本发明涉及晶棒加工转运,尤其涉及一种晶棒加工用夹持转运设备。
背景技术:
1、晶棒加工转运是在半导体制造或其他相关工业中,对晶棒进行加工和转移的一种过程,对晶棒进行转运需要使用特定的工具和设备,晶棒加工转运设备通常设计用于确保晶棒在整个加工过程中的安全性和完整性。
2、晶棒通常是由硅等材料制成的长条状物,用于制造半导体器件或其他光电子设备。
3、公告号为cn114474437a的发明公开了单晶硅上料自适应夹持转运装置及方法,其技术方案要点为:包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅的转运机构,上料机构包括送料机架及铰接于送料机架上由送料驱动机构驱动转动的上料架,转运机构包括滑台及用于夹持单晶硅的转运夹爪,转运机构旁侧具有单晶硅棒夹持机构,单晶硅棒夹持机构包括用于承托单晶硅棒的回转下夹持件及位于回转下夹持件上方由夹持驱动装置驱动下压单晶硅棒的上夹持件,本发明提供了单晶硅上料自适应夹持转运装置,能够通过放置架与夹爪组配合实现对单晶硅棒的上料与转运,减少上料时间提高棒料输送效率并利用自适应夹持的夹持结构,可以找到硅晶棒实际轴向重心,依靠锁紧装置,实现硅晶棒稳定竖立。
4、针对上述中相关内容,存在以下技术缺陷:需要将晶棒转运到加工点时,可将晶棒放置在夹持转运设备上,通过夹持转运设备和该夹持转运设备底部安装的万向轮,可将晶棒运输到加工点,夹持转运设备能同时对两根晶棒进行运送,但是该夹持转运设备的夹持,只能对晶棒进行临时的夹持,且夹持不稳定,在转运体积较小的晶棒时,体积较小的晶棒在转运的过程中,会在夹持转运设备内部发生摇晃,且晶棒还会因为摇晃而从夹持转运设备上滑出,滑出的晶棒会与地面发生磕碰,从而导致晶棒表面受损,影响对晶棒后续的加工效果,导致该夹持转运设备对体积较小的晶棒的转运效果较差。
5、因此,有必要提供一种新的一种晶棒加工用夹持转运设备解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本发明的目的是解决现有技术中存在夹持转运设备的夹持,只能对晶棒进行临时的夹持,且夹持不稳定,在转运体积较小的晶棒时,体积较小的晶棒在转运的过程中,会在夹持转运设备内部发生摇晃,且晶棒还会因为摇晃而从夹持转运设备上滑出,滑出的晶棒会与地面发生磕碰,从而导致晶棒表面受损,影响对晶棒后续的加工效果,导致该夹持转运设备对体积较小的晶棒的转运效果较差的缺点,而提出的一种晶棒加工用夹持转运设备。
2、为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:夹持转运设备本体和调节装置,所述夹持转运设备本体的下表面安装有四个万向轮,所述夹持转运设备本体远离万向轮的一侧设有调节装置,所述调节装置包括四个支撑杆,四个所述支撑杆两两为一组,每组所述支撑杆分别与夹持转运设备本体的侧面两端固定连接,两个所述支撑杆远离夹持转运设备本体的一端固定连接有同一个连接板,所述连接板的一侧固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有螺杆,所述螺杆的圆弧面螺纹连接有调节筒,所述调节筒远离第一电机的一侧固定连接有调节夹口,两个所述调节夹口彼此靠近的一侧均设有固定夹口,所述固定夹口与调节夹口靠近夹持转运设备本体的一侧均固定连接有衔接块,两个所述衔接块的内壁滑动贯穿有两个相同的导向杆,两个所述固定夹口彼此靠近的一侧固定连接有同一个固定杆,所述调节筒的圆弧面一端固定连接有限位环,所述限位杆的内壁滑动贯穿有滑动杆,所述滑动杆与连接板滑动贯穿。
3、采用上述技术方案,达到了需要将晶棒转运到加工点时,可将晶棒放置在夹持转运设备本体上,通过夹持转运设备本体和万向轮来将晶棒运输到加工点,夹持转运设备本体能同时运送两根晶棒,但是该夹持转运设备本体只能对晶棒进行临时的夹持,且夹持不稳定,在转运体积较小的晶棒时,体积较小的晶棒在转运的过程中会在夹持转运设备本体发生摇晃,且晶棒还会因为摇晃而从夹持转运设备本体上滑出,滑出的晶棒会与地面发生磕碰,从而导致晶棒表面受损,影响对晶棒后续的加工效果,此时可通过调节装置来对体积较小的晶棒进行进一步夹持,从而能通过调节装置来提高对晶棒进行转运的稳定性,避免晶棒在运输时从夹持转运设备本体上滑出的风险出现。
4、优选的,所述第一电机的圆弧面滑动连接有防护壳,所述防护壳的圆弧面两端均固定连接有组装块,所述组装块的内壁螺纹贯穿有转动杆,所述转动杆与连接板螺纹连接。
5、采用该优选方案,达到了第一电机的表面较为脆弱,此时可通过丝杆和组装块,将防护壳安装在第一电机的表面,从而能通过防护壳来对第一电机的表面进行保护,避免第一电机受到撞击出现故障。
