基于条纹变形的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质与流程

    技术2025-03-02  39


    本公开涉及图像处理,尤其涉及一种基于条纹变形的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质。


    背景技术:

    1、随着半导体工业的发展,人们对半导体产品的品质要求越来越高。如在手机液晶显示屏的生产过程中,由于制造工艺、外部环境、人为因素等的不确定性,往往会导致产品表面存在凹凸、异物等缺陷,这些缺陷将对产品的外观与质量产生严重影响,因此,需要将该类次品筛选出来,避免其流入下一道工序,影响最终成品的质量。

    2、目前,在对半导体产品进行上述缺陷检测时可以采用条纹投影测量法,即通过投影仪向待测物体投射一系列经过编码的正弦条纹,利用条纹相位的变化来识别缺陷,但该方法在实际使用中对设备要求高且需要投射多张条纹图案,对于检测速度要求高的场景无法适用。因此,如何提高半导体产品的缺陷检测效率是本领域技术人员亟待解决的技术问题。


    技术实现思路

    1、有鉴于此,本公开提出了一种基于条纹变形的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质,可以实现提高了半导体产品的缺陷检测效率。

    2、根据本公开的第一方面,提供了一种基于条纹变形的缺陷检测的方法,包括:

    3、获取待检测产品的条纹图像;

    4、由所述条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像;

    5、对所述变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像;

    6、基于所述缺陷提取图像,确定所述待检测产品的缺陷检测结果。

    7、在一种可能的实现方式中,在由所述条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像时,基于鲁棒主成分分析算法实现。

    8、在一种可能的实现方式中,在对所述变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像时,包括:

    9、对所述变形条纹图像进行傅里叶变换,得到所述变形条纹图像的频域图像;

    10、基于所述频域图像计算滤波尺寸,并基于所述滤波尺寸构建频域滤波器;

    11、采用所述频域滤波器对所述频域图像进行频域滤波,得到频域滤波结果;

    12、对所述频域滤波结果进行傅里叶逆变换,得到所述缺陷提取图像。

    13、在一种可能的实现方式中,在基于所述频域图像计算滤波尺寸时,包括:

    14、依次计算所述频域图像中每行像素的频率值之和;

    15、由各所述频率值之和中查找到最大频率值之和,并记录所述最大频率值之和对应的像素行;

    16、基于所述最大频率值之和以及预设比例系数,计算目标频率值之和;

    17、由所述最大频率值之和对应的像素行开始向前搜索,直到找到频率值之和减小到所述目标频率值之和时,记录所述目标频率值之和对应的第一像素行;

    18、由所述最大频率值之和对应的像素行开始向后搜索,直到找到频率值之和减小到所述目标频率值之和时,记录所述目标频率值之和对应的第二像素行;

    19、基于所述第一像素行和所述第二像素行,计算所述滤波尺寸。

    20、在一种可能的实现方式中,在基于所述滤波尺寸构建频域滤波器时,包括:

    21、基于所述滤波尺寸,计算所述频域滤波器的截止频率;

    22、基于所述截止频率,构建所述频域滤波器。

    23、在一种可能的实现方式中,在对所述变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像后,还包括:

    24、对所述缺陷提取图像进行去噪,得到去噪后的缺陷提取图像;

    25、基于所述去噪后的缺陷提取图像,确定所述待检测产品的缺陷检测结果。

    26、在一种可能的实现方式中,在对所述缺陷提取图像进行去噪,得到去噪后的缺陷提取图像时,包括:

    27、对所述缺陷提取图像进行对比度拉伸,得到对比度拉伸图像;

    28、对所述对比度拉伸图像进行二值化处理,得到二值化图像;

    29、对所述二值化图像进行均值滤波,得到所述去噪后的缺陷提取图像。

    30、根据本公开的第二方面,提供了一种基于条纹变形的缺陷检测的装置,包括:

    31、条纹图像获取模块,用于获取待检测产品的条纹图像;

    32、变形条纹提取模块,用于由所述条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像;

    33、频域滤波模块,用于对所述变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像;

    34、结果输出模块,用于基于所述缺陷提取图像,确定所述待检测产品的缺陷检测结果。

    35、根据本公开的第三方面,提供了一种基于条纹变形的缺陷检测设备,包括:处理器;用于存储处理器可执行指令的存储器;其中,所述处理器被配置为执行本公开第一方面所述的方法。

    36、根据本公开的第四方面,提供了一种非易失性计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序指令,其中,所述计算机程序指令被处理器执行时实现本公开第一方面所述的方法。

    37、本公开提供了一种基于条纹变形的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质,该方法包括:获取待检测产品的条纹图像;由条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像;对变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像;基于缺陷提取图像,确定待检测产品的缺陷检测结果。通过本公开的方法仅需要使用一张待检测产品的条纹图像即可以确定出待检测产品的缺陷检测结果,从而提高了半导体产品的缺陷检测效率。

    38、根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明,本公开的其它特征及方面将变得清楚。



    技术特征:

    1.一种基于条纹变形的缺陷检测方法,其特征在于,包括:

    2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在由所述条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像时,基于鲁棒主成分分析算法实现。

    3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在对所述变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像时,包括:

    4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,在基于所述频域图像计算滤波尺寸时,包括:

    5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,在基于所述滤波尺寸构建频域滤波器时,包括:

    6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在对所述变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像后,还包括:

    7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,在对所述缺陷提取图像进行去噪,得到去噪后的缺陷提取图像时,包括:

    8.一种基于条纹变形的缺陷检测装置,其特征在于,包括:

    9.一种基于条纹变形的缺陷检测设备,其特征在于,包括:

    10.一种非易失性计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序指令,其特征在于,所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1至7中任意一项所述的方法。


    技术总结
    本公开提供了一种基于条纹变形的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质,该方法包括:获取待检测产品的条纹图像;由条纹图像中提取出缺陷的变形条纹图像;对变形条纹图像进行频域滤波,得到缺陷提取图像;基于缺陷提取图像,确定待检测产品的缺陷检测结果。通过本公开的方法仅需要使用一张待检测产品的条纹图像即可以确定出待检测产品的缺陷检测结果,从而提高了半导体产品的缺陷检测效率。

    技术研发人员:胡坤,秦威
    受保护的技术使用者:北京博视智动技术有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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