一种用于晶棒转运AGV的多功能自适应取晶棒属具的制作方法

    技术2024-12-13  13


    本发明涉及晶棒转运,具体是一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具。


    背景技术:

    1、晶棒是一种常见的固态物质,通常呈棒状,由单晶体材料制成,具有高度有序的晶体结构。晶棒可以由多种不同的材料制成,如晶体硅、硒化镉、钛晶棒等,这些材料经过精确的炉熔、晶体生长和加工工艺,形成了具有单一晶体结构的棒状物体。晶棒的最大重量为1000kg,晶棒直径250mm至310mm,晶棒最长6000mm,在炉体内高温熔炼冷却后生成的单晶硅以晶棒的形式从炉体出料口拉出后需要转运到托盘车上。

    2、现有的晶棒转运属具在对晶棒进行夹持时,其夹持位置固定,导致在对较长的晶棒夹持时稳定性较差,并且在晶棒从炉体内拉出时,晶棒会产生晃动,导致其下落位置不易控制,影响对晶棒的转运。

    3、针对以上问题,本发明提供了一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,以解决上述问题。


    技术实现思路

    1、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,包括:

    2、agv车体;

    3、升降设备,固定在所述agv车体上;

    4、旋转装置,固定在所述升降设备的输出端,且所述旋转装置内部固定有旋转电机;

    5、夹具升降设备,采用旋转板转动设置在旋转装置上,且由所述旋转电机驱动旋转;

    6、托举板,固定在所述夹具升降设备的底部;

    7、夹持组件,固定在所述夹具升降设备的输出端;

    8、剪断设备,固定在所述夹持组件的上端面;

    9、其中,所述夹持组件包括滑动件,所述滑动件的底部固定有调节电机,所述调节电机的输出端固定有螺纹杆,所述螺纹杆上对称布设有两个滑动块,所述滑动块上固定有纠偏组件。

    10、进一步,优选的,所述滑动件的中间位置固定有分隔座,所述螺纹杆转动设置在所述分隔座内,且所述螺纹杆通过分隔座进行分隔,所述分隔座两侧的所述螺纹杆的旋向相反。

    11、进一步,优选的,两个滑动块分别位于旋向相反的螺纹杆上,且两个所述滑动块上均采用导向柱导向限位,且两个所述滑动块内均固定有夹持电机。

    12、进一步,优选的,所述纠偏组件包括:

    13、固定架,固定在所述滑动块上;

    14、限位柱,被配置为四个,对称固定在所述固定架上;

    15、夹持框,被配置为两个,对称且滑动的设置在所述限位柱上;

    16、齿条,固定在两个所述夹持框相互靠近的一侧;

    17、齿轮,固定在所述夹持电机的输出轴上,且与两个所述齿条啮合;

    18、滑动柱,固定在所述固定架的中间位置;

    19、托举组件,被配置为两个,对称且滑动的设置在所述滑动柱和限位柱上。

    20、进一步,优选的,所述托举组件的一端位于所述夹持框内,且与所述夹持框之间设置有纠偏弹簧。

    21、进一步,优选的,所述托举组件包括:

    22、夹持板,滑动的设置在所述滑动柱和限位柱上;

    23、滑动仓,开设在所述夹持板靠近所述托举板的端面;

    24、辅托举板,滑动设置在所述滑动仓内;

    25、伸缩柱,被配置为多个,等距固定在所述滑动仓内,且与所述辅托举板滑动连接;

    26、按压弹簧,套设在所述伸缩柱上。

    27、进一步,优选的,两个所述托举组件内的夹持板相互靠近的一侧均开设有弧形夹持面,所述辅托举板的初始位置为延伸出所述弧形夹持面。

    28、与现有技术相比,本发明提供了一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,具备以下有益效果:

    29、本发明中,当对炉体内拉出的晶棒进行捡取时,先通过升降设备和夹具升降设备使夹持组件上升,从而靠近炉体的出料口,便于对晶棒进行防护捡取,之后通过调节电机使纠偏组件相互远离,从而使位于上方的纠偏组件靠近炉体的出料口,便于直接对晶棒进行捡取纠偏,且纠偏时,通过夹持电机使夹持板相互靠近,直至与晶棒外壁接触,从而能够通过纠偏弹簧对晶棒进行柔性夹持,降低晶棒的晃动幅度,且同时晶棒的底部通过辅托举板进行托举,并在炉体拉出晶棒的同时使调节电机控制纠偏组件进行同步运动,从而进行持续纠偏和托举,增加了对晶棒捡取的稳定性,并在对晶棒进行夹持时,能够通过调节电机控制两个纠偏组件之间的距离,从而根据不同长度的晶棒进行不同位置的夹持,提高了夹持的稳定性。



    技术特征:

    1.一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,其特征在于:包括:

    2.根据权利要求1所述的一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,其特征在于:所述滑动件(61)的中间位置固定有分隔座(64),所述螺纹杆(63)转动设置在所述分隔座(64)内,且所述螺纹杆(63)通过分隔座(64)进行分隔,所述分隔座(64)两侧的所述螺纹杆(63)的旋向相反。

    3.根据权利要求2所述的一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,其特征在于:两个滑动块(66)分别位于旋向相反的螺纹杆(63)上,且两个所述滑动块(66)上均采用导向柱(65)导向限位,且两个所述滑动块(66)内均固定有夹持电机。

    4.根据权利要求3所述的一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,其特征在于:所述纠偏组件(67)包括:

    5.根据权利要求4所述的一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,其特征在于:所述托举组件(676)的一端位于所述夹持框(672)内,且与所述夹持框(672)之间设置有纠偏弹簧(678)。

    6.根据权利要求5所述的一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,其特征在于:所述托举组件(676)包括:

    7.根据权利要求6所述的一种用于晶棒转运agv的多功能自适应取晶棒属具,其特征在于:两个所述托举组件(676)内的夹持板(6761)相互靠近的一侧均开设有弧形夹持面,所述辅托举板(6763)的初始位置为延伸出所述弧形夹持面。


    技术总结
    本发明公开了一种用于晶棒转运AGV的多功能自适应取晶棒属具,涉及晶棒转运技术领域,包括AGV车体;升降设备,固定在所述AGV车体上;旋转装置,固定在所述升降设备的输出端,且所述旋转装置内部固定有旋转电机;夹具升降设备,采用旋转板转动设置在旋转装置上,且由所述旋转电机驱动旋转;托举板,固定在所述夹具升降设备的底部;夹持组件,固定在所述夹具升降设备的输出端;剪断设备,固定在所述夹持组件的上端面;本发明通过夹持组件能够随晶棒的拉出进行同步运动,从而持续对晶棒进行扶持纠偏,便于晶棒的捡取。

    技术研发人员:刘世严,蒯海波,徐军,徐飞
    受保护的技术使用者:苏州冠鸿智能装备有限公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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