本公开涉及玻璃母材的制造方法。
背景技术：
1、专利文献1公开了一种用于通过ovd法和vad法制造多孔玻璃微粒沉积体的燃烧器。在专利文献1的燃烧器中，具有喷射玻璃原料的多重管、双重管结构，配置有喷射燃料气体和助燃性气体的多个火焰喷射喷嘴。
2、专利文献2公开了一种玻璃母材的制造方法，其监控在多个燃烧器的每一个中沉积有玻璃微粒的部分的外径，调整玻璃原料的供给量以使外径在纵向方向上均匀。
3、专利文献3公开了一种具备突出的同心圆状的多重管燃烧器。相对于从燃烧器中心喷射的玻璃原料气体的气体流速，从突出部内侧喷射的火焰用气体的气体流速为0.3倍至1.0倍。
4、现有技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本特开2004-331440号公报
7、专利文献2：日本特开2006-160551号公报
8、专利文献3：国际公开第2017/188334号
技术实现思路
1、发明所要解决的课题
2、对于燃烧器，为了使火焰分解反应稳定，有时设置罩(hood)，该罩设置在燃烧器的主体部的外周、并且从主体部的喷射面向喷射方向下游突出。该罩容易因由火焰引起的赤热而劣化。为了抑制罩的由赤热引起的劣化，优选从出射面的外周喷射助燃性气体。然而，关于助燃性气体的使用量，从过剩供给的观点来看，有改善的余地。
3、本公开的目的在于提供抑制燃烧器的罩的劣化、并且抑制助燃性气体的使用量的玻璃母材的制造方法。
4、用于解决课题的手段
5、一种玻璃母材的制造方法，其中一边使燃烧器相对于靶材相对地往返移动，一边在所述燃烧器形成的火焰内生成玻璃微粒、并将生成的所述玻璃微粒喷射于所述靶材并使其沉积，
6、所述燃烧器具有：
7、主体部、和
8、设置在所述主体部的外周、比所述主体部的喷射面更向喷射方向下游突出的罩，
9、所述主体部具有：
10、设置在所述喷射面的中央、喷射玻璃原料气体的原料气体口、设置在所述原料气体口的外周、喷射燃料气体的燃料气体口、
11、设置在所述燃料气体口内、喷射助燃性气体的多个第一助燃性气体口、以及
12、设置在所述燃料气体口的外周、喷射助燃性气体的第二助燃性气体口，
13、该玻璃母材的制造方法包括：
14、第一沉积工序，其中在对所述靶材开始沉积所述玻璃微粒时，使从所述燃料气体口喷射的所述燃料气体的流量增加、并且使从所述第二助燃性气体口喷射的所述助燃性气体的流量恒定，从而沉积所述玻璃微粒；和
15、第二沉积工序，其中在所述第一沉积工序后，使从所述燃料气体口喷射的所述燃料气体的流量增加、并且使从所述第二助燃性气体口喷射的所述助燃性气体的流量增加，从而沉积所述玻璃微粒。
16、发明的效果
17、根据本公开，可以提供抑制燃烧器的罩的劣化、并且抑制助燃性气体的使用量的玻璃母材的制造方法。
1.一种玻璃母材的制造方法，其中一边使燃烧器相对于靶材相对地往返移动，一边在所述燃烧器形成的火焰内生成玻璃微粒、并将生成的所述玻璃微粒喷射于所述靶材并使其沉积，
2.根据权利要求1所述的玻璃母材的制造方法，其中，
3.根据权利要求1或权利要求2所述的玻璃母材的制造方法，其中，
