一种新型三叶多级干泵的制作方法

    技术2025-12-07  14


    本技术涉及真空泵领域,尤其是涉及一种新型三叶多级干泵。


    背景技术:

    1、罗茨真空泵是一种常用的高效率真空泵,主要由两个互相啮合但没有直接接触的转子组成。这种泵以其快速抽真空、高抽速和低能耗而闻名,通常用于半导体制造、真空冷冻、光学涂层和其他高真空应用中。

    2、现有的中国公开专利(授权公告号:cn110500275a)中所提到的一种三轴多级罗茨泵的泵壳体结构,能够通过固定轴承端盖表面的三个固定轴承腔分别能够容纳固定罗茨泵的三个轴,并且由于第二级泵壳和第三级泵壳的轴向长度之和与第一级泵壳的轴向长度相等,因此采用固定轴承腔进行固定,不仅可以加强罗茨泵的三个轴的中心刚性,还可以确保轴向的总膨胀量被均分,降低了轴末端的热膨胀累积量。

    3、现有的在连接罗茨真空泵时,大多是通过法兰将管道固定连接在第一进气口上,然后通过管道将空气输入至泵体的内部,从而完成对空气的压缩,但是,由于两侧法兰是通过螺栓进行固定,罗茨真空泵在运行时会产生振动和震动,特别是在高速运转或长时间工作的情况下,这些振动会传递到法兰连接处的螺栓上,螺栓长时间承受来自泵体和管道连接处的应力和振动,可能会导致螺栓松动,进而使法兰连接处漏气,导致泵体内部的真空效率下降。


    技术实现思路

    1、本技术的目的在于:为解决螺栓长时间承受来自泵体和管道连接处的应力和振动,可能会导致螺栓松动的问题,本技术提供了一种新型三叶多级干泵。

    2、本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案:

    3、一种新型三叶多级干泵,包括安装座,所述安装座的顶部固定连接有泵体,所述泵体的内部两侧转动连接有转动轴,所述泵体的内部固定连接有若干个隔板,通过所述隔板泵体的内部分隔称若干个隔腔,若干个所述隔腔体积依次减小,所述若干个隔腔的内部两侧对称设置有若干个转子,隔腔内一侧的多个转子均依次固定套接在转动轴上,所述泵体的顶部开设有进气口,所述进气口的顶部搭接有进气管,所述泵体的一侧开设有出气孔,所述安装座的顶部两侧设置有固定机构。

    4、通过采用上述技术方案,将连接管道与进气管相连通,然后气体通过进气管进入泵体的内部,接着启动两侧转子在各自的转动轴的带动下沿相反方向旋转,而气体进入隔腔后经历吸入、运输、压缩和排出过程后,继续进入下一个隔腔的内部进行进行压缩,通过多次经历吸入、运输、压缩最后通过出气孔被排出,从而实现对空气的压缩过程,在进行压缩时,通过隔腔体积逐渐缩小,所以从左至右气体更容易被压缩,也更容易被压入下一级隔腔,使得气体的转运更加快速,在与进气口相连通时,通过固定机构可以减少进气口与进气管道之间漏气的风险。

    5、进一步地,所述固定机构包括固定连接在安装座顶部两侧的固定板,两侧所述固定板之间设置有两个连接块,两个所述连接块互相靠近的一面固定连接有连接杆,两个所述连接杆互相靠近的一端固定连接有竖板,两个所述竖板互相靠近的一面上下对称固定连接有两个固定块,所述固定块对进气管夹持固定时,处于上方的固定块的下端与进气管的下端滑动接触,两个所述固定块远离竖板的一侧开设有弧形槽,所述安装座上端一侧固定板的内部设置有驱动件。

    6、通过采用上述技术方案,通过驱动件使得两侧连接块互相靠近,而连接块移动又会带动连接杆移动,连接杆移动使得两侧竖板互相靠近,而竖板互相靠近则会使得固定块对进气口与进气管进行限位,相较于传统的通过螺栓一固定的方法,减少了进气口与进气管连接处螺栓一因为松动导致漏气的风险。

