显示装置的制作方法

    技术2024-12-07  50


    本发明的一个方式涉及一种显示装置、半导体装置、显示模块及电子设备。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法及半导体装置的制造方法。注意,本发明的一个方式不局限于上述。作为本发明的一个方式的的一个例子,可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如触摸传感器)、输入输出装置(例如触摸面板)以及上述装置的驱动方法或制造方法。


    背景技术:

    1、包括晶体管的半导体装置广泛应用于显示装置及电子设备,需要半导体装置的高集成化及高速化。例如,在高清晰的显示装置中使用半导体装置时,需要高集成的半导体装置。作为提高晶体管的集成度的方法之一,对微细的晶体管进行开发。

    2、近年来,对可用于虚拟现实(vr:virtual reality)、增强现实(ar:augmentedreality)、替代现实(sr:substitutional reality)或者混合现实(mr:mixed reality)的显示装置的需求很高。将vr、ar、sr及mr总称为xr(extended reality:扩展现实)。为了提高现实感及沉浸感,xr用显示装置被要求清晰度高且颜色再现性高。作为上述显示装置,例如可以举出液晶显示装置、具备有机el(electro luminescence:电致发光)元件、发光二极管(led:lightemittingdiode)等发光元件的发光装置等。

    3、专利文献1公开了使用有机el元件(也称为有机el器件)的面向vr的显示装置。

    4、[先行技术文献]

    5、[专利文献]

    6、[专利文献1]国际专利申请公开第2018/087625号


    技术实现思路

    1、发明所要解决的技术问题

    2、随着显示装置的高清晰化,噪声对显示装置的驱动的影响变大。例如,当信号线驱动电路所生成的图像数据在被供应到像素之前受到噪声的影响时,有时所显示的图像受到噪声的影响而显示装置的显示品质下降。

    3、于是,本发明的一个方式的目的之一是提供一种噪声的影响小的显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种小型显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种边框窄的显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种包括微型晶体管的显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种包括通态电流高的晶体管的显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种电特性良好的显示装置及其制造方法。此外,本发明的一个方式的目的之一是提供一种新颖半导体装置及其制造方法。

    4、注意,这些目的的记载并不妨碍其他目的的存在。注意,本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。注意,可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽取上述以外的目的。

    5、解决技术问题的手段

    6、本发明的一个方式是一种显示装置,包括:信号线驱动电路;晶体管;第一绝缘层;以及像素,其中,晶体管包括第一导电层、第二导电层、第三导电层、半导体层及第二绝缘层,第一绝缘层设置在第一导电层上,第二导电层设置在第一绝缘层上,第一绝缘层包括到达第一导电层的第一开口,第二导电层包括具有与第一开口重叠的区域的第二开口,半导体层以具有与第一导电层接触的区域及与第二导电层接触的区域且具有位于第一开口的内部的区域及位于第二开口的内部的区域的方式设置,第二绝缘层以具有位于第一开口的内部的区域及位于第二开口的内部的区域的方式设置在半导体层上,第三导电层以具有位于第一开口的内部的区域及位于第二开口的内部的区域的方式设置在第二绝缘层上,第一导电层与像素电连接,并且,第二导电层与信号线驱动电路电连接。

    7、本发明的另一个方式是一种显示装置,包括:信号线驱动电路;第一晶体管;第二晶体管;第一绝缘层;第一像素;以及第二像素,其中,第一晶体管包括第一导电层、第二导电层、第三导电层、第一半导体层及第二绝缘层,第二晶体管包括第二导电层、第四导电层、第五导电层、第二半导体层及第二绝缘层,第一绝缘层设置在第一导电层及第四导电层上,第二导电层设置在第一绝缘层上,第一绝缘层包括到达第一导电层的第一开口及到达第四导电层的第二开口,第二导电层包括具有与第一开口重叠的区域的第三开口及具有与第二开口重叠的区域的第四开口,第一半导体层以具有与第一导电层接触的区域及与第二导电层接触的区域且具有位于第一开口的内部的区域及位于第三开口的内部的区域的方式设置,第二半导体层以具有与第二导电层接触的区域及与第四导电层接触的区域且具有位于第二开口的内部的区域及位于第四开口的内部的区域的方式设置,第二绝缘层以具有分别位于第一至第四开口的内部的区域的方式设置在第一半导体层及第二半导体层上,第三导电层以具有位于第一开口的内部的区域及位于第三开口的内部的区域的方式设置在第二绝缘层上,第五导电层以具有位于第二开口的内部的区域及位于第四开口的内部的区域的方式设置在第二绝缘层上,第一导电层与第一像素电连接,第四导电层与第二像素电连接,并且,第二导电层与信号线驱动电路电连接。

