本技术涉及真空镀膜机内壁面处理,尤其涉及一种真空镀膜机内壁清理器。
背景技术:
1、真空镀膜机在进行镀膜后,会在真空腔室的内壁上残留膜体原料,需要定期清理,同时,由于电子枪撞击膜体颜料后,并不能保证所有溅射离子都能定向飞行到工件上,会有少部分粒子溅射到真空腔室内壁,时间长后会使内壁上出现凹槽,需要对内壁进行抛光,否则膜体原料进入凹槽会更难清理。
2、以上的清理工作目前采用完全人工清理的方式,且各工序要采用不同的工具,操作较为不便。
技术实现思路
1、针对上述缺陷,本实用新型提供一种真空镀膜机内壁清理器,可以通过同一旋转电机对真空腔室的内壁进行刷洗和抛光,且能方便地转换,结构简单,内壁清理效率高。
2、为了实现本实用新型的目的,拟采用以下技术:
3、一种真空镀膜机内壁清理器,包括:
4、抛光机构,包括旋转电机,其输出轴一端设有抛光盘,抛光盘外侧面向内贯穿地开设有多个通孔,抛光盘外周侧一端设有第一卡部,旋转电机上端设有l型卡部;
5、刷洗机构,套设于旋转电机的输出轴外周侧,包括活动盘,活动盘与抛光盘相对的侧面设有多个位置分别与通孔匹配的凸柱,凸柱一端设有多个刷毛,活动盘外周侧一端设有延伸部,延伸部两侧面分别设有由磁性材料制成的卡块,两卡块分别用于装配于第一卡部一侧面和l型卡部上横边的一端面。
6、进一步,第一卡部一侧面开设有第一卡槽,旋转电机上端设有上架,l型卡部设于上架上端,l型卡部上横边的一端面开设有第二卡槽,第一卡部和l型卡部均由磁性材料制成,两卡块分别与第一卡槽和第二卡槽匹配。
7、进一步,活动盘的中心开设有侧面贯穿的套孔,套孔为圆形孔,且套孔的直径比旋转电机的输出轴截面直径大0.5cm~5cm。
8、进一步,凸柱的长度与通孔的深度相等。
9、进一步,与第一卡槽相对设置的一卡块长度与第一卡槽的深度相等。
10、进一步,真空镀膜机内壁清理器还包括设于旋转电机外端的手持机构,包括设于旋转电机下端的l型架,l型架下横边的上端面设有竖握柄。
11、进一步,竖握柄外周侧一端开设有四个凹部。
12、本技术方案的有益效果在于:
13、可以方便地对真空腔室的内壁进行刷洗和抛光,且在刷洗时刷毛也可转动,提高刷洗效果,且通过同一旋转电机即可使抛光盘单独旋转或使抛光盘和刷洗机构共同旋转,通过磁性材料制成的卡紧结构可对两种状态进行快速转换。
1.一种真空镀膜机内壁清理器,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机内壁清理器,其特征在于,第一卡部(14)一侧面开设有第一卡槽,旋转电机(11)上端设有上架(15),l型卡部(16)设于上架(15)上端,l型卡部(16)上横边的一端面开设有第二卡槽,第一卡部(14)和l型卡部(16)均由磁性材料制成,两卡块(26)分别与第一卡槽和第二卡槽匹配。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机内壁清理器,其特征在于,活动盘(21)的中心开设有侧面贯穿的套孔(22),套孔(22)为圆形孔,且套孔(22)的直径比旋转电机(11)的输出轴截面直径大0.5cm~5cm。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机内壁清理器,其特征在于,凸柱(23)的长度与通孔(13)的深度相等。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜机内壁清理器,其特征在于,与第一卡槽相对设置的一卡块(26)长度与第一卡槽的深度相等。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜机内壁清理器,其特征在于,还包括设于旋转电机(11)外端的手持机构(3),包括设于旋转电机(11)下端的l型架(31),l型架(31)下横边的上端面设有竖握柄(32)。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜机内壁清理器,其特征在于,竖握柄(32)外周侧一端开设有四个凹部(33)。