    7、进一步地,所述驱动件包括设置在一侧固定板内部的螺纹杆一,所述螺纹杆一的两端与固定板的内壁转动连接,所述固定板的一侧转动连接有把手一,所述把手一贯穿固定板并与螺纹杆一固定连接,所述把手一与固定板转动连接,所述螺纹杆一设置为双向螺纹杆,所述螺纹杆一的两侧外表面螺纹连接有移动板,所述移动板的顶部与连接块固定连接。

    8、通过采用上述技术方案,通过转动把手一可以使得两侧移动板互相靠近,再通过移动板与连接块固定连接,使得两侧连接块互相靠近。

    9、进一步地,所述竖板侧面处于上方的一个固定块的内部对称开设有竖槽,所述竖槽的内顶壁固定连接有弹性件,所述弹性件由伸缩杆与弹簧组成,所述弹性件的底部固定连接有升降板,所述升降板的底部固定连接卡合块,所述竖板侧面处于下方的一个固定块的两侧固定连接有插入块,所述插入块的顶部开设有卡合槽,卡合块与卡合槽的形状相适配,卡合块与卡合槽均设置为半球形,所述插入块的一端贯穿竖槽,所述插入块与竖槽滑动设置。

    10、通过采用上述技术方案,当两侧固定块互相靠近时,通过卡合块与卡合槽进行卡合,从而对插入块的位置进行固定,从而提高了两侧固定块之间的稳定性。

    11、进一步地,所述竖槽的两侧开设有滑槽,所述升降板的两端固定连接有滑块,所述滑块与滑槽的形状相适配,所述滑块与滑槽滑动连接。

    12、通过采用上述技术方案,滑块与滑槽使得移动板移动时保持正确的运动轨迹。

    13、进一步地,位于所述进气管两侧固定块的内部下方开设有加固槽,所述固定块的内部由上至下螺纹连接有螺纹杆二,所述螺纹杆二的顶部固定连接有把手二,所述螺纹杆二的底端贯穿固定块并转动连接有加固板,所述螺纹杆二的底端固定连接有光杆,所述光杆的底端贯穿加固板并固定连接有圆块,所述光杆与加固板转动连接,所述加固板的底部开设有嵌槽,所述圆块与嵌槽转动设置,所述加固板与加固槽滑动设置。

    14、通过采用上述技术方案,进一步提高了进气口与进气管之间的连接强度。

    15、进一步地,所述加固板的顶部固定连接有辅助杆一,所述辅助杆一的顶端贯穿固定块,所述辅助杆一与固定块滑动连接。

    16、通过采用上述技术方案,辅助杆一给加固板提供了额外的支撑点,使得加固板移动时更加平稳。

    17、进一步地,另一侧固定板的内部设置有辅助杆二,所述辅助杆二的两端贯穿移动板并与固定板的内壁固定连接,所述辅助杆二与移动板滑动连接。

    18、通过采用上述技术方案,辅助杆二给移动板提供了支撑作用。

    19、进一步地,两侧所述移动板互相靠近的一面上下对称固定连接有两组缓冲框,所述缓冲框的内侧壁呈等距固定连接有若干个弹簧阻尼器,所述弹簧阻尼器的一端固定连接有滑竿,所述滑竿远离弹簧阻尼器的一端贯穿缓冲框,所述滑竿与缓冲框滑动连接,所述滑竿远离弹簧阻尼器的一端固定连接有抵触块,所述抵触块移动时与泵体相抵触。

    20、通过采用上述技术方案,当两侧移动板互相靠近时,通过弹簧阻尼器受力后发生一定的形变,可以有效地吸收和减少泵体震动。

    21、进一步地,所述固定板的一面呈环形阵列开设有若干个插孔,所述把手一的侧面螺纹连接有螺栓二,所述螺栓二的一端穿过把手一并与插杆固定连接,所述插杆的一端与插孔插接。

