本发明关于x射线检查装置、x射线检查方法及x射线检查程序。
背景技术：
1、已知有从不同方向利用x射线拍摄基板，再依据所拍摄的影像生成重建信息（reconstruction information），根据贯穿孔中填充的电镀等三维构造施行检查的x检查装置（例如参照专利文献1）。
2、[先行技术文献]
3、[专利文献]
4、[专利文献1]日本专利第6946516号公报。
技术实现思路
1、（发明所欲解决的课题）
2、根据从不同方向利用x射线所拍摄到基板的复数影像，生成重建信息的技术，会因各种原因生成伪影（artifact）。若生成伪影，会导致影像不清晰，导致颇难进行基板检查对象的导体部检查。
3、本发明是有鉴于上述课题而完成，目的在于提供：可轻易区分基板中属于检查对象的导体部与导体部以外的绝缘部的技术。
4、（解决课题的手段）
5、为达成上述目的，x射线先插装置是具备有：x射线影像取得部、重建演算部、切片影像取得部、分类部及对比强调部；而，该x射线影像取得部是取得将x射线依倾斜于既定方向的角度照射基板，所拍摄到的复数x射线影像；该重建演算部是根据这些x射线影像执行重建演算而取得重建资讯；该切片影像取得部是根据该重建资讯，取得在预设第一方向上切断该基板的切片影像；该分类部是将该切片影像分类为导体部与绝缘部；该对比强调部是强调该导体部与该绝缘部的对比。
6、以上所说明构成，虽从这些x射线影像取得重建资讯，但该重建资讯会受伪影影响。因此，检查对象部分中若伪影的影响较大，便较难区分构成基板的导体部与绝缘部，导致较难执行检查。然而，在x射线检查装置中，根据重建资讯取得切片影像，藉由对切片影像进行解析，而将切片影像中所含的影像分类为导体部与绝缘部。然后，强调导体部与绝缘部的对比。结果，重建资讯可轻易区分出导体部与绝缘部。
1.一种x射线检查装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述切片影像取得部取得不同切断位置的复数切片影像；
3.根据权利要求1或2所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述对比强调部降低所述绝缘部的亮度。
4.根据权利要求1或2所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述分类部撷取所述切片影像所含的边界，并撷取由所撷取的所述边界分割的区域，取得所撷取的所述区域的亮度统计值，根据所述区域的所述亮度统计值，分别将所述区域分类为所述导体部或所述绝缘部。
5.根据权利要求4所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述区域的所述亮度统计值是通过统计获得统计范围内的亮度而获得的值，所述统计范围是从所述边界朝所述区域内侧的既定宽度范围。
6.根据权利要求5所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述统计范围是从所述边界朝所述区域内侧的亮度过冲或下冲所存在范围。
7.根据权利要求5所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述分类部藉由将所述区域的所述亮度统计值与阈值进行比较，而将所述区域分类为所述导体部或所述绝缘部；
8.根据权利要求1或2所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述基板是具有复数层的叠层基板；以及
9.根据权利要求1或2所述的一种x射线检查装置，其特征在于，所述x射线影像取得部使所述x射线检测器、所述x射线产生器、所述基板中至少其中一者，以旋转轴为中心进行旋转，并在不同旋转角的复数位置处拍摄所述x射线影像；以及
10.一种x射线检查方法，其特征在于，包含：
11.一种x射线检查程序，使计算机具有下述机能：