6、优选的,所述防护壳的圆弧面开设有若干个散热孔,若干个所述散热孔均匀分布在防护壳的圆弧面上。
7、采用上述技术方案,达到了防护壳对第一电机的表面进行保护时,防护壳上开设的散热孔能对第一电机工作所产生的热能进行排放,避免热能对第一电机的使用寿命造成影响。
8、优选的,所述滑动杆为钛合金杆。
9、采用上述技术方案,达到了钛合金材质的滑动杆其杆体表面较为坚硬,这也使钛合金材质的滑动杆长时间在限位环和连接板内滑动时,其杆体表面较难发生形变,使用寿命较好。
10、优选的,所述夹持转运设备本体的一端设有辅助装置,所述辅助装置包括两个支撑板,两个所述支撑板分别与夹持转运设备本体的两端固定连接,所述支撑板的一侧固定连接有第一电推杆,所述第一电推杆的输出端固定连接有调节板,所述调节板的一侧设有辅助板,所述辅助板与夹持转运设备本体固定连接,所述调节板的内壁转动连接有转动轴,所述转动轴的圆弧面固定连接有转动板,两个所述转动板远离调节板的一侧固定连接有同一个底板,所述底板的一侧固定连接有两个第二电推杆,所述第二电推杆的输出端固定连接有传输杆,所述传输杆远离底板的一端固定连接有接触块,所述接触块远离传输杆的一侧固定连接有吸盘。
11、采用上述技术方案,达到了需要将夹持转运设备本体上的晶棒进行拆卸时,可通过辅助装置来辅助工人将晶棒从夹持转运设备本体上拆卸,从而能通过辅助装置提高将晶棒从夹持转运设备本体上拆卸的速度,从而能通过辅助装置提高将晶棒从夹持转运设备本体上拆卸的效率。
12、优选的,所述转动轴的圆弧面两端均滑动连接有卷簧,所述卷簧的两端分别与调节板和转动板固定连接。
13、采用上述技术方案,达到了通过第一电推杆来带动转动板与辅助板接触时,卷簧能更快地带动转动板向夹持转运设备本体的底部进行运动,提高收卷转动板时的效率。
14、优选的,所述接触块的截面呈圆形。
15、采用上述技术方案,达到了接触块与晶棒发生接触时,圆形的接触块与晶棒表面接触的稳定性较好,圆形的接触块能更便于对晶棒进行推动。
16、优选的,所述夹持转运设备本体的一侧设有升降装置,所述升降装置包括调节框,所述调节框与夹持转运设备本体固定连接,所述调节框的内壁滑动连接有滑块,所述滑块远离夹持转运设备本体的一侧固定连接有升降仓,所述调节框靠近万向轮的一端固定连接有保护板,所述保护板远离调节框的一侧固定连接有第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有丝杆,所述丝杆与滑块螺纹贯穿。
17、采用上述技术方案,达到了将晶棒通过辅助装置从夹持转运设备本体上拆卸下时,可通过升降装置来对拆卸下的晶棒进行保护,从而能通过升降装置来避免晶棒拆卸的过程中从工人手中滑脱,导致晶棒与地面发生磕碰出现损坏,通过升降装置能提高将晶棒从夹持转运设备本体上拆卸的安全性。
18、优选的,所述升降仓的底壁固定连接有连接垫,所述连接垫的截面呈矩形。
19、采用上述技术方案,达到了晶棒放置在升降仓内时,升降仓底部安装的连接垫能避免晶棒与升降仓直接发生接触,从而能避免升降仓底部与晶棒表面出现磨损。
20、优选的,所述升降仓远离夹持转运设备本体的一侧开设有两个辅助槽。
21、采用上述技术方案,达到了将晶棒从升降仓内取出时,可通过升降仓上开设的辅助槽来将晶棒从升降仓内取出,辅助槽能提高将晶棒从升降仓内取出的速度。
22、与现有技术相比,本发明的优点和积极效果在于,
23、1、本发明中,通过设置调节装置,使用夹持转运设备对体积较小的晶棒进行运输时,可通过调节装置对晶棒的表面进行夹持,从而能通过调节装置提高夹持转运设备,对体积较小的晶棒进行转运的稳定性,能有效避免晶棒从夹持转运设备上滑出,导致晶棒表面出现损坏的情况发生。
24、2、本发明中,通过设置辅助装置,将晶棒从夹持转运设备上拆卸下时,可通过辅助装置来辅助工人将晶棒从夹持转运设备上进行拆卸,从而能通过辅助装置来提高拆卸晶棒的效率,还能减少工人的工作量,降低工人的疲劳。
25、3、本发明中,通过设置升降装置,使用辅助装置将晶棒从夹持转运设备上拆卸下时,可通过升降装置对拆卸的晶棒进行保护,从而能通过升降装置,来提高拆卸晶棒时的安全性,能有效避免晶棒从工人手中滑脱,导致晶棒与地面磕碰出现损坏的情况发生。