    22、通过采用上述技术方案,可以对把手一进行抵触限位,从而减少把手一在工作过程中出现位移的风险。

    23、综上所述,本技术包括以下至少一种有益效果:

    24、1.在对进气口与进气管进行连接时,通过转动把手一带动带动两侧移动板互相靠近,两侧移动板互相靠近会带动固定块对进气口与进气管进行限位,相较于传统的通过螺栓一固定的方法,减少了进气口与进气管连接处螺栓一因为松动导致漏气的风险,提高了连接处的稳定性,有助于减少漏气的风险,从而提高泵体内部的真空效率,确保泵的正常运行,进一步地,当两侧移动板互相靠近时,会带动两侧缓冲框对泵体进行抵触,当泵体在工作时,泵体震动会抵触到弹簧阻尼器,弹簧阻尼器受力后发生一定的形变,可以有效地吸收和减少泵体震动,减少震动传递到整个设备或周围环境中。

    25、2.当两侧固定块互相靠近时,固定块会带动插入块插入竖槽中,插入块进入竖槽中会使得弹簧收缩产生弹性势能,当卡合槽移动至合适的位置后,弹簧的弹性势能释放,使得卡合块与卡合槽进行卡合,从而对插入块的位置进行固定,从而提高了两侧固定块之间的一体性,使得固定块在工作时更加稳定。

    26、3.当固定块固定完成后,工作人员通过转动把手二带动加固板向下对进气管进行夹持固定,使得进气管与进气口紧密贴合,从而进一步提高了进气口与进气管之间的连接强度。


    技术特征:

    1.一种新型三叶多级干泵,包括安装座(1),其特征在于:所述安装座(1)的顶部固定连接有泵体(2),所述泵体(2)的内部两侧转动连接有转动轴(3),所述泵体(2)的内部固定连接有若干个隔板(5),通过所述隔板(5)将泵体(2)的内部分隔称若干个隔腔(4),若干个所述隔腔(4)体积依次减小,所述若干个隔腔(4)的内部两侧对称设置有若干个转子(6),所述隔腔(4)内一侧的多个转子(6)均依次固定套接在转动轴(3)上,所述转子(6)与转动轴(3)的外表面固定连接,所述泵体(2)的顶部开设有进气口,所述进气口的顶部搭接有进气管(7),所述泵体(2)的一侧开设有出气孔(8),所述安装座(1)的顶部两侧设置有固定机构。

    2.根据权利要求1所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:所述固定机构包括固定连接在安装座(1)顶部两侧的固定板(9),两侧所述固定板(9)之间设置有两个连接块(13),两个所述连接块(13)互相靠近的一面固定连接有连接杆(14),两个所述连接杆(14)互相靠近的一端固定连接有竖板(15),两个所述竖板(15)互相靠近的一面上下对称固定连接有两个固定块(16),所述固定块(16)对进气管(7)夹持固定时,处于上方的所述固定块(16)的下端与进气管(7)的下端滑动接触,两个所述固定块(16)远离竖板(15)的一侧开设有弧形槽,所述安装座(1)上端一侧固定板(9)的内部设置有驱动件。

    3.根据权利要求2所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:所述驱动件包括设置在一侧固定板(9)内部的螺纹杆一(10),所述螺纹杆一(10)的两端与固定板(9)的内壁转动连接,所述固定板(9)的一侧转动连接有把手一(11),所述把手一(11)贯穿固定板(9)并与螺纹杆一(10)固定连接,所述把手一(11)与固定板(9)转动连接,所述螺纹杆一(10)设置为双向螺纹杆,所述螺纹杆一(10)的两端对称套接有移动板(12),所述移动板(12)的顶部与连接块(13)固定连接。

