本技术涉及夹持装置,尤其涉及一种芯片高度测量用夹持装置。
背景技术:
1、芯片高度测量用夹持装置的背景技术主要涉及微电子行业的制造和检测技术,在芯片制造过程中,精确测量芯片的高度和表面形貌是至关重要的,这关乎到产品质量和良率。因此,芯片高度测量技术是微电子制造中一项关键的技术。
2、传统的芯片高度测量方法主要包括机械探针接触式测量、光学干涉测量、以及基于电容感应的非接触式测量等,然而,这些方法不能够让测量人员直观的观察芯片的高度,且现有的芯片高度测量装置基本不能够固定芯片,这样难免芯片会发生移动,使高度测量装置对芯片高度的测量不准确。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种芯片高度测量用夹持装置。
2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种芯片高度测量用夹持装置,包括测量台,所述测量台上固定连接有气缸,所述气缸的输出端固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆贯穿滑动连接于测量台上,所述伸缩杆远离气缸的一端固定连接有连接板,所述连接板的两端铰接有连杆一,所述连杆一远离连接板的一端固定连接有固定柱,所述测量台上铰接有连杆二,所述连杆二远离测量台的一端铰接于连杆一上。
3、作为上述技术方案的进一步描述:
4、所述测量台上固定连接有电机,所述电机的输出端贯穿转动连接于测量台上,所述电机的输出端固定连接有螺纹杆,所述测量台上固定连接有竖板,所述螺纹杆转动连接于竖板上,所述螺纹杆上螺纹连接有螺纹块,所述螺纹块的两端固定连接有连杆三,所述连杆三远离螺纹块的一端固定连接有平量尺。
5、作为上述技术方案的进一步描述:
6、所述竖板上固定连接有槽杆,所述连杆三远离平量尺的一侧固定连接有滑块,所述滑块滑动连接于槽杆上。
7、作为上述技术方案的进一步描述:
8、所述竖板上设有方形口,所述连杆三在方形口上滑动。
9、作为上述技术方案的进一步描述:
10、所述竖板的两端设有微刻度线,所述微刻度线位于平量尺的一侧。
11、作为上述技术方案的进一步描述:
12、所述测量台的底部固定连接有支撑腿,所述支撑腿设有四组,四组所述支撑腿均匀的分部在测量台的底部。
13、作为上述技术方案的进一步描述:
14、所述平量尺与芯片贴合并平行。
15、本实用新型具有如下有益效果:
16、1、本实用新型中,通过伸缩杆向上移动带动连杆二向外转动,同时伸缩杆与连杆二相互配合可以带动连杆一向外转动,连杆一向外转动带动固定柱按压芯片,因此,通过这样的设置可以夹紧固定住芯片,防止芯片移动,使高度测量装置对芯片高度的测量更加准确。
17、2、本实用新型中,通过螺纹杆的转动带动螺纹块上下移动,螺纹块带动连杆三上下移动,连杆三带动平量尺移动到与芯片平行,然后可以根据平量尺旁边的微刻度线准确的得出芯片的高度,通过这样的设置可以让测试人员便于直观的观察芯片的高度。
1.一种芯片高度测量用夹持装置,包括测量台(1),其特征在于:所述测量台(1)上固定连接有气缸(2),所述气缸(2)的输出端固定连接有伸缩杆(3),所述伸缩杆(3)贯穿滑动连接于测量台(1)上,所述伸缩杆(3)远离气缸(2)的一端固定连接有连接板(4),所述连接板(4)的两端铰接有连杆一(5),所述连杆一(5)远离连接板(4)的一端固定连接有固定柱(6),所述测量台(1)上铰接有连杆二(7),所述连杆二(7)远离测量台(1)的一端铰接于连杆一(5)上。
2.根据权利要求1所述的一种芯片高度测量用夹持装置,其特征在于:所述测量台(1)上固定连接有电机(8),所述电机(8)的输出端贯穿转动连接于测量台(1)上,所述电机(8)的输出端固定连接有螺纹杆(9),所述测量台(1)上固定连接有竖板(15),所述螺纹杆(9)转动连接于竖板(15)上,所述螺纹杆(9)上螺纹连接有螺纹块(10),所述螺纹块(10)的两端固定连接有连杆三(11),所述连杆三(11)远离螺纹块(10)的一端固定连接有平量尺(12)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片高度测量用夹持装置,其特征在于:所述竖板(15)上固定连接有槽杆(13),所述连杆三(11)远离平量尺(12)的一侧固定连接有滑块(14),所述滑块(14)滑动连接于槽杆(13)上。
4.根据权利要求2所述的一种芯片高度测量用夹持装置,其特征在于:所述竖板(15)上设有方形口(18),所述连杆三(11)在方形口(18)上滑动。
5.根据权利要求2所述的一种芯片高度测量用夹持装置,其特征在于:所述竖板(15)的两端设有微刻度线(16),所述微刻度线(16)位于平量尺(12)的一侧。
6.根据权利要求1所述的一种芯片高度测量用夹持装置,其特征在于:所述测量台(1)的底部固定连接有支撑腿(17),所述支撑腿(17)设有四组,四组所述支撑腿(17)均匀的分部在测量台(1)的底部。
7.根据权利要求2所述的一种芯片高度测量用夹持装置,其特征在于:所述平量尺(12)与芯片贴合并平行。