1.一种晶棒加工用夹持转运设备,包括夹持转运设备本体(1)和调节装置(2),其特征在于:所述夹持转运设备本体(1)的下表面安装有四个万向轮(5),所述夹持转运设备本体(1)远离万向轮(5)的一侧设有调节装置(2),所述调节装置(2)包括四个支撑杆(201),四个所述支撑杆(201)两两为一组,每组所述支撑杆(201)分别与夹持转运设备本体(1)的侧面两端固定连接,两个所述支撑杆(201)远离夹持转运设备本体(1)的一端固定连接有同一个连接板(202),所述连接板(202)的一侧固定连接有第一电机(203),所述第一电机(203)的输出端固定连接有螺杆(204),所述螺杆(204)的圆弧面螺纹连接有调节筒(205),所述调节筒(205)远离第一电机(203)的一侧固定连接有调节夹口(206),两个所述调节夹口(206)彼此靠近的一侧均设有固定夹口(215),所述固定夹口(215)与调节夹口(206)靠近夹持转运设备本体(1)的一侧均固定连接有衔接块(214),两个所述衔接块(214)的内壁滑动贯穿有两个相同的导向杆(213),两个所述固定夹口(215)彼此靠近的一侧固定连接有同一个固定杆(207),所述调节筒(205)的圆弧面一端固定连接有限位环(208),所述限位杆的内壁滑动贯穿有滑动杆(209),所述滑动杆(209)与连接板(202)滑动贯穿。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述第一电机(203)的圆弧面滑动连接有防护壳(210),所述防护壳(210)的圆弧面两端均固定连接有组装块(211),所述组装块(211)的内壁螺纹贯穿有转动杆(216),所述转动杆(216)与连接板(202)螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述防护壳(210)的圆弧面开设有若干个散热孔(212),若干个所述散热孔(212)均匀分布在防护壳(210)的圆弧面上。
4.根据权利要求1所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述滑动杆(209)为钛合金杆。
5.根据权利要求1所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述夹持转运设备本体(1)的一端设有辅助装置(3),所述辅助装置(3)包括两个支撑板(301),两个所述支撑板(301)分别与夹持转运设备本体(1)的两端固定连接,所述支撑板(301)的一侧固定连接有第一电推杆(302),所述第一电推杆(302)的输出端固定连接有调节板(303),所述调节板(303)的一侧设有辅助板(311),所述辅助板(311)与夹持转运设备本体(1)固定连接,所述调节板(303)的内壁转动连接有转动轴(304),所述转动轴(304)的圆弧面固定连接有转动板(305),两个所述转动板(305)远离调节板(303)的一侧固定连接有同一个底板(307),所述底板(307)的一侧固定连接有两个第二电推杆(310),所述第二电推杆(310)的输出端固定连接有传输杆(308),所述传输杆(308)远离底板(307)的一端固定连接有接触块(309),所述接触块(309)远离传输杆(308)的一侧固定连接有吸盘。
6.根据权利要求5所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述转动轴(304)的圆弧面两端均滑动连接有卷簧(306),所述卷簧(306)的两端分别与调节板(303)和转动板(305)固定连接。
7.根据权利要求5所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述接触块(309)的截面呈圆形。
8.根据权利要求1所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述夹持转运设备本体(1)的一侧设有升降装置(4),所述升降装置(4)包括调节框(41),所述调节框(41)与夹持转运设备本体(1)固定连接,所述调节框(41)的内壁滑动连接有滑块(42),所述滑块(42)远离夹持转运设备本体(1)的一侧固定连接有升降仓(46),所述调节框(41)靠近万向轮(5)的一端固定连接有保护板(44),所述保护板(44)远离调节框(41)的一侧固定连接有第二电机(45),所述第二电机(45)的输出端固定连接有丝杆(43),所述丝杆(43)与滑块(42)螺纹贯穿。
9.根据权利要求8所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述升降仓(46)的底壁固定连接有连接垫(47),所述连接垫(47)的截面呈矩形。
10.根据权利要求8所述的一种晶棒加工用夹持转运设备,其特征在于:所述升降仓(46)远离夹持转运设备本体(1)的一侧开设有两个辅助槽(48)。