本发明涉及坩埚定位,具体为一种坩埚定位检测装置。
背景技术:
1、坩埚,是以天然鳞片石墨和炭化硅为主要成分,其具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能,在蒸发设备中,使用坩埚盛放蒸发源,坩埚在使用过程中需要进行定位。
2、现有技术中,在对坩埚进行定位检测后,需要对坩埚的位置进行调节,以保证坩埚的精度要求,由于坩埚的角度存在单次调节过多或过少的问题,无法对坩埚的角度进行精准的控制和调节,导致检测后仍存在坩埚定位不准确的问题,需要多次对坩埚位置进行调节后再检测,影响坩埚的加工效率。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种坩埚定位检测装置,以解决上述背景技术提出的无法精准控制坩埚的调节角度,导致坩埚需要进行多次定位和检测的问题,本发明中,通过在从动槽轮上开设有多个径向槽,在主动拨盘转动驱动圆柱销转动一圈时,带动从动槽轮转动固定的角度,从而调节坩埚腔的位置,单次转动固定的角度可准确的调整坩埚腔的位置,从而提高对坩埚腔定位的准确性。
2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种坩埚定位检测装置,包括支撑底座,所述支撑底座的顶部安装有定位机构,所述定位机构的顶部安装有坩埚本体,所述坩埚本体的顶部安装有固定机构,所述定位机构包括支撑架和第二转动轴,所述第二转动轴的一端与坩埚本体的底部固定连接,所述坩埚本体的顶部放置有坩埚腔,所述第二转动轴的外部固定连接有从动槽轮,所述从动槽轮的外侧开设有第一锁止槽,所述从动槽轮的外侧开设有径向槽,所述径向槽与从动槽轮间隔设置,所述第二转动轴的一端穿过支撑架的一侧与支撑底座的顶部转动连接,所述支撑架的一侧转动连接有第一转动轴,所述第一转动轴的一端转动连接在支撑底座的顶部,所述第一转动轴的另一端固定连接有锁止块,所述锁止块的外侧开设有第二锁止槽,所述第一转动轴的外部固定连接有主动拨盘,所述主动拨盘的一侧固定连接有圆柱销,所述坩埚本体的顶部设置有坩埚腔,所述坩埚本体的外侧设置有检测机构,所述检测机构包括套接环,所述套接环的外表面固定连接有信号发生器,其中一个所述信号发生器的下方设置有信号接收器。
3、优选的,所述定位机构还包括第一皮带组件和驱动电机,所述驱动电机的一侧固定连接在支撑底座的顶部,所述驱动电机的输出端与第一转动轴的外部通过第一皮带组件连接。
4、优选的,两个所述套接环之间通过螺栓固定,所述套接环的内环面固定连接有定位杆,所述坩埚本体的外表面开设有对应的定位槽,所述定位杆插接在定位槽的内部。
5、优选的,所述信号接收器的底部固定连接有安装杆,所述安装杆的一端通过螺栓固定连接有安装框,所述安装框的一端固定连接在支撑架的一侧。
6、优选的,所述固定机构包括第一连接轴、第二皮带组件和支撑框,所述第一连接轴转动连接在支撑架的顶部,所述第一连接轴通过第二皮带组件连接有第二连接轴,所述第二连接轴的一端固定连接在锁止块的顶部,所述第一连接轴的顶部固定连接有连接转盘,所述连接转盘的一侧固定连接有推动块。
7、优选的,所述固定机构还包括套接块,所述套接块的一端固定连接有导向杆,所述导向杆的一端转动连接在坩埚本体的顶部,所述导向杆的两侧均固定连接有连接凸块,所述导向杆的外部滑动连接有压板,所述导向杆的外部套有弹簧,所述弹簧的两端分别安装在套接块的一端和压板的一侧。