    4.根据权利要求2所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:所述竖板(15)侧面处于上方的一个固定块(16)的内部对称开设有竖槽(17),所述竖槽(17)的内顶壁固定连接有弹性件(18),所述弹性件(18)由伸缩杆与弹簧组成,所述弹性件(18)的底部固定连接有升降板(19),所述升降板(19)的底部固定连接卡合块(20),所述竖板(15)侧面处于下方的一个固定块(16)的两侧固定连接有插入块(21),所述插入块(21)的顶部开设有卡合槽(22),所述卡合块(20)与卡合槽(22)的形状相适配,所述卡合块(20)与卡合槽(22)均设置为半球形,所述插入块(21)的一端贯穿竖槽(17),所述插入块(21)与竖槽(17)滑动设置。

    5.根据权利要求4所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:所述竖槽(17)的两侧开设有滑槽(23),所述升降板(19)的两端固定连接有滑块,所述滑块与滑槽(23)的形状相适配,所述滑块与滑槽(23)滑动连接。

    6.根据权利要求2所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:位于所述进气管(7)两侧固定块(16)的内部下方开设有加固槽,所述固定块(16)的内部由上至下螺纹连接有螺纹杆二(24),所述螺纹杆二(24)的顶部固定连接有把手二(25),所述螺纹杆二(24)的底端贯穿固定块(16)并转动连接有加固板(26),所述螺纹杆二(24)的底端固定连接有光杆,所述光杆的底端贯穿加固板(26)并固定连接有圆块,所述光杆与加固板(26)转动连接,所述加固板(26)的底部开设有嵌槽,所述圆块与嵌槽转动设置,所述加固板(26)与加固槽滑动设置。

    7.根据权利要求6所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:所述加固板(26)的顶部固定连接有辅助杆一(27),所述辅助杆一(27)的顶端贯穿固定块(16),所述辅助杆一(27)与固定块(16)滑动连接。

    8.根据权利要求2所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:另一侧固定板(9)的内部设置有辅助杆二(28),所述辅助杆二(28)的两端贯穿移动板(12)并与固定板(9)的内壁固定连接,所述辅助杆二(28)与移动板(12)滑动连接。

    9.根据权利要求3所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:两侧所述移动板(12)互相靠近的一面上下对称固定连接有两组缓冲框(29),所述缓冲框(29)的内侧壁呈等距固定连接有若干个弹簧阻尼器(30),所述弹簧阻尼器(30)的一端固定连接有滑竿(31),所述滑竿(31)远离弹簧阻尼器(30)的一端贯穿缓冲框(29),所述滑竿(31)与缓冲框(29)滑动连接,所述滑竿(31)远离弹簧阻尼器(30)的一端固定连接有抵触块(32),所述抵触块(32)移动时与泵体(2)相抵触。

    10.根据权利要求3所述的一种新型三叶多级干泵,其特征在于:所述固定板(9)的一面呈环形阵列开设有若干个插孔(35),所述把手一(11)的侧面螺纹连接有螺栓二(33),所述螺栓二(33)的一端穿过把手一(11)并与插杆(34)固定连接,所述插杆(34)的一端与插孔(35)插接。


    技术总结
    本申请公开了一种新型三叶多级干泵,涉及真空泵技术领域。本申请包括安装座,安装座的顶部固定连接有泵体,泵体的内部两侧转动连接有转动轴,泵体的内部固定连接有若干个隔板,通过隔板泵体的内部分隔称若干个隔腔,若干个隔腔体积依次减小,若干个隔腔的内部两侧对称设置有若干个转子,隔腔内一侧的多个转子均依次固定套接在转动轴上,泵体的顶部开设有进气口,进气口的顶部搭接有进气管,泵体的一侧开设有出气孔,通过转动把手一带动带动两侧移动板互相靠近,两侧移动板互相靠近会带动固定块对进气口与进气管进行限位,相较于传统的通过螺栓一固定的方法,减少了进气口与进气管连接处螺栓一因为松动导致漏气的风险。

    技术研发人员:樊挺杰,樊忠,顾春辉,沈沛,王长江,陈志凌,汤震
    受保护的技术使用者:南通龙鹰真空科技有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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