具有碳纳米管基电极的压电膜的制作方法

    技术2024-12-08  18



    背景技术:

    1、压电器件可用于许多领域中的应用,这些领域包括但不限于生物医药、国防技术、纳米设备、微机电系统(mems)和机械能收集器(meh)。广义地说,压电器件可用于涉及机械能和电能之间的转换的任何应用。示例包括被广泛地用于各种电子系统中的输入设备,例如触摸传感器设备(例如,触摸板或触摸传感器设备)。典型地,触摸传感器设备包括通常由表面界定的感测区域,其中触摸传感器设备确定一个或多个输入物体的存在、位置和/或运动。触摸传感器设备可用于为电子系统提供接口。例如,触摸传感器设备经常用作较大计算系统的输入设备(例如集成在笔记本或台式计算机中或位于其外围的不透明触摸板或者集成在触摸显示器中的透明触摸板)。


    技术实现思路

    1、提供本
    技术实现要素:
    ,以介绍将在以下具体实施方式中进一步描述的一些构思。本发明内容并非旨在指出所要求保护的主题的关键或必要特征,也不旨在用作限制所要求保护的主题的范围的辅助手段。

    2、总体而言,在一个方面,实施例涉及一种压电器件,该压电器件包括:压电膜;以及直接设置在所述压电膜的至少一侧上的碳纳米管(cnt)基第一电极层,其中所述cnt基第一电极层具有小于300欧姆/平方的薄层电阻。

    3、总体而言,在一个方面,实施例涉及一种制造压电器件的方法,所述方法包括:获得碳纳米管(cnt)分散体;用所述cnt分散体涂覆压电膜,以获得直接设置在所述压电膜上的cnt基电极层;以及固化所述cnt基电极层,其中所述cnt基电极层具有小于300欧姆/平方的薄层电阻。

    4、总体而言,在一个方面,实施例涉及一种压电输入设备,该压电输入设备包括:压电器件,该压电器件包括压电膜,以及直接设置在所述压电膜的至少一侧上的碳纳米管(cnt)基第一电极层,其中所述cnt基第一电极层具有小于300欧姆/平方的薄层电阻并且形成多个接收器电极;以及处理系统,该处理系统用于基于从所述多个接收器电极获得的结果信号确定输入物体的位置。

    5、根据以下描述和所附权利要求,所要求保护的主题的其他方面和优点将变得明显。



    技术特征:

    1.一种压电器件,包括:

    2.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述压电膜是从由聚偏二氟乙烯(pvdf)压电膜、pvdf共聚物膜、聚乳酸压电生物聚合物膜、聚脲膜、聚氨酯膜、聚酰胺膜、聚丙烯腈膜、聚酰亚胺和聚丙烯膜组成的组中选择的一种。

    3.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述压电膜具有至少90%的透光率。

    4.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述压电膜具有小于5%的光学雾度。

    5.根据权利要求1所述的压电器件,其中所述压电膜具有在10μm与200μm之间的范围内的厚度。

    6.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述压电膜具有至少10pc/n的压电系数d31。

    7.根据权利要求1所述的压电器件,其中所述cnt基第一电极层包括银纳米线。

    8.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述cnt基第一电极层掺杂有从由碘、hno3、socl2和moo3组成的组中选择的至少一种。

    9.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述cnt基第一电极层具有至少90%的透光率。

    10.根据权利要求1所述的压电器件,其中所述cnt基第一电极层具有小于5%的光学雾度。

    11.根据权利要求1所述的压电器件,其中,所述压电器件是从由感测设备、能量收集设备和致动器组成的组中选择的一种。

    12.根据权利要求1所述的压电器件,还包括直接设置在所述压电膜上的cnt基第二电极层。

    13.一种制造压电器件的方法,该方法包括:

    14.根据权利要求13所述的方法,其中,所述涂覆包括从由喷涂、丝网印刷、旋涂、刮涂、浸涂和真空过滤涂覆组成的组中选择的一种。

    15.根据权利要求13所述的方法,其中,所述固化包括将所述cnt基电极层暴露于不高于所述压电膜的居里温度的温度。

    16.根据权利要求13所述的方法,其中,获得所述cnt分散体包括向所述cnt分散体添加从由银纳米线、金属网、导电聚合物和石墨烯组成的组中选择的至少一种。

    17.根据权利要求13所述的方法,其中,获得所述cnt分散体包括用从由碘、hno3、socl2和moo3组成的组中选择的至少一种掺杂所述cnt分散体。

    18.一种压电输入设备,包括:

    19.根据权利要求18所述的压电输入设备,其中,所述压电膜是从由聚偏二氟乙烯(pvdf)压电膜、pvdf共聚物膜、聚乳酸压电生物聚合物膜、聚脲膜、聚氨酯膜、聚酰胺膜、聚丙烯腈膜、聚酰亚胺和聚丙烯膜组成的组中选择的一种。

    20.根据权利要求18所述的压电输入设备,其中所述cnt基第一电极层包括银纳米线。


    技术总结
    一种压电器件包括压电膜和直接设置在压电膜的至少一侧上的碳纳米管(CNT)基电极层。CNT基第一电极层具有小于300欧姆/平方的薄层电阻。

    技术研发人员:矢口达也,小松真友
    受保护的技术使用者:美国吴羽公司
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
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