本公开的示例实施例总体涉及集成电路，并且更具体地，涉及一种用于优化版图处理模型的方法、设备和介质。
背景技术：
1、在半导体制造中，光刻是将电路图案转至硅片的关键步骤。但光的衍射、干涉及光刻胶反应会导致图案变形或偏差，影响电路性能和良率。为解决此问题，引入了版图处理模型，以优化和修正光刻图案，提升芯片制造精度。
2、在版图处理模型投入使用之前，需要对版图处理模型的参数进行优化。这一优化过程旨在从众多潜在的参数中甄选出最适当的参数的组合。为实现这一目标，需经历数次迭代，且在每次迭代中，均需对所选的参数进行仿真测试，以准确评估其性能。然而，此过程中仿真操作的实施会占用大量的时间和计算资源，这在一定程度上制约了用于优化版图处理模型的速度和效率。
技术实现思路
1、在本公开的第一方面，提供了一种用于优化版图处理模型的方法，该方法包括：确定与待优化的版图处理模型有关的多个第一模型样本，其中第一模型样本包括版图处理模型的至少一个参数；利用机器学习模型，分别基于多个第一模型样本确定针对版图处理模型的第一预测性能指标，以得到多个第一预测性能指标；响应于多个第一预测性能指标中的目标预测性能指标低于参考性能指标，确定多个第二模型样本，其中多个第二模型样本中的多个第二模型样本与多个第一模型样本中的至少一个第一模型样本不同；以及至少基于多个第二模型样本，确定针对版图处理模型的目标参数。
2、在本公开的第二方面，提供了一种电子设备。该设备包括至少一个处理单元；以及至少一个存储器，至少一个存储器被耦合到至少一个处理单元并且存储用于由至少一个处理单元执行的指令。指令在由至少一个处理单元执行时使设备执行第一方面的用于优化版图处理模型的方法。
3、在本公开的第三方面，提供了一种计算机可读存储介质。该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，计算机程序可由处理器执行以实现第一方面的用于优化版图处理模型的方法。
4、在本公开的第四方面，提供了一种计算机程序产品。该计算机程序产品包括计算机可执行指令，这些指令在被处理器执行时，实现根据本公开的第一方面的用于优化版图处理模型的方法。
5、根据本公开的实施例，在至少一次迭代中，通过引入机器学习模型来预测各个模型样本针对版图处理模型的第一预测性能指标。机器学习模型的快速预测能力使得在该次迭代中，可以迅速识别质量较差（例如第一预测性能指标低于参考性能指标）的模型样本（例如第一模型样本），并对质量较差的模型样本进行处理（例如筛除或替换等），以得到多个第二模型样本。相较于质量较差的模型样本，多个第二模型样本对应的多个预测性能指标（例如多个第二预测性能指标）均高于目标预测性能指标，从而优化了该次迭代的模型样本的质量。这种方式确保了只有较为优质的模型样本被选入新一代模型样本中，从而提高了整个迭代过程的收敛速度，而这有利于提升版图处理模型的优化效率。
6、应当理解，本内容部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键特征或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的描述而变得容易理解。
1.一种用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，包括：
2. 根据权利要求1所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，至少基于所述多个第二模型样本，确定针对所述版图处理模型的目标参数包括：
3.根据权利要求2所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，所述多个第一模型样本是与版图处理模型优化目标参数有关的多次迭代中的第一迭代的输入，并且其中至少基于所述多个第二模型样本，确定针对所述版图处理模型的目标参数包括：
4. 根据权利要求3所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，所述预定操作包括以下至少一项：
5.根据权利要求3所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，所述第一预测性能指标分别与所述多个第一模型样本对应，并且其中响应于所述多个第一预测性能指标中的目标预测性能指标低于参考性能指标，确定多个第二模型样本包括：
6. 根据权利要求1所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，对所述多个第一模型样本中与所述目标预测性能指标对应的第一模型样本进行替换包括：
7.根据权利要求1所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，所述多个第一模型样本是与版图处理模型优化目标参数有关的多次迭代中的第一迭代的输入，所述机器学习模型是基于多个第四模型样本以及分别与所述多个第四模型样本对应的多个第二仿真性能指标而训练的；并且
8.根据权利要求1所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，所述参考性能指标是基于预先设定的指标值而确定的。
9. 根据权利要求1所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，所述多个第一模型样本是与版图处理模型优化目标参数有关的多次迭代中的第一迭代的输入，并且其中确定所述参考性能指标包括：
10.根据权利要求9所述的用于优化版图处理模型的方法，其特征在于，基于分别与多个第五模型样本对应的多个第三仿真性能指标，确定所述参考性能指标，包括：
11. 一种电子设备，其特征在于，包括：
12.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机程序，所述计算机程序可由处理器执行以实现根据权利要求1至10任一项所述的用于优化版图处理模型的方法。
13.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机可执行指令，其中所述计算机可执行指令在被处理器执行时实现根据权利要求1至10中任一项所述的用于优化版图处理模型的方法。