    8、本发明的另一个方式是一种显示装置,包括:信号线驱动电路;第一晶体管;第二晶体管;第三晶体管;第四晶体管;第一绝缘层;第一像素;第二像素;第三像素;以及第四像素,其中,第一晶体管包括第一导电层、第二导电层、第三导电层、第一半导体层及第二绝缘层,第二晶体管包括第二导电层、第四导电层、第五导电层、第二半导体层及第二绝缘层,第三晶体管包括第三导电层、第六导电层、第七导电层、第三半导体层及第二绝缘层,第四晶体管包括第五导电层、第七导电层、第八导电层、第四半导体层及第二绝缘层,第一绝缘层设置在第一导电层、第四导电层、第六导电层及第八导电层上,第二导电层及第七导电层设置在第一绝缘层上,第一绝缘层包括到达第一导电层的第一开口、到达第四导电层的第二开口、到达第六导电层的第三开口及到达第八导电层的第四开口,第二导电层包括具有与第一开口重叠的区域的第五开口及具有与第二开口重叠的区域的第六开口,第七导电层包括具有与第三开口重叠的区域的第七开口及具有与第四开口重叠的区域的第八开口,第一半导体层以具有与第一导电层接触的区域及与第二导电层接触的区域且具有位于第一开口的内部的区域及位于第五开口的内部的区域的方式设置,第二半导体层以具有与第二导电层接触的区域及与第四导电层接触的区域且具有位于第二开口的内部的区域及位于第六开口的内部的区域的方式设置,第三半导体层以具有与第六导电层接触的区域及与第七导电层接触的区域且具有位于第三开口的内部的区域及位于第七开口的内部的区域的方式设置,第四半导体层以具有与第七导电层接触的区域及与第八导电层接触的区域且具有位于第四开口的内部的区域及位于第八开口的内部的区域的方式设置,第二绝缘层以具有分别位于第一至第八开口的内部的区域的方式设置在第一半导体层、第二半导体层、第三半导体层及第四半导体层上,第三导电层以具有位于第一开口的内部的区域、位于第三开口的内部的区域、位于第五开口的内部的区域及位于第七开口的内部的区域的方式设置在第二绝缘层上,第五导电层以具有位于第二开口的内部的区域、位于第四开口的内部的区域、位于第六开口的内部的区域及位于第八开口的内部的区域的方式设置在第二绝缘层上,第一导电层与第一像素电连接,第四导电层与第二像素电连接,第六导电层与第三像素电连接,第八导电层与第四像素电连接,并且,第二导电层及第七导电层与信号线驱动电路电连接。

    9、另外,在上述方式中,第一至第四半导体层也可以包含金属氧化物。金属氧化物也可以包含铟、锌及m(m为选自铝、钛、镓、锗、锡、钇、锆、镧、铈、钕和铪中的一种或多种)。

    10、另外,在上述方式中,显示装置也可以包括控制电路,控制电路也可以具有生成第一信号并将其输出到第三导电层的功能,控制电路也可以具有生成第二信号并将其输出到第五导电层的功能,并且第一信号与第二信号也可以为互补信号。

    11、发明效果

    12、根据本发明的一个方式,可以提供一种噪声的影响小的显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种显示品质高的显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种高清晰的显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种小型显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种边框窄的显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种包括微型晶体管的显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种包括通态电流高的晶体管的显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种电特性良好的显示装置及其制造方法。此外,根据本发明的一个方式,可以提供一种新颖半导体装置及其制造方法。

    13、注意,这些效果的记载并不妨碍其他效果的存在。本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述效果以外的效果。


    技术特征:

    1.一种显示装置,包括:

    2.根据权利要求1所述的显示装置,其中所述半导体层包含金属氧化物。

    3.一种显示装置,包括:

    4.根据权利要求3所述的显示装置,其中所述第一半导体层及所述第二半导体层包含金属氧化物。

    5.一种显示装置,包括:

    6.根据权利要求5所述的显示装置,其中所述第一至第四半导体层包含金属氧化物。

    7.根据权利要求2、4和6中任一项所述的显示装置,其中所述金属氧化物包含铟、锌及m(m为选自铝、钛、镓、锗、锡、钇、锆、镧、铈、钕和铪中的一种或多种)。

    8.根据权利要求3至6中任一项所述的显示装置,所述显示装置包括控制电路,


    技术总结
    提供一种噪声的影响很小的显示装置。显示装置包括信号线驱动电路、解复用电路及像素。解复用电路包括晶体管,该晶体管在衬底上的层间绝缘层中形成的开口内部设置半导体层。作为该晶体管的源电极和漏电极中的一个使用设置在开口之下的第一导电层,作为源电极和漏电极中的另一个使用在从平面看时覆盖开口的侧面的第二导电层。将第一导电层电连接于像素,将第二导电层电连接于信号线驱动电路。

    技术研发人员:木村肇,山崎舜平
    受保护的技术使用者:株式会社半导体能源研究所
    技术研发日:
    技术公布日:2024/10/24
    转载请注明原文地址:https://symbian.8miu.com/read-23230.html

    最新回复(0)