本公开涉及倒角机磨轮的清理，特别涉及一种晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置。
背景技术：
1、倒角机磨轮的用途是硅片在倒角工艺中，用具有特定形状的砂轮磨去硅片边缘锋利的崩边、棱角和裂缝等。倒角的目的主要有三个：(1)防止晶圆边缘碎裂；(2)防止热应力的集中；(3)增加外延层和光刻胶层在晶圆边缘的平坦度。所以倒角磨轮的使用和维护方法对于晶圆产品的品质有着重要的影响。
2、就目前而言，当前磨轮多采用手工清洗的作业方法，以至于对磨轮沟槽内部清洗无法达到高效彻底清洁的效果。采用具备残留物的磨轮，会影响后续的打磨效果。同时，脏污的表面影响安装精度，导致磨轮在高速运转下面跳动偏大。磨轮的沟槽内部清洁不彻底而含有的残留物，也会导致晶圆倒角加工面存在缺陷。
技术实现思路
1、鉴于以上现有技术的缺点，本发明的目的在于公开一种晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，以改善现有的晶圆倒角机磨轮在清洗过程中，难以对磨轮的沟槽内部进行高效清洗的问题。
2、为实现上述目的及其它相关目的，本发明公开一种晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其包括：
3、清洗箱，其内开设有清洗腔；
4、转动组件，其包括转动连接于所述清洗箱上的主轴，用于驱动所述主轴转动的驱动件，且所述主轴上固定连接有至少一个磨轮；
5、清洗液注入端口，位于所述磨轮的上方，所述清洗液注入端口固定连接于所述清洗箱上，所述清洗液注入端口连接有清洗液供应源；
6、清洗水喷嘴，位于所述磨轮的一侧，且连接在所述清洗箱上，所述清洗水喷嘴位于所述主轴的上方区域，所述清洗水喷嘴连接有清洗水供应源；
7、压缩空气喷嘴，位于所述清洗水喷嘴的同一侧，且连接在所述清洗箱上，所述压缩空气喷嘴位于所述主轴的下方区域，所述压缩空气喷嘴连接有压缩空气供应源；
8、清洗刷，转动连接于所述清洗箱上，所述清洗刷的刷体在所述磨轮上为摆动设置；
9、控制器，与所述驱动件、清洗液供应源、清洗水供应源以及压缩空气供应源控制连接。
10、在本发明一方案中，所述驱动件为伺服电机，所述伺服电机固定连接在所述清洗箱的外侧，以及所述伺服电机的转轴与所述主轴固定连接。
11、在本发明一方案中，所述主轴的端部开设有外螺纹，所述外螺纹上螺纹连接有锁紧螺母；
12、其中，所述主轴上固定连接有多个所述磨轮，相邻所述磨轮之间设置有隔离环，所述隔离环套设于所述主轴上。
13、在本发明一方案中，所述清洗液注入端口、所述清洗水喷嘴、所述压缩空气喷嘴以及清洗刷均设置多个，且分别对应于所述主轴上的不同磨轮。
14、在本发明一方案中，所述清洗刷还包括刷杆，所述刷体固定连接在所述刷杆的一端，所述刷杆的另一端转动连接于所述清洗箱上；
15、其中，所述刷杆与所述主轴之间设置有传动机构，所述主轴转动时可同步驱动所述刷杆往复摆动。
16、在本发明一方案中，所述传动机构包括：
17、驱动杆，其一端固定连接有转动盘，所述转动盘与所述主轴传动连接；
18、第一连接杆，其一端铰接于所述驱动杆的末端，另一端铰接有第二连接杆；
19、所述第二连接杆滑动设置在所述清洗箱上，且在所述第二连接杆上固定连接有限位块；
20、其中，所述刷杆上固定连接有限位杆，以及所述限位杆内开设有限位槽，所述限位块滑动连接在所述限位槽内。
21、在本发明一方案中，所述清洗箱的上方设置有开口，且在所述开口处可开合地连接有舱门。
22、在本发明一方案中，所述清洗箱的底部设置有收纳箱，所述收纳箱的最低点连接有排污管道。
23、综上所述，本发明公开一种晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，可以实现自动加注清洗液，并对磨轮表面、沟槽内部刷洗达到高洁净的效果，再实现自动甩干。该清洗箱为密封式清洗箱，且设置的舱门可以打开和关闭以便于取放磨轮。
24、同时，主轴的转速根据不同的清洗状态进行调节，极大的提高了本装置的经济适用性。通过在所述刷杆与所述主轴之间设置有传动机构，使得所述主轴转动时，可同步驱动所述刷杆往复摆，以提高清洗效果。清洗箱的底部连接有用于排放清洗后污水的排污管道，通过排污管道实现将废水排放至指定排污点。可以有效改善现有的晶圆倒角机磨轮在清洗过程中，难以对磨轮的沟槽内部进行高效清洗的问题。
1.一种晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，所述驱动件(220)为伺服电机，所述伺服电机固定连接在所述清洗箱(100)的外侧，以及所述伺服电机的转轴与所述主轴(210)固定连接。
3.根据权利要求1所述的晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，所述主轴(210)的端部开设有外螺纹，所述外螺纹上螺纹连接有锁紧螺母(211)；
4.根据权利要求3所述的晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，所述清洗液注入端口(300)、所述清洗水喷嘴(400)、所述压缩空气喷嘴(500)以及清洗刷(600)均设置多个，且分别对应于所述主轴(210)上的不同磨轮。
5.根据权利要求1所述的晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，所述清洗刷(600)还包括刷杆(610)，所述刷体固定连接于所述刷杆(610)的一端，所述刷杆(610)的另一端转动连接在所述清洗箱(100)上；
6.根据权利要求5所述的晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，所述传动机构(620)包括：
7.根据权利要求1所述的晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，所述清洗箱(100)的上方设置有开口，在所述开口处可开合地连接有舱门(700)。
8.根据权利要求1所述的晶圆倒角机磨轮的自动清洗装置，其特征在于，所述清洗箱(100)的底部设置有收纳箱(800)，在所述收纳箱(800)的最低点连接有排污管道(810)。
