本技术涉及真空泵尾排管道清理设备领域，特别是涉及一种尾排管道清理装置和真空泵清理系统。
背景技术：
1、pecvd(等离子增强型化学气相淀积)技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(石墨舟)产生辉光放电，利用辉光放电使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在硅片表面形成固态薄膜，在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，如氮化硅，在真空泵的作用下从出口排出。
2、由于真空泵的尾排管道长时间不清理，会造成尾排管道堵塞，影响抽风量，现有技术中，当真空泵的尾排管道发生堵塞时，一般由设备维护人员拆卸尾排管道，堆放在维护小车上，推至清洗房，用水冲洗尾排管道，这样不仅浪费水资源，而且副产物不溶于水，经排出后会污染环境。另外，现有技术中还存在通过毛刷清理的方式，然而由于真空泵的尺寸和型号不同，其尾排管道的尺寸不同，现有技术中的毛刷尺寸调节复杂，适用范围小，导致清理成本升高。
3、因此，如何提高尾排管道清理装置的适用性和操作便捷性，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是提供一种尾排管道清理装置和真空泵清理系统，可以提高清洗效率，适用范围广，尺寸调节方便。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
3、一种尾排管道清理装置，包括：
4、刷头部件；
5、支撑主体，所述支撑主体内设有供杂质流动的腔室；
6、调节部件，包括相互连接的连接部和导向部，所述刷头部件设于所述连接部的外侧，所述导向部安装在所述支撑主体并沿所述支撑主体的轴向倾斜设置；
7、驱动部件，活动安装在所述支撑主体，所述驱动部件套设于所述导向部，且当所述驱动部件沿所述支撑主体的轴向移动时，可调节所述导向部的倾斜角度。
8、优选地，所述调节部件还包括用于径向支撑所述连接部的弹性部；当所述导向部形变时，所述弹性部压缩或伸长；和/或，
9、所述导向部清理尾排管道时伸入所述尾排管道。
10、优选地，所述驱动部件呈筒状，所述驱动部件的一端与所述支撑主体螺纹连接。
11、优选地，所述驱动部件背离所述支撑主体的一端设有缩口部，所述缩口部与所述导向部接触连接。
12、优选地，所述支撑主体包括支撑杆和支撑筒，所述支撑杆安装于所述支撑筒内，所述导向部与所述支撑杆连接。
13、优选地，所述刷头部件与所述连接部可拆卸连接。
14、优选地，所述刷头部件个数为至少两个，所述调节部件与所述刷头部件的个数相同且一一对应连接；多个所述调节部件沿所述支撑主体的周向分布；和/或，
15、所述支撑主体远离所述调节部件一侧的端部与吸尘器可拆卸式连接。
16、优选地，还包括套筒，所述套筒的第一端与所述支撑主体可拆卸连接，第二端与吸尘器可拆卸连接。
17、优选地，所述套筒的第二端设有密封部件。
18、本实用新型还提供一种真空泵清理系统，包括上述任意一项所述的尾排管道清理装置和吸尘器。
19、本实用新型所提供的尾排管道清理装置，包括：刷头部件；支撑主体，所述支撑主体内设有供杂质流动的腔室；调节部件，包括相互连接的连接部和导向部，所述刷头部件设于所述连接部的外侧，所述导向部安装在所述支撑主体并沿所述支撑主体的轴向倾斜设置；驱动部件，活动安装在所述支撑主体，所述驱动部件套设于所述导向部，且当所述驱动部件沿所述支撑主体的轴向移动时，可调节所述导向部的倾斜角度。本实用新型所提供的尾排管道清理装置，利用所述支撑主体与所述调节部件的配合，实现对所述刷头部件的支撑，然后通过所述驱动部件的移动，改变其与所述调节部件的导向部的接触位置，从而改变所述调节部件的连接部的位置，即可实现所述刷头部件的位置调整，依次来满足不同管径的尾排管道的清理需求，适用范围广；同时，通过在所述支撑主体的内部设置腔室，当刷头部件将尾排管道内的杂质清理下来之后，可以通过吸尘器将杂质吸走，避免了水洗导致的环境污染问题；该尾排管道清理装置结构简单，操作便捷，加工成本低。
20、本实用新型所提供的真空泵清理系统设有上述尾排管道清理装置，由于所述尾排管道清理装置具有上述技术效果，因此，设有该尾排管道清理装置的真空泵清理系统也应当具有相应的技术效果。
1.一种尾排管道清理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾排管道清理装置，其特征在于，所述调节部件(300)还包括用于径向支撑所述连接部(302)的弹性部(301)；当所述导向部(303)形变时，所述弹性部(301)压缩或伸长；和/或，
3.根据权利要求1所述的尾排管道清理装置，其特征在于，所述驱动部件(400)呈筒状，所述驱动部件(400)的一端与所述支撑主体(200)螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的尾排管道清理装置，其特征在于，所述驱动部件(400)背离所述支撑主体(200)的一端设有缩口部(401)，所述缩口部(401)与所述导向部(303)接触连接。
5.根据权利要求1所述的尾排管道清理装置，其特征在于，所述支撑主体(200)包括支撑杆(201)和支撑筒(202)，所述支撑杆(201)安装于所述支撑筒(202)内，所述导向部(303)与所述支撑杆(201)连接。
6.根据权利要求1所述的尾排管道清理装置，其特征在于，所述刷头部件(100)与所述连接部(302)可拆卸连接。
7.根据权利要求1至6任意一项所述的尾排管道清理装置，其特征在于，所述刷头部件(100)个数为至少两个，所述调节部件(300)与所述刷头部件(100)的个数相同且一一对应连接；多个所述调节部件(300)沿所述支撑主体(200)的周向分布；和/或，
8.根据权利要求1至6任意一项所述的尾排管道清理装置，其特征在于，还包括套筒(500)，所述套筒(500)的第一端与所述支撑主体(200)可拆卸连接，第二端与吸尘器(700)可拆卸连接。
9.根据权利要求8所述的尾排管道清理装置，其特征在于，所述套筒(500)的第二端设有密封部件(501)。
10.一种真空泵清理系统，包括尾排管道清理装置和吸尘器(700)，其特征在于，所述尾排管道清理装置为权利要求1至9任意一项所述的尾排管道清理装置。
