本技术涉及晶棒生产,更具体地说,涉及一种晶托护具晶托护具及取晶车晶托。
背景技术:
1、单晶硅棒的拉制为:将硅原料放置在单晶炉的主炉室中,加热融化后进行引晶、放肩、转肩、等径、收尾操作,拉制出一个完整的单晶棒,然后,将晶棒提升至副炉室,通过取晶车将晶棒取出。晶托为取晶车底部用来托住晶棒尾部的部件。现有取晶车晶托处,大多垫着一些软化的耐高温材料、高硅氧布来防止金属污染或减缓晶棒接触晶托时的晶棒受力,缺点在于此类材料寿命短,更换周期较为频繁,需持续人为关注其使用情况,未及时更换则其失去作用,使晶棒直接接触晶托处的金属,易造成晶棒尾部破损,产生晶裂现象。
2、因此,如何降低晶棒隐裂风险,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此,本实用新型的第一个目的是提供一种晶托护具,能够降低晶棒隐裂风险。
2、本实用新型的第二个目的是提供一种取晶车晶托。
3、为了实现上述第一个目的,本实用新型提供了如下方案:
4、一种晶托护具,包括第一护板、第二护板和弹性件,其中:
5、第一护板与第二护板水平叠加布置;
6、弹性件的第一端与第一护板相连接;
7、弹性件的第二端与第二护板相连接。
8、优选地,在上述晶托护具中,第一护板的中部开设有第一通孔,第二护板的中部开设有第二通孔,第一通孔和第二通孔用于容纳晶棒。
9、优选地,在上述晶托护具中,第一护板的上端面的开孔直径大于第一护板的下端面的开孔直径,上端面与下端面之间形成光滑的开孔面。
10、优选地,在上述晶托护具中,弹性件为弹簧,弹簧均匀分布于第一护板和第二护板之间,弹簧的个数为两个及以上。
11、优选地,在上述晶托护具中,还包括第三护板,第三护板固定于第一护板的下端面和/或第二护板的上端面,第三护板上开设有用于布置弹性件的安装槽。
12、优选地,在上述晶托护具中,安装槽的槽深与弹簧压缩后的长度相适应。
13、优选地,在上述晶托护具中,还包括第四护板,第四护板的数量为一个及以上,在第二护板的下方水平叠加,多个第四护板之间以弹性件相连。
14、优选地,在上述晶托护具中,还包括缓冲布,缓冲布布置于第一护板的上方,用于缓冲晶棒。
15、优选地,在上述晶托护具中,第一护板、第二护板、第三护板和第四护板为四氟材质。
16、一种取晶车晶托,包括如上述任一项的晶托护具。
17、根据本实用新型的各个实施方案可以根据需要任意组合,这些组合之后所得的实施方案也在本实用新型范围内,是本实用新型具体实施方式的一部分。
18、本实用新型提供的晶托护具,使用时,晶棒从第一护板的上方下落直至与第一护板接触,第一护板受力向弹性件挤压,弹性件向下挤压后第一护板与第二护板叠加到一起,此过程减缓了晶棒下落的速度,减少了因晶棒尾部受力导致的晶裂损耗,避免了晶棒直接接触晶托,降低了晶棒隐裂的风险。
1.一种晶托护具,其特征在于,包括第一护板(100)、第二护板(200)和弹性件,其中:
2.根据权利要求1所述的晶托护具,其特征在于,所述弹性件为弹簧(300),所述弹簧(300)均匀分布于所述第一护板(100)和所述第二护板(200)之间,所述弹簧(300)的个数为两个及以上。
3.根据权利要求2所述的晶托护具,其特征在于,还包括第三护板(400),所述第三护板(400)固定于所述第一护板(100)的下端面和/或所述第二护板(200)的上端面,所述第三护板(400)上开设有用于布置所述弹性件的安装槽(401)。
4.根据权利要求3所述的晶托护具,其特征在于,所述安装槽(401)的槽深与所述弹簧(300)压缩后的长度相适应。
5.根据权利要求4所述的晶托护具,其特征在于,还包括第四护板,所述第四护板的数量为一个及以上,在所述第二护板(200)的下方水平叠加,多个所述第四护板之间以所述弹性件相连。
6.根据权利要求5所述的晶托护具,其特征在于,还包括缓冲布,所述缓冲布布置于所述第一护板(100)的上方,用于缓冲所述晶棒。
7.根据权利要求6所述的晶托护具,其特征在于,所述第三护板(400)和所述第四护板为四氟材质。
8.一种取晶车晶托,其特征在于,包括如权利要求1-7任一项所述的晶托护具。
