本发明涉及钙钛矿薄膜制备，尤其涉及一种钙钛矿薄膜的退火钝化装置及其工作方法。
背景技术：
1、随着钙钛矿薄膜电池的快速发展，其效率和稳定性也在快速提高。在钙钛矿电池的制备过程中，为提高钙钛矿薄膜结晶效率和稳定性常用退火和钝化工序。但目前的退火钝化工序时间较长，生产效率低。
技术实现思路
1、本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
2、为此，本发明的实施例提出一种钙钛矿薄膜的退火钝化装置及其工作方法。
3、一方面，本发明提出了一种钙钛矿薄膜的退火钝化装置，包括：
4、干燥气体存储器，所述干燥气体存储器出口管线上设置加热器；
5、钝化材料存储器，所述钝化材料存储器出口管线上设置防反阀，所述钝化材料存储器可加热钝化溶液或使钝化溶液雾化；
6、混合器，所述加热器出口的气体与所述防反阀出口的钝化溶液经管线进入所述混合器混合；
7、风刀，所述风刀设置在热台上方，所述混合器的出口端通过管线连接所述风刀，所述热台放置在可密封舱室内；
8、真空泵，所述真空泵通过真空管道连通所述可密封舱室。
9、在一些实施例中，所述干燥气体存储器与所述加热器之间的管线上设置压力调节阀。
10、在一些实施例中，所述干燥气体为液氮或干燥空气。
11、在一些实施例中，所述钝化材料存储器与所述防反阀之间的管线上设置阀门。
12、在一些实施例中，所述混合器为混合风扇。
13、在一些实施例中，钙钛矿薄膜置于所述热台上，所述风刀的出风口朝向所述热台。
14、在一些实施例中，所述钝化存储器包括加热装置，在工作过程中钝化溶液经所述加热装置加热汽化后进入所述混合器。
15、在一些实施例中，所述钝化存储器包括雾化器，在工作过程中钝化溶液经所述雾化器雾化后进入所述混合器。
16、在一些实施例中，所述真空泵的功率档位可调节。
17、另一方面，本发明提出了一种钙钛矿薄膜的退火钝化装置的工作方法，利用退火钝化装置，包括以下步骤：
18、干燥气体经加热器加热后进入混合器，钝化溶液经防反阀进入混合器，干燥气体和钝化溶液在混合器中混合后通入风刀吹扫钙钛矿薄膜；
19、调节真空泵的功率抽取可密封舱室内的气体。
20、相对于现有技术，本发明的有益效果为：
21、本发明在传统的钙钛矿薄膜退火装置的基础上，增加集成了热风辅助退火成膜和钝化功能，在需要热风辅助时发挥作用，同时有随风刀吹扫的雾化或汽化的钝化材料对钙钛矿膜层进行表面钝化，同时兼具退火、辅助成膜和钝化等多种功能，可选择各功能的组合使用，节省了设备投入，提高了研发效率。
1.一种钙钛矿薄膜的退火钝化装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，所述干燥气体存储器与所述加热器之间的管线上设置压力调节阀。
3.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，所述干燥气体为液氮或干燥空气。
4.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，所述钝化材料存储器与所述防反阀之间的管线上设置阀门。
5.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，所述混合器为混合风扇。
6.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，钙钛矿薄膜置于所述热台上，所述风刀的出风口朝向所述热台。
7.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，所述钝化存储器包括加热装置，在工作过程中钝化溶液经所述加热装置加热汽化后进入所述混合器。
8.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，所述钝化存储器包括雾化器，在工作过程中钝化溶液经所述雾化器雾化后进入所述混合器。
9.如权利要求1所述的退火钝化装置，其特征在于，所述真空泵的功率档位可调节。
10.一种钙钛矿薄膜的退火钝化装置的工作方法，其特征在于，利用如权利要求1-9任一所述的退火钝化装置，包括以下步骤：
