晶锭装夹上料机构及晶锭切片装夹上料机的制作方法

    技术2025-07-14  14


    本发明涉及晶锭加工设备,尤其涉及一种晶锭装夹上料机构及晶锭切片装夹上料机。


    背景技术:

    1、单晶硅是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池、芯片等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,是人类已得到最纯的物质。在单晶硅中掺入微量的第iiia族元素,形成p型半导体,掺入微量的第va族元素,形成n型,n型和p型半导体结合在一起,就可做成太阳能电池,将辐射能转变为电能。

    2、由于每个晶锭的重量较重,线切车间的上下料工序劳动强度大,为了节省人力和提高运送安全性,往往需要用移动工装来对晶锭进行移动,最后将晶锭送入toyo切片机切割加工。现有toyo切片机切割前,晶锭上料采用简单工装进行升降推送至燕尾槽处,这种上料方式容易发生磕碰,下料过程中采用人工手动的方式将切割后的硅片固定料板推拉至上下料工装上,容易发生掉片。


    技术实现思路

    1、为解决上述技术中存在的技术问题,鉴于此,有必要提供一种晶锭装夹上料机构。

    2、一种晶锭装夹上料机构,包括横向移动部件、纵向移动部件、前移部件、旋转部件、夹持部件;

    3、所述纵向移动部件设置于横向移动部件上,使横向移动部件能够带动纵向移动部件沿横向移动部件横移;

    4、所述前移部件包括前移座、前移伸缩部;所述前移座设置于纵向移动部件的下方,使纵向移动部件能够带动前移座上下移动,所述前移伸缩部设置于前移座上;

    5、所述旋转部件设置于前移伸缩部上,前移伸缩部伸出或收缩,能够带动旋转部件沿前移座的轴线方向前后移动;

    6、所述夹持部件安装在旋转部件上,旋转部件周向转动,能够带动夹持部件沿旋转部件的轴线周向转动。

    7、优选的,所述夹持部件包括夹持基座、左夹持件、右夹持件、往复推移组件;所述夹持基座设置于旋转部件上,所述左夹持件、右夹持件滑动对称设置于夹持基座上,并且左夹持件、右夹持件能够沿夹持基座同步靠拢或分离,实现对接着晶锭的夹持或释放,所述往复推移组件设置于夹持基座的下方,往复推移组件的一端伸入至左夹持件与右夹持件之间,且吸附在接着晶锭的底部,往复推移组件能够带动接着晶锭沿左夹持件、右夹持件滑移。

    8、优选的,所述往复推移组件包括驱动部、摆臂、连接臂;所述驱动部设置于夹持基座的下方,所述摆臂设置于驱动部的输出端,所述连接臂的一端转动相接于摆臂,连接臂的另一端能够吸附在晶锭的底部,在驱动部带动摆臂转动时,使摆臂能够带动连接臂前后移动,进而促使接着晶锭沿左夹持件、右夹持件滑移。

    9、优选的,所述连接臂的端部设置有能够吸附在接着晶锭底部的电磁铁。

    10、优选的,所述夹持基座上滑动设置有两个可沿夹持基座横向滑移的滑块,所述滑块分别与左夹持件、右夹持件相连接。

    11、优选的,所述左夹持件、右夹持件相对的一侧表面上均设置有与接着晶锭底部接着料板相适配的导槽,在导槽的地面上等间距的布设有导轮。

    12、优选的,所述左夹持件、右夹持件远离夹持基座的一端设置有红外探头。

    13、优选的,所述横向移动部件包括横移伸缩部、导向架;所述导向架上设置有导轨,在导轨上滑动设置有用于安装固定纵向移动部件的移动块,所述横移伸缩部设置于导向架上,横移伸缩部的端部相接于移动块,使横移伸缩部能够带动移动块沿导轨往复滑移。

    14、优选的,还包括立柱、及动力部件,所述立柱上纵向对称设置有导向轨道,所述动力部件包括电机、丝杆;所述丝杆纵向转动设置于立柱上,丝杆上螺纹安装有用于固定横向移动部件的底座,底座的两侧滑动连接于导向轨道,所述电机设置于立柱上,电机的输出端相接于丝杆,使丝杆能够带动底座沿导向轨道上下移动。

