本发明涉及半导体设备，特别是涉及一种带辅助吸盘的组合式吸盘。
背景技术：
1、伯努利吸盘是一种利用压缩空气通过小径(小孔)产生高速射流，高速射流带走周围气体，从而产生负压来吸取物品的吸盘，伯努利吸盘具有很强稳定性，而且吸取方便，因此在很多产品的生产中已经大量得到使用，而对于一些特殊形状以及特殊规格的产品进行吸取处理时，由于产品的特殊性，对于边角处的特殊部位吸附力不足，会导致吸附效果不佳，会出现吸附不牢的情况，为了保证对不同规格的产品进行吸附处理时，吸盘仍然能够保持足够的吸力，避免产品由于吸盘吸附力不足导致吸附过程中脱落的情况，因此需要一种带辅助吸盘的组合式吸盘。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种带辅助吸盘的组合式吸盘，用于解决现有技术中提高吸盘吸附力的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供如下技术方案：
3、一种带辅助吸盘的组合式吸盘，包括底板，设于底板中心位置的主进气盘，沿主进气盘周向设于底板上的辅助吸盘组件，所述底板底部端面上设有连通主进气盘进气口与底板底部端面之间的主进气垫片；
4、所述辅助吸盘组件包括开设于底板上的辅助进气座，可拆卸的装配于辅助进气座上的进气底座，所述进气底座底部与辅助进气座之间间隔设置，所述底板上、辅助进气座外侧设有连接座，所述进气底座与连接座之间可拆卸的连接，所述底板底部端面上设有连通进气底座与底板底部端面之间的辅助进气垫片。
5、实现上述技术方案，通过设置辅助吸盘组件配合主进气盘同时对零部件进行吸取处理，保证对零部件吸附过程中的稳定性与可靠性，主进气垫片的设置能够保证柱进气盘处气体流动的稳定性，通过设置辅助进气座配合可拆卸的装配于辅助进气座上的进气底座，将辅助进气座处赋予辅助吸附的能力，从而能够对工件进行辅助吸附处理，辅助进气垫片的设置能够保证辅助进气座处气体流动的稳定性。
6、于本发明的一实施例中，所述进气底座底部呈喇叭状设置，且开口朝向辅助进气座设置，所述进气底座中心处设有进气头，所述进气头底部连接于喇叭状进气底座的中心位置处。
7、实现上述技术方案，将进气底座底部呈喇叭状设置，利用康达效应，从而使气体能够沿喇叭状的轮廓流动，随进气底座中心处设有进气头，并且进气头底部连接于喇叭状进气底座的中心位置处，能够配合喇叭状设置的进气底座带走辅助进气座内的气流，从而使辅助进气座底部能够形成负压空间，对工件进行辅助吸附。
8、于本发明的一实施例中，所述辅助进气座周向呈喇叭状设置，且开口朝向进气底座设置，所述辅助进气座最大径向尺寸大于进气底座最大径向尺寸设置。
9、实现上述技术方案，将辅助进气座周向呈喇叭状设置，能够对从进气底座中心处进气头处输出的气流导出辅助进气座，从而保证辅助进气座内气体流动的通畅性，将辅助进气座最大径向尺寸大于进气底座最大径向尺寸设置，避免气流从辅助进气座流出时，进气底座会对辅助进气座气流阻挡。
10、于本发明的一实施例中，所述进气底座上套接有限位环座，所述限位环座上对称设有两组定位耳环，所述连接座在底板上沿辅助进气座两侧对称设有两组，所述两组定位耳环与两组连接座之间尺寸相匹配。
11、实现上述技术方案，限位环座的设置能够方便对进气底座的安装，两组定位耳环与两组连接座相互配合能够方便将限位环座安装到连接座上，提高安装便捷性。
12、于本发明的一实施例中，所述限位环座径向尺寸大于进气底座径向尺寸设置。
13、实现上述技术方案，能够提高限位环座与连接座之间的安装便捷性以及安装可靠性。
14、于本发明的一实施例中，所述辅助进气垫片为闭环式垫片。
15、实现上述技术方案，通过将辅助进气垫片为闭环式垫片设置，能够使进气底座与辅助进气座之间形成独立的气流空间，从而实现辅助吸附工件的效果。
16、如上所述，本发明的一种带辅助吸盘的组合式吸盘，具有以下有益效果：通过设置辅助吸盘组件配合主进气盘同时对零部件进行吸取处理，保证对零部件吸附过程中的稳定性与可靠性，主进气垫片的设置能够保证柱进气盘处气体流动的稳定性，通过设置辅助进气座配合可拆卸的装配于辅助进气座上的进气底座，将辅助进气座处赋予辅助吸附的能力，从而能够对工件进行辅助吸附处理，辅助进气垫片的设置能够保证辅助进气座处气体流动的稳定性，将进气底座底部呈喇叭状设置，利用康达效应，从而使气体能够沿喇叭状的轮廓流动，随进气底座中心处设有进气头，并且进气头底部连接于喇叭状进气底座的中心位置处，能够配合喇叭状设置的进气底座带走辅助进气座内的气流，从而使辅助进气座底部能够形成负压空间，对工件进行辅助吸附。
1.一种带辅助吸盘的组合式吸盘，其特征在于，包括底板，设于底板中心位置的主进气盘，沿主进气盘周向设于底板上的辅助吸盘组件，所述底板底部端面上设有连通主进气盘进气口与底板底部端面之间的主进气垫片；
2.根据权利要求1所述的带辅助吸盘的组合式吸盘，其特征在于：所述进气底座底部呈喇叭状设置，且开口朝向辅助进气座设置，所述进气底座中心处设有进气头，所述进气头底部连接于喇叭状进气底座的中心位置处。
3.根据权利要求1所述的带辅助吸盘的组合式吸盘，其特征在于：所述辅助进气座周向呈喇叭状设置，且开口朝向进气底座设置，所述辅助进气座最大径向尺寸大于进气底座最大径向尺寸设置。
4.根据权利要求1所述的带辅助吸盘的组合式吸盘，其特征在于：所述进气底座上套接有限位环座，所述限位环座上对称设有两组定位耳环，所述连接座在底板上沿辅助进气座两侧对称设有两组，所述两组定位耳环与两组连接座之间尺寸相匹配。
5.根据权利要求4所述的带辅助吸盘的组合式吸盘，其特征在于：所述限位环座径向尺寸大于进气底座径向尺寸设置。
6.根据权利要求1所述的带辅助吸盘的组合式吸盘，其特征在于：所述辅助进气垫片为闭环式垫片。
