本申请涉及固晶，特别是涉及wafer组件的控制方法、wafer组件、固晶机。
背景技术：
1、随着社会的发展，人力成本逐渐上升，工业自动化的普及应用成为了一个发展趋势，对固晶精度要求越来越高，需对晶圆实时修正，wafer组件也得到了广泛使用，然而，市场上现有的wafer组件有2种，一种是人工上下晶环用的，不带t轴修正功能；一种是带t轴修正功能。
2、但市场上现有的wafer组件带t轴修正结构，重心偏高，运行时定位精度差，主动力电机与t轴修正结构直连，对电机的要求较高，同时对电机的使用寿命也大幅降低。
技术实现思路
1、本申请主要解决的技术问题是提供wafer组件的控制方法、wafer组件、固晶机，解决芯片固晶精度差，定位精度差，电机使用寿命短等问题。
2、本申请采用的一种技术方案是提供一种wafer组件的控制方法，该控制方法包括：获取wafer组件的参考位置、参考速度、实时位置和实时速度；根据参考位置和参考速度确定参考加速度，以及根据实时位置和实时速度确定实时加速度；以及根据参考位置和实时位置确定跟踪位置误差，根据参考速度和实时速度确定跟踪速度误差；利用实时速度、参考加速度、跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出等效控制律；以及利用跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出分数阶滑动值；利用分数阶滑动值、可变增益值确定出切换控制律；结合等效控制律和切换控制律控制wafer组件移动。
3、其中，根据参考位置和参考速度确定参考加速度，包括：对参考位置和参考速度进行微分，得到参考加速度；根据实时位置和实时速度确定实时加速度，包括：对实时位置和实时速度进行微分，得到实时加速度。
4、其中，利用实时速度、参考加速度、跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出等效控制律，包括：利用跟踪位置误差确定出第一数值；利用跟踪速度误差确定出第二数值；利用实时速度确定出第三数值；结合参考加速度、第一数值、第二数值和第三数值确定出等效控制律。
5、其中，利用跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出分数阶滑动值，包括：利用分数阶微积分算子和跟踪位置误差确定出第四数值；利用符号函数和跟踪位置误差确定出第五数值；结合跟踪速度误差、第四数值和第五数值确定出分数阶滑动值。
6、其中，可变增益值包括第一可变增益值和第二可变增益值；利用分数阶滑动值、可变增益值确定出切换控制律，包括：利用分数阶滑动值、第一非线性超扭转函数和第一可变增益值，确定出第六数值；利用分数阶滑动值、第二非线性超扭转函数和第二可变增益值，确定出第七数值；结合第六数值和第七数值得到切换控制律。
7、其中，第一非线性超扭转函数由滤波器和符号函数构成，第二非线性超扭转函数由第一非线性超扭转函数和第一非线性超扭转函数的导函数构成。
8、其中，滤波器的定义为：其中，s表示分数阶滑动值。
9、其中，控制方法还包括：利用分数阶滑动值得到自适应律；将分数阶滑动值和自适应律输入至径向基神经网络，得到网络输出值；结合等效控制律和切换控制律控制wafer组件移动，包括：结合等效控制律、切换控制律和网络输出值控制wafer组件移动。
10、本申请采用的另一种技术方案是提供一种wafer组件，该wafer组件采用如上述技术方案提供的方法移动。
11、本申请采用的另一种技术方案是提供一种固晶机，该固晶机包括：机架组件；第一wafer组件和第二wafer组件，间隔设置于机架组件上，第一wafer组件和第二wafer组件如上述技术方案提供的wafer组件。
12、本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请提供的wafer组件的控制方法、wafer组件、固晶机。该方法通过获取wafer组件的参考位置、参考速度、实时位置和实时速度；根据参考位置和参考速度确定参考加速度，以及根据实时位置和实时速度确定实时加速度；以及根据参考位置和实时位置确定跟踪位置误差，根据参考速度和实时速度确定跟踪速度误差；利用实时速度、参考加速度、跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出等效控制律；以及利用跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出分数阶滑动值；利用分数阶滑动值、可变增益值确定出切换控制律；结合等效控制律和切换控制律控制wafer组件移动的方式，以此解决芯片固晶精度差，定位精度差，电机使用寿命短等问题。
1.一种wafer组件的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述参考位置和所述参考速度确定参考加速度，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用所述实时速度、所述参考加速度、所述跟踪位置误差和所述跟踪速度误差确定出等效控制律，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述利用所述跟踪位置误差和所述跟踪速度误差确定出分数阶滑动值，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述可变增益值包括第一可变增益值和第二可变增益值；所述利用所述分数阶滑动值、可变增益值确定出切换控制律，包括：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一非线性超扭转函数由滤波器和符号函数构成，第二非线性超扭转函数由所述第一非线性超扭转函数和所述第一非线性超扭转函数的导函数构成。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述滤波器的定义为：
8.根据权利要求1所述的方法，所述控制方法还包括：
9.一种wafer组件，其特征在于，所述wafer组件采用如权利要求1-8任一项所述的方法移动。
10.一种固晶机，其特征在于，所述固晶机包括：