    15、还有必要提供一种晶锭切片装夹上料机。

    16、一种晶锭切片装夹上料机,包括上述所述的晶锭装夹上料机构。

    17、与现有技术相比,本发明提供的晶锭装夹上料机构及晶锭切片装夹上料机,包括横向移动部件、纵向移动部件、前移部件、旋转部件、夹持部件;纵向移动部件设置于横向移动部件上,使横向移动部件能够带动纵向移动部件沿横向移动部件横移;前移部件包括前移座、前移伸缩部;前移座设置于纵向移动部件的下方,使纵向移动部件能够带动前移座上下移动,前移伸缩部设置于前移座上;旋转部件设置于前移伸缩部上,前移伸缩部伸出或收缩,能够带动旋转部件沿前移座的轴线方向前后移动;夹持部件安装在旋转部件上,旋转部件周向转动,能够带动夹持部件沿旋转部件的轴线周向转动。在使用时,能够在三个维度上进行移动,并且能通过周向旋转来调整夹持部件的位置,可针对摆放不平的工件进行旋转夹持,保证装夹及移动过程中的方位调整的多功能性,夹持稳定、精准,能够有效防止掉片发生。



    技术特征:

    1.一种晶锭装夹上料机构,其特征在于:包括横向移动部件、纵向移动部件、前移部件、旋转部件、夹持部件;

    2.根据权利要求1所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:所述夹持部件包括夹持基座、左夹持件、右夹持件、往复推移组件;所述夹持基座设置于旋转部件上,所述左夹持件、右夹持件滑动对称设置于夹持基座上,并且左夹持件、右夹持件能够沿夹持基座同步靠拢或分离,实现对接着晶锭的夹持或释放,所述往复推移组件设置于夹持基座的下方,往复推移组件的一端伸入至左夹持件与右夹持件之间,且吸附在接着晶锭的底部,往复推移组件能够带动接着晶锭沿左夹持件、右夹持件滑移。

    3.根据权利要求2所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:所述往复推移组件包括驱动部、摆臂、连接臂;所述驱动部设置于夹持基座的下方,所述摆臂设置于驱动部的输出端,所述连接臂的一端转动相接于摆臂,连接臂的另一端能够吸附在晶锭的底部,在驱动部带动摆臂转动时,使摆臂能够带动连接臂前后移动,进而促使接着晶锭沿左夹持件、右夹持件滑移。

    4.根据权利要求3所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:所述连接臂的端部设置有能够吸附在接着晶锭底部的电磁铁。

    5.根据权利要求2所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:所述夹持基座上滑动设置有两个可沿夹持基座横向滑移的滑块,所述滑块分别与左夹持件、右夹持件相连接。

    6.根据权利要求5所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:所述左夹持件、右夹持件相对的一侧表面上均设置有与接着晶锭底部接着料板相适配的导槽,在导槽的地面上等间距的布设有导轮。

    7.根据权利要求5所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:所述左夹持件、右夹持件远离夹持基座的一端设置有红外探头。

    8.根据权利要求1所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:所述横向移动部件包括横移伸缩部、导向架;所述导向架上设置有导轨,在导轨上滑动设置有用于安装固定纵向移动部件的移动块,所述横移伸缩部设置于导向架上,横移伸缩部的端部相接于移动块,使横移伸缩部能够带动移动块沿导轨往复滑移。

    9.根据权利要求1所述的晶锭装夹上料机构,其特征在于:还包括立柱、及动力部件,所述立柱上纵向对称设置有导向轨道,所述动力部件包括电机、丝杆;所述丝杆纵向转动设置于立柱上,丝杆上螺纹安装有用于固定横向移动部件的底座,底座的两侧滑动连接于导向轨道,所述电机设置于立柱上,电机的输出端相接于丝杆,使丝杆能够带动底座沿导向轨道上下移动。

    10.一种晶锭切片装夹上料机,其特征在于:包括权利要求1-9任意一项所述的晶锭装夹上料机构。


    技术总结
    一种晶锭装夹上料机构,包括横向移动部件、纵向移动部件、前移部件、旋转部件、夹持部件;纵向移动部件设于横向移动部件上,横向移动部件能带动纵向移动部件横移;前移部件包括前移座、前移伸缩部;前移座设于纵向移动部件的下方,纵向移动部件能带动前移座上下移动,前移伸缩部设于前移座上;旋转部件设于前移伸缩部上,前移伸缩部伸出或收缩能带动旋转部件前后移动;夹持部件安装在旋转部件上,旋转部件能带动夹持部件周向转动。本发明能在三个维度上进行移动,且能通过周向旋转调整夹持部件的位置,可针对摆放不平的工件进行旋转夹持,保证装夹及移动过程中的夹持稳定、精准,有效防止掉片。还提供一种晶锭切片装夹上料机。

    技术研发人员:史小峰,王黎光,芮阳,赵延祥,程博,白玉,石鑫,王忠保
    受保护的技术使用者:宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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