本发明涉及表面清洗技术，具体涉及一种靶材的清洗方法。
背景技术：
1、靶材的本质是陶瓷，是由粉体通过成型烧结而成，其表面经过加工后，在微观下观看靶材表面能看到高低不平的沟壑，而一些因加工产生的粉体、杂质会吸附或者镶嵌在这些凹坑里面。因此，在靶材绑定后，需要对靶材表面进行清洗处理。
2、现有靶材表面清洗技术可以将靶材表面清洗至目视合格，通过专业尘埃粒子检测可以检测到靶材表面仍然存在一些粉尘颗粒杂质，这对于客户使用有很大的影响。
3、同时，清洗后的靶材表面粗糙度也是影响客户端使用的一个关键参数。靶材使用时，其表面粗糙度越高，破开真空包装后，靶材表面会吸附更大的尘埃粒子，从而影响客户端的使用效果。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种靶材的清洗方法，以解决上述背景技术中存在的至少一个技术问题。
2、为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：
3、一种靶材的清洗方法，通过压缩空气的方式将干冰颗粒以喷砂的形式喷射在靶材表面进行清洗；
4、其中：所述干冰颗粒的粒径为0.3~1.5mm，压缩空气气压为0.15~0.55mpa。
5、进一步地，所述干冰颗粒的粒径为0.3mm，压缩空气气压为0.45~0.55mpa。
6、进一步地，干冰喷射口距离靶材表面6~8cm。
7、进一步地，干冰颗粒的喷射量为0.6~3.0kg/min。
8、进一步地，清洗时长为15~30s。
9、干冰清洗过程，靶材表面会因喷砂产生静电，静电会产生静电吸附，进一步地，在干冰清洗过程中，将靶材接地。
10、进一步地，干冰清洗完成后，在靶材表面喷砂大量分析纯酒精。因为干冰清洗后，靶材会从-9℃恢复到12℃左右，这个过程会产生大量冷凝水，冷凝水会将空气中的粉尘杂质重新吸附到靶材表面，因此在干冰清洗后，需要在靶材表面喷砂大量分析纯酒精，隔绝冷凝水的产生。
11、进一步地，在洁净室内进行干冰清洗过程。由于干冰通过喷砂的方式进行清洗，压缩空气会带动环境中的粉尘粒子，因此干冰清洗需要在洁净度等级高的洁净室内进行。
12、进一步地，干冰清洗后，将靶材进行烘烤，将靶材温度恢复至室温。
13、与现有技术相比，本发明的有益效果为：
14、本发明工艺简单，操作简便，能提高靶材表面清洁度，有效改善靶材的产品质量。
15、本发明的清洗方式不会对靶材表面粗糙度造成较大的影响，可极大提升靶材客户端的市场竞争力。
1.一种靶材的清洗方法，其特征在于，通过压缩空气的方式将干冰颗粒以喷砂的形式喷射在靶材表面进行清洗；
2.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述干冰颗粒的粒径为0.3mm，压缩空气气压为0.45~0.55mpa。
3.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，干冰喷射口距离靶材表面6~8cm。
4.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，干冰颗粒的喷射量为0.6~3.0kg/min。
5.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，清洗时长为15~30s。
6.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，干冰清洗过程中，将靶材接地。
7.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，干冰清洗完成后，在靶材表面喷砂大量分析纯酒精。
8.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，在洁净室内进行干冰清洗过程。
9.如权利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，干冰清洗后，将靶材进行烘烤，将靶材温度恢复至室温。
