技术公布日:2024/10/24
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