公开的实施方式涉及压电致动器、液体喷出头以及记录装置。
背景技术:
1、作为印刷装置,已知利用喷墨记录方式的喷墨打印机或喷墨绘图仪等。在这样的喷墨方式的印刷装置搭载用于使液体喷出的液体喷出头。
2、液体喷出头通过使位于压力室的上部的压电元件驱动来使压力室内的压力变化,从而从喷嘴喷出压力室内的液体。压电元件具有:压电体;位于压电体的内部的内部电极;和位于压电体的表面的表面电极。
3、在专利文献1中,公开了一种压电元件,以减少压电元件间的串扰的产生为目的,在表面电极的周围形成有包围表面电极的槽部。在压电元件的厚度方向上,槽部到达比内部电极深的位置。
4、在先技术文献
5、专利文献
6、专利文献1:jp特开2003-311954号公报
技术实现思路
1、实施方式的一方式所涉及的压电致动器具有通过电压的施加而变形的压电元件。压电元件具有振动板、内部电极、压电陶瓷体、表面电极、连接电极和槽部。内部电极位于振动板的表面。压电陶瓷体位于内部电极的表面。表面电极位于压电陶瓷体的表面。连接电极位于压电陶瓷体的表面,与表面电极连接。槽部在从相对于压电陶瓷体的表面垂直的方向来看压电元件的俯视观察下,位于表面电极的周围或内侧,以与表面电极的外形相应的形状延伸。槽部具有深槽部和浅槽部。深槽部具有到达内部电极的深度以上的深度。浅槽部位于比深槽部更靠近连接电极的位置,具有小于到达内部电极的深度的深度。
1.一种压电致动器,具有通过电压的施加而变形的压电元件,
2.根据权利要求1所述的压电致动器,其中,
3.根据权利要求2所述的压电致动器,其中,
4.根据权利要求1~3中任一项所述的压电致动器,其中,
5.根据权利要求1~4中任一项所述的压电致动器,其中,
6.根据权利要求1~5中任一项所述的压电致动器,其中,
7.根据权利要求6所述的压电致动器,其中,
8.根据权利要求1~7中任一项所述的压电致动器,其中,
9.根据权利要求1~8中任一项所述的压电致动器,其中,
10.根据权利要求1~8中任一项所述的压电致动器,其中,
11.根据权利要求1~10中任一项所述的压电致动器,其中,
12.根据权利要求1~11中任一项所述的压电致动器,其中,
13.一种液体喷出头,具有:
14.根据权利要求13所述的液体喷出头,其中,
15.根据权利要求13所述的液体喷出头,其中,
16.一种记录装置,具有权利要求13~15中任一项所述的液体喷出头。
