本发明涉及试样支承体和试样支承体的制造方法。
背景技术：
1、一直以来，在试样的质量分析中，已知有用于将试样的成分离子化的试样支承体(例如，参照专利文献1)。这样的试样支承体具备：具有第1主面、与第1主面相反侧的第2主面、以及在第1主面和第2主面开口的多个贯通孔的基板；和设置于第1主面的导电层。
2、在这样的质量分析中，例如在向基板的第1主面照射激光那样的能量线时，能量通过导电层传递至第1主面侧的试样的成分。由此，试样的成分被离子化的结果，产生试样离子。于是，能检测试样离子，并基于其检测结果实施试样的质量分析。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特许第6093492号公报
技术实现思路
1、发明想要解决的技术问题
2、在上述那样的质量分析中，能量通过导电层传递至试样的成分，因此试样的成分被高效地离子化。其结果，试样离子也被高效地检测到，因此能够确保灵敏度(信号强度)的提高。但是，在质量分析中，存在期望灵敏度更高的情况。
3、本公开的目的在于，提供能够进行高灵敏度的质量分析的试样支承体和试样支承体的制造方法。
4、用于解决技术问题的手段
5、本发明的试样支承体是用于试样的成分的离子化的试样支承体，具备：具有主面和在主面开口的多个孔的基板；以不堵塞孔的方式设置于主面的导电层；和设置于导电层的表面的多个颗粒，多个颗粒对用于离子化的能量线的吸收率为导电层对能量线的吸收率以上。
6、该试样支承体包括具有主面和在主面开口的多个孔的基板。当对多个孔导入试样的成分时，成分会停留在主面侧。当对导电层施加电压并且对主面照射能量线时，能量传递至主面侧中的成分。主面侧中的成分通过该能量而被离子化。此处，在导电层的表面设置有多个颗粒。多个颗粒对能量线的吸收率为导电层对能量线的吸收率以上。因此，上述能量被高效地传递至主面侧中的成分，由此，主面侧中的成分被高效地离子化。因此由成分的离子化而产生的试样离子的信号强度提高。由此，采用该试样支承体，能够进行高灵敏度的质量分析。
7、多个颗粒也可以是堆积于导电层的表面的多个纳米颗粒。由此，上述能量被更高效地传递至主面侧中的成分，因此能够进行更高灵敏度的质量分析。
8、也可以在从与主面垂直的方向看时，与多个颗粒对应的面积小于与导电层对应的面积。由此，能够可靠地确保导电层和颗粒双方的功能，并能够可靠地实现上述那样的高灵敏度的质量分析。
9、也可以是，导电层的表面包含：相互分离的多个第1区域和位于多个第1区域的各自之间的第2区域，在多个第1区域的各自中设置有多个颗粒，在第2区域不设置多个颗粒。由此，能够可靠地确保导电层和颗粒双方的功能，并能够可靠地实现上述那样的高灵敏度的质量分析。
10、多个颗粒也可以对激光具有吸收性。由此，能够通过使用激光作为能量线，从而实现上述那样的高灵敏度的质量分析。
11、多个颗粒也可以对紫外线具有吸收性。由此，能量线的波段的范围扩大，因此能够提高能量线的种类选择的自由度。
12、也可以是，多个颗粒对能量线的敏化作用大于导电层对能量线的敏化作用。由此，能够可靠地实现上述那样的高灵敏度的质量分析。
13、多个颗粒的材料也可以与导电层的材料不同。由此，能够确保导电层和颗粒双方的功能并且提高导电层和颗粒各自的材料的选择的自由度。
14、多个颗粒的材料也可以含有金属元素。由此，能够确保对能量线具有吸收性的颗粒的功能，并且提高颗粒的材料的选择的自由度。
15、多个颗粒的材料也可以为金、铂或二氧化钛。由此，能够确保对能量线吸收性的颗粒的功能，并且提高颗粒的材料的选择的自由度。
16、多个颗粒的材料也可以含有碳。由此，能够确保对能量线具有吸收性的颗粒的功能，并且提高颗粒的材料的选择的自由度。
17、多个颗粒的材料也可以为含有金属元素或碳的化合物。由此，能够确保对能量线具有吸收性的颗粒的功能，并且提高颗粒的材料的选择的自由度。
18、多个颗粒也可以通过静电喷雾法形成。由此，能够以低成本确保对能量线具有吸收性的颗粒的功能。
19、本公开的试样支承体的制造方法是制造用于试样的成分的离子化的试样支承体的方法，具备：准备具有主面、和在主面开口的多个孔的基板的第1工序；以不堵塞孔的方式在主面设置导电层的第2工序；和在导电层的表面设置多个颗粒的第3工序，多个颗粒对用于离子化的能量线的吸收率为导电层对能量线的吸收率以上。
20、采用该制造方法，能够如上述那样，制造能够进行高灵敏度的质量分析的试样支承体。
21、在第3工序中，也可以通过湿法工艺设置多个颗粒。由此，能够可靠地形成对能量线具有吸收性的颗粒。
22、在第3工序中，也可以通过静电喷雾法，对导电层的表面喷射含有多个颗粒的液体。由此，能够可靠地且低成本地形成对能量线具有吸收性的颗粒。
23、发明的效果
24、采用本发明，能够提供能够进行高灵敏度的质量分析的试样支承体和试样支承体的制造方法。
1.一种试样支承体，其中，
2.如权利要求1所述的试样支承体，其中，
3.如权利要求1或2所述的试样支承体，其中，
4.如权利要求3所述的试样支承体，其中，
5.如权利要求1～4中的任一项所述的试样支承体，其中，
6.如权利要求1～5中的任一项所述的试样支承体，其中，
7.如权利要求1～6中的任一项所述的试样支承体，其中，
8.如权利要求1～7中的任一项所述的试样支承体，其中，
9.如权利要求1～8中的任一项所述的试样支承体，其中，
10.如权利要求9所述的试样支承体，其中，
11.如权利要求1～8中的任一项所述的试样支承体，其中，
12.如权利要求1～8中的任一项所述的试样支承体，其中，
13.如权利要求1～12中的任一项所述的试样支承体，其中，
14.一种试样支承体的制造方法，其中，
15.如权利要求14所述的试样支承体的制造方法，其中，
16.如权利要求15所述的试样支承体的制造方法，其中，
