一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构的制作方法

    技术2025-11-18  2


    本技术涉及太阳能硅片刻蚀设备,具体为一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构。


    背景技术:

    1、太阳能电池片的制造过程需要经过很多个步骤,其中对硅片的刻蚀工艺也是必不可少的一部分,硅片在刻蚀过程中,需要使用化学品溶液对硅片除顶面以外的所有面进行湿法化学刻蚀;

    2、链式太阳能刻蚀机需要利用传输辊输送机构传输太阳能电池硅片,而现有的刻蚀段通常利用深沟螺纹传输辊对太阳能电池硅片进行输送,在输送的过程中太阳能电池硅片顶部由水膜覆盖防止过刻,太阳能电池硅片底部通过螺纹传输辊的传输、带液等通过刻蚀区域完成刻蚀,然而在刻蚀的过程中,当太阳能电池片经过刻蚀区域时,现有传输辊传输机构无法完全平稳的将太阳能电池硅片进行传输,会导致太阳能电池硅片顶部水膜掉落或产生过度刻蚀等情况,造成太阳能电池硅片的质量缺陷,影响了刻蚀加工效率;

    3、鉴于上述情况,有必要对现有的传输辊传输机构加以改进,使其能够适应现在对太阳能电池硅片传输使用的需要。


    技术实现思路

    1、本实用新型的目的是为了解决上述问题,设计了一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构。

    2、实现上述目的本实用新型的技术方案为,一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,包括多组输送辊、与多组输送辊分别连接的带轮驱动机构,所述输送辊上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片,多组输送辊的传输面水平平行排布,所述输送辊安装在太阳能硅片刻蚀设备中内侧壁水平方向,所述带轮驱动机构安装在太阳能硅片刻蚀设备上。

    3、对本技术方案的进一步补充,所述输送辊为螺纹输送辊。

    4、对本技术方案的进一步补充,一组所述输送辊从左至右依次包括左旋主螺纹输送辊、左旋副螺纹输送辊、右旋主螺纹输送辊、右旋副螺纹输送辊且其顶部传送面交替水平排列。

    5、对本技术方案的进一步补充,所述左旋主螺纹输送辊、右旋主螺纹输送辊、左旋副螺纹输送辊、右旋副螺纹输送辊通过前输送辊安装支架、后输送辊安装支架进行固定,所述前输送辊安装支架、后输送辊安装支架安装在太阳能硅片刻蚀设备中内侧壁。

    6、对本技术方案的进一步补充,所述带轮驱动机构安装在前输送辊安装支架上,所述带轮驱动机构包括输送辊滑块、副输送辊限位块、第一副传动直齿轮、第二副传动直齿轮;所述输送辊滑块与副输送辊限位块卡扣连接且两者卡扣安装在前输送辊安装支架上,所述左旋主螺纹输送辊、右旋主螺纹输送辊的一端分别与输送辊滑块连接,所述左旋主螺纹输送辊、右旋主螺纹输送辊的另一端与后输送辊安装支架连接,所述左旋副螺纹输送辊、右旋副螺纹输送辊的一端安装在输送副辊限位块上,所述左旋副螺纹输送辊、右旋副螺纹输送辊的另一端与后输送辊安装支架连接,所述左旋主螺纹输送辊、右旋主螺纹输送辊上还分别安装有第一副传动直齿轮;所述左旋副螺纹输送辊、右旋副螺纹输送辊上还安装有第二副传动直齿轮,所述第一副传动直齿轮与第二副传动直齿轮之间还设有惰轮,所述惰轮与第一副传动直齿轮、第二副传动直齿轮分别啮合且其通过惰轮轴安装在前输送辊安装支架上,所述左旋主螺纹输送辊、右旋主螺纹输送辊上位于第一副传动直齿轮的外侧还设有输送辊传动锥齿轮。

    7、对本技术方案的进一步补充,所述螺纹输送辊向一方向匀速稳定的转动。

    8、其有益效果在于,(1)本方案可以实现对太阳能电池硅片在通过刻蚀段时稳定传输,提高传输稳定性,有效避免太阳能电池硅片上方所覆盖的水膜因传输不稳的情况而掉落,导致过刻情况出现,同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片吹干使用,适应性和实用性强;

    9、(2)螺纹传输辊的排列方式、间距、与传输辊的接触程度等设计更加合理,可以使化学品溶液在同样大小的刻蚀段区域内与太阳能电池硅片底部接触的更多,提高了螺纹输送辊的带液效率与刻蚀段太阳能电池硅片的刻蚀效率,有效减少了刻蚀段化学品溶液的消耗,可在相比以往更小的刻蚀段区域内完成更高效的刻蚀工作;

