本发明主要涉及离子注入机，具体涉及一种晶圆电荷量控制方法及系统。
背景技术：
1、在离子注入机注入离子的过程中，晶圆上电荷量往往要求控制在一定范围内。但是晶圆电荷量受到多种因素影响，主要包括注入机腔体表面污染程度、注入离子发射电流强度、提供晶圆吸力的电源等有关。比如当腔体表面受到污染则导致晶圆上存在电荷；当注入离子发射电流强度不足时，束流正电荷输入累计引起晶圆电荷偏正；当提供晶圆吸力的电源出现不平衡电荷，导致晶圆电荷增加或减小等情况，均可能引起晶圆上电荷不能控制在一定范围内。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种操作简便、控制精准的晶圆电荷量控制方法及系统。
2、为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：
3、一种晶圆电荷量控制方法，当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；
4、当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。
5、优选地，晶圆吸力电源对晶圆上产生电荷量δq表达式为：
6、δq＝c1u1+c2u2+...+cnun (1)
7、其中cn和un分别代表晶圆所在区域等效的电容和在晶圆所在区域施加的电压。
8、优选地，当吸力电源为两相直流电压源时，则电荷量δq表达式为：
9、δq＝c1u1+c2u2 (2)
10、其中c1和c2在满足晶圆划分区域相等的情况下，认为c1＝c2；
11、当吸力电源控制其电压满足u1＝-u2时，得δq＝0；
12、当吸力电源控制其电压满足u1＝mu2时，则电荷量δq为：
13、δq＝(1+m)c2u2 (3)
14、因此，通过调整系数m则能实现直流情况下的晶圆电荷量的控制。
15、优选地，当吸力电源为交流电压源时，通过调节偏置电压来控制晶圆电荷量。
16、优选地，当吸力电源为两相交流电压源时，当c1＝c2，u1＝-u2时，电荷量δq表达式简化为：
17、δq＝c1u1+c2u2＝c1(-u2+δu)+c2(u2+δu)＝2c2δu (4)
18、当直流偏转电压δu＝ku2|，k∈[-1,1]范围内取值时，获取不同的电荷量δq，公式变换为：
19、δq＝2c2ku2| (5)；
20、因此，通过调整系数k能够灵活调整晶圆上电荷量的大小和正负值。
21、优选地，交流电压源为三角波、矩形波、方波、梯形方波或正弦波。
22、本发明还公开了一种晶圆电荷量控制系统，包括控制单元和晶圆吸力电源，所述控制单元与晶圆吸力电源相连，用于根据如上所述的晶圆电荷量控制方法来控制晶圆电荷量在预设范围内。
23、本发明进一步公开了一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如上所述方法的步骤。
24、本发明还公开了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序在被处理器运行时执行如上所述方法的步骤。
25、本发明进一步公开了一种计算机设备，包括相互连接的存储器和处理器，所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序在被处理器运行时执行如上所述方法的步骤。
26、与现有技术相比，本发明的优点在于：
27、本发明的晶圆电荷量控制方法，通过控制晶圆吸力电源的方法来控制晶圆净电荷，当发现晶圆上自身存在净电荷时，通过调整晶圆吸力电源，进而控制晶圆电荷量，从而有效去抵消晶圆自身净电荷，将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，可利用晶圆吸力电源控制净电荷，从而满足需要的电荷量。上述方法通过对吸力电源的电压幅值和偏置电压进行调节，能够有效调节晶圆电荷量，而且操作简便、控制精准。
1.一种晶圆电荷量控制方法，其特征在于，当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；
2.根据权利要求1所述的晶圆电荷量控制方法，其特征在于，晶圆吸力电源对晶圆上产生电荷量δq表达式为：
3.根据权利要求2所述的晶圆电荷量控制方法，其特征在于，当吸力电源为两相直流电压源时，则电荷量δq表达式为：
4.根据权利要求2所述的晶圆电荷量控制方法，其特征在于，当吸力电源为交流电压源时，通过调节偏置电压来控制晶圆电荷量。
5.根据权利要求4所述的晶圆电荷量控制方法，其特征在于，当吸力电源为两相交流电压源时，当c1＝c2，u1＝-u2时，电荷量δq表达式简化为：
6.根据权利要求5所述的晶圆电荷量控制方法，其特征在于，交流电压源为三角波、矩形波、方波、梯形方波或正弦波。
7.一种晶圆电荷量控制系统，其特征在于，包括控制单元和晶圆吸力电源，所述控制单元与晶圆吸力电源相连，用于根据权利要求1-6中任意一项所述的晶圆电荷量控制方法来控制晶圆电荷量在预设范围内。
8.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1-6中任意一项所述方法的步骤。
9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序在被处理器运行时执行如权利要求1-6中任意一项所述方法的步骤。
10.一种计算机设备，包括相互连接的存储器和处理器，所述存储器上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序在被处理器运行时执行如权利要求1-6中任意一项所述方法的步骤。
