本申请实施例涉及半导体制造领域，具体涉及一种清洗液过滤器。
背景技术：
1、在cmp(化学机械抛光)过程中，晶圆被cmp机器磨削和抛光后需要进行清洗，以去除残留在晶圆表面的材料和颗粒。清洗晶圆需要使用到清洗液，为保持清洗液的纯净度，避免清洗液污染晶圆表面，可以使用清洗液过滤器对清洗液进行过滤。即清洗液过滤器是清洗机中用于过滤清洗液的机器，清洗机为cmp(化学机械抛光)机器中清洗晶圆的机器。
2、清洗液过滤器在使用时，需要更换清洗液过滤器的滤芯，因此如何提供改进的清洗液过滤器，以提高清洗液过滤器的滤芯更换效率，成为了本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例提供一种清洗液过滤器，实现过滤清洗液的作用，并提高清洗液过滤器的滤芯的更换效率。
2、为实现上述目的，本申请实施例提供如下技术方案。
3、第一方面，本申请实施例提供一种清洗液过滤器，所述清洗液过滤器为cmp机器的清洗机中过滤清洗液的机器，所述清洗液过滤器包括一体化区域，所述一体化区域包括：
4、壳体；
5、所述壳体上设置的用于导入所述清洗机中的清洗液的进液口；
6、所述壳体内容纳的用于过滤清洗液的滤芯；
7、所述壳体上设置的用于将过滤后清洗液导出至所述清洗机的出液口。
8、可选地，所述滤芯紧密嵌合于所述壳体的内部。
9、可选地，所述清洗液过滤器还包括：
10、连接于所述壳体的两端，用于排出所述壳体内残留的清洗液的管道。
11、可选地，所述管道上设置有用于控制管道排出残留清洗液的阀门。
12、可选地，所述清洗液过滤器还包括：在所述清洗机和所述清洗液过滤器之间传输清洗液的清洗液传输装置。
13、可选地，所述清洗液传输装置包括：
14、连接所述清洗机和所述进液口，将所述清洗机中的清洗液传输至所述进液口的输入清洗液管路。
15、可选地，所述清洗液传输装置还包括：
16、连接所述清洗机和所述出液口，将所述清洗液过滤器过滤后的清洗液从所述出液口传输至所述清洗机的输出清洗液管路。
17、可选地，所述清洗液传输装置还包括：分别设置于输入清洗液管路和输出清洗液管路，用于控制清洗液传输的阀门。
18、可选地，所述清洗液传输装置还包括：连接输出清洗液管路，为输出清洗液管路内传输至所述清洗机的清洗液进行增压的增压泵。
19、可选地，所述清洗液过滤器还包括：设置于所述滤芯，用于监测所述滤芯堵塞情况的传感器。
20、本申请实施例提供一种清洗液过滤器，所述清洗液过滤器为cmp机器的清洗机中过滤清洗液的机器，所述清洗液过滤器包括一体化区域，所述一体化区域包括：壳体；所述壳体上设置的用于导入cmp机器的清洗机中的清洗液的进液口；所述壳体内容纳的用于过滤清洗液的滤芯；所述壳体上设置的用于将过滤后清洗液导出至所述清洗机的出液口。
21、可见，在本申请实施例中，清洗液过滤器具有一体化设计的一体化区域，并且一体化区域具有壳体、壳体上设置的清洗液的进液口、壳体内设置的过滤清洗液的滤芯、壳体上设置的清洗液的出液口，从而在滤芯更换时(例如滤芯堵塞需要更换滤芯时)，只需将一体化区域的进液口与出液口分别与cmp机器的清洗机分离，即可实现更换清洗液过滤器的滤芯，而无需过多的滤芯分离操作。因此本申请实施例可以无需过多的人工操作来完成清洗液过滤器的滤芯更换，进而可以实现更换步骤简单、节省人力的效果。
22、同时，本申请实施例采用的清洗液过滤器，在拆卸滤芯的过程中能够将清洗液过滤器中的一体化区域整体的拆卸，因此在拆卸过程中不存在清洗液泄露、清洗过滤器内部进入空气造成更换困难的情况。
23、综上所述，本申请实施例提供的清洗液过滤器，在更换清洗液过滤器的滤芯的过程中，更换步骤简单、节省人力，还可以避免清洗液泄露以及过滤器内部进入空气造成更换困难的情况，因此本申请实施例提供的清洗液过滤器，可以实现提高清洗液过滤器的滤芯的更换效率。
1.一种清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液过滤器为cmp机器的清洗机中过滤清洗液的机器，所述清洗液过滤器包括一体化区域，所述一体化区域包括：
2.根据权利要求1所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述滤芯紧密嵌合于所述壳体的内部。
3.根据权利要求2所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液过滤器还包括：
4.根据权利要求3所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述管道上设置有用于控制管道排出残留清洗液的阀门。
5.根据权利要求4所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液过滤器还包括：在所述清洗机和所述清洗液过滤器之间传输清洗液的清洗液传输装置。
6.根据权利要求5所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液传输装置包括：
7.根据权利要求6所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液传输装置还包括：
8.根据权利要求7所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液传输装置还包括：分别设置于输入清洗液管路和输出清洗液管路，用于控制清洗液传输的阀门。
9.根据权利要求8所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液传输装置还包括：连接输出清洗液管路，为输出清洗液管路内传输至所述清洗机的清洗液进行增压的增压泵。
10.根据权利要求9所述的清洗液过滤器，其特征在于，所述清洗液过滤器还包括：设置于所述滤芯，用于监测所述滤芯堵塞情况的传感器。