    10、(3)外观结构实现了设备机台左机右机的通用性,只需改变安装方式,无需更换零件,螺纹输送辊的安装、拆卸、调试等快捷高效。



    技术特征:

    1.一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,其特征在于,包括多组输送辊(1)、与多组输送辊(1)分别连接的带轮驱动机构(2),所述输送辊(1)上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片,多组输送辊(1)的传输面水平平行排布,所述输送辊(1)安装在太阳能硅片刻蚀设备中内侧壁水平方向,所述带轮驱动机构(2)安装在太阳能硅片刻蚀设备上。

    2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,其特征在于,所述输送辊(1)为螺纹输送辊。

    3.根据权利要求2所述的一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,其特征在于,一组所述输送辊(1)从左至右依次包括左旋主螺纹输送辊(11)、左旋副螺纹输送辊(12)、右旋主螺纹输送辊(13)、右旋副螺纹输送辊(14)且其顶部传送面交替水平排列。

    4.根据权利要求3所述的一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,其特征在于,所述左旋主螺纹输送辊(11)、右旋主螺纹输送辊(13)、左旋副螺纹输送辊(12)、右旋副螺纹输送辊(14)通过前输送辊安装支架(3)、后输送辊安装支架(4)进行固定,所述前输送辊安装支架(3)、后输送辊安装支架(4)安装在太阳能硅片刻蚀设备中内侧壁。

    5.根据权利要求4所述的一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,其特征在于,所述带轮驱动机构(2)安装在前输送辊安装支架(3)上,所述带轮驱动机构(2)包括输送辊滑块(21)、副输送辊限位块(22)、第一副传动直齿轮(23)、第二副传动直齿轮(24);所述输送辊滑块(21)与副输送辊限位块(22)卡扣连接且两者卡扣安装在前输送辊安装支架(3)上,所述左旋主螺纹输送辊(11)、右旋主螺纹输送辊(13)的一端分别与输送辊滑块(21)连接,所述左旋主螺纹输送辊(11)、右旋主螺纹输送辊(13)的另一端与后输送辊安装支架(4)连接,所述左旋副螺纹输送辊(12)、右旋副螺纹输送辊(14)的一端安装在输送副辊限位块上,所述左旋副螺纹输送辊(12)、右旋副螺纹输送辊(14)的另一端与后输送辊安装支架(4)连接,所述左旋主螺纹输送辊(11)、右旋主螺纹输送辊(13)上还分别安装有第一副传动直齿轮(23);所述左旋副螺纹输送辊(12)、右旋副螺纹输送辊(14)上还安装有第二副传动直齿轮(24),所述第一副传动直齿轮(23)与第二副传动直齿轮(24)之间还设有惰轮(25),所述惰轮(25)与第一副传动直齿轮(23)、第二副传动直齿轮(24)分别啮合且其通过惰轮(25)轴安装在前输送辊安装支架(3)上,所述左旋主螺纹输送辊(11)、右旋主螺纹输送辊(13)上位于第一副传动直齿轮(23)的外侧还设有输送辊传动锥齿轮(5)。

    6.根据权利要求3所述的一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,其特征在于,所述螺纹输送辊向一方向匀速稳定的转动。


    技术总结
    本技术公开了一种用于太阳能硅片刻蚀设备的刻蚀段传输机构,包括多组输送辊、与多组输送辊分别连接的带轮驱动机构,所述输送辊上放置有多个待刻蚀太阳能电池硅片,多组输送辊的传输面水平平行排布,所述输送辊安装在太阳能硅片刻蚀设备中内侧壁水平方向,所述带轮驱动机构安装在太阳能硅片刻蚀设备上。本技术的有益效果是,本方案可以实现对太阳能电池硅片在通过刻蚀段时稳定传输,提高传输稳定性,有效避免太阳能电池硅片上方所覆盖的水膜因传输不稳的情况而掉落,导致过刻情况出现,同时可以满足不同大小的太阳能电池硅片吹干使用,适应性和实用性强。

    技术研发人员:达良,李冰,代昊天
    受保护的技术使用者:杭州库睿斯半导体设备有限公司
    技术研发日:20231218
    技术公布日:2024/10/24
    转载请注明原文地址:https://symbian.8miu.com/read-36945.html

    最新回复(0)