本发明涉及在得到光学部件或模具等的被测定面的位置信息的三维形状测定装置中使用的接触式的形状测定用探头的保管装置。
背景技术：
1、作为高精度地测定光学部件或模具等的成为非球面形状的表面形状的方法，广泛知晓利用三维形状测定机。一般而言，具有接触式的测定用探头的三维形状测定机一边使测定用探头的前端接触于被测定物一边使测定用探头沿着被测定物的表面移动，根据测定用探头与基准面之间的位置关系来测定被测定物的表面形状。作为这样的测定机中的1个测定机，存在利用了激光测长器和基准平面反射镜的三维形状测定机。
2、作为以往的三维测定机，存在并列设置2个探头而进行形状测定的三维测定机（例如参照专利文献1）。
3、在先技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2012-78344号公报
技术实现思路
1、然而，在以往的结构中，将上表面用探头与侧面用探头设置于在x方向上错开的位置。在利用上表面用探头进行测定的情况与利用侧面用探头进行测定的情况下，利用xy工作台将相对于测定物而言的x位置错开而进行测定。在利用上表面用探头进行的测定中需要从其测定区域使侧面用探头退避，在利用侧面用探头进行的测定中需要从其测定区域使上表面用探头退避。由此，在测定样本于xy方向上大的情况下，存在装置大型化、高成本化这样的问题点。
2、于是，通过将探头的卡盘部分设置为1个并将上表面用探头和侧面用探头设置为更换式，虽然探头更换的工夫增加，但装置整体的成本能够抑制得低。
3、然而，在将空气轴承方式的测定探头设置为更换式的情况下，产生如下那样的问题。在测定探头的保管时，与向空气轴承供给着空气的使用时相比，不产生由在前端部分处空气向大气中放出时的绝热膨胀引起的冷却效果。因此，发生温度上升，在探头前端部分发生热膨胀，由此，在测定时发生持续的前端部分的变形，无法维持0.1μm的量级的测定精度。
4、本发明是解决以往的课题的发明，其目的在于，提供用于关于具有空气轴承的测定探头而能够维持测定精度的保管装置及保管方法。
5、本发明的一方案涉及一种保管装置，其保管由形状测定装置使用的测定用探头，其中，所述测定用探头具有构成为使与测定物接触的触针能够移动的空气轴承，所述保管装置具备：保管机构，其用于保管所述测定用探头；以及空气供给机构，其构成为在所述测定用探头保管于所述保管机构时，向所述空气轴承持续供给空气。
6、根据该结构，在不使用测定用探头而是保管测定用探头时，也利用空气供给机构来向空气轴承持续供给空气。由此，与使用时同样地，从空气轴承向大气放出空气，维持发生绝热膨胀而被冷却的状态。因此，能够防止保存时的温度上升，能够将测定用探头的从微型滑块到触针的长度维持为恒定，能够进行高精度的测定。
7、根据本发明，能够抑制保管时的测定用探头的温度上升，能够实现高精度的测定。
1.一种测定用探头的保管装置，其是保管由形状测定装置使用的测定用探头的保管装置，其中，
2.根据权利要求1所述的测定用探头的保管装置，其中，
3.根据权利要求1所述的测定用探头的保管装置，其中，
4.一种测定用探头的保管方法，其是保管由形状测定装置使用的测定用探头的方法，其中，