8、优选的,所述压板的一侧固定连接有连接杆,所述连接杆的一端固定连接有移动板。
9、优选的,所述压板的外表面固定连接有移动压杆,所述坩埚腔的外表面固定连接有压动块,所述移动压杆的一端与压动块之间搭接。
10、优选的,所述移动板的两侧均固定连接有连接滑杆,所述支撑架的顶部固定连接有支撑框,所述支撑框的两侧开设有导向滑槽,所述连接滑杆滑动连接在导向滑槽的内部。
11、优选的,还包括以下检测步骤:
12、s1、将信号发生器安装在支撑架的一侧,将多个信号接收器安装在坩埚本体的外部,初始状态时,信号发生器与其中一个信号接收器处于同一中轴线上,多个信号接收器的分布与坩埚腔对应,在控制中心对多个信号发生器进行不同的编号,依次分为编号1、2、...、n;
13、s2、在多个坩埚腔内部放置有不同的蒸发材料,在驱动电机工作驱动主动拨盘转动时,可使得坩埚本体单次转动固定的角度,将不同的坩埚腔转动至使用处;
14、s3、在坩埚腔将要转动至使用处时,此处的信号发生器向信号接收器处发射位置信息,信号接收器可获取信号发生器的编号信息,在编号信息正确时,驱动电机关闭,放置有正确材料的坩埚腔停在使用处,在编号信息不正确时,驱动电机继续工作,直至将带有正确编号的坩埚腔定位在使用处。
15、与现有技术相比,本发明的有益效果是:
16、1、本发明中,通过在从动槽轮上开设有多个径向槽,在主动拨盘转动驱动圆柱销转动一圈时,带动从动槽轮转动固定的角度,从而调节坩埚腔的位置,单次转动固定的角度可准确的调整坩埚腔的位置,从而提高对坩埚腔定位的准确性。
17、2、本发明中,对多个信号发生器进行不同的编号,信号接收器接收不同的信号发生器发射的信号,获取信号发生器的编号信息,在编号信息正确时,驱动电机关闭,放置有正确材料的坩埚腔停在使用处,在编号信息不正确时,驱动电机继续工作,直至将带有正确编号的坩埚腔定位在使用处,提高定位检测的效率。
18、3、本发明中,驱动电机转动,带动第一转动轴和连接转盘随之转动,推动块做圆周运动,推动块转动至移动板处,将移动板向下推动,带动移动压杆与压动块接触,对坩埚腔进行定位,防止坩埚腔在使用过程中移动,通过驱动电机转动带动移动板不断下压和上移,便于在坩埚腔使用时对其进行固定,且在坩埚腔移动位置时不会对其造成干扰,防止坩埚腔在移动至使用处进行操作时位置改变,影响定位精度。
1.一种坩埚定位检测装置,包括支撑底座(1),其特征在于:所述支撑底座(1)的顶部安装有定位机构(2),所述定位机构(2)的顶部安装有坩埚本体(4),所述坩埚本体(4)的顶部安装有固定机构(3),所述定位机构(2)包括支撑架(24)和第二转动轴(28),所述第二转动轴(28)的一端与坩埚本体(4)的底部固定连接,所述坩埚本体(4)的顶部放置有坩埚腔(6),所述第二转动轴(28)的外部固定连接有从动槽轮(25),所述从动槽轮(25)的外侧开设有第一锁止槽(26),所述从动槽轮(25)的外侧开设有径向槽(27),所述径向槽(27)与从动槽轮(25)间隔设置,所述第二转动轴(28)的一端穿过支撑架(24)的一侧与支撑底座(1)的顶部转动连接,所述支撑架(24)的一侧转动连接有第一转动轴(23),所述第一转动轴(23)的一端转动连接在支撑底座(1)的顶部,所述第一转动轴(23)的另一端固定连接有锁止块(210),所述锁止块(210)的外侧开设有第二锁止槽(212),所述第一转动轴(23)的外部固定连接有主动拨盘(29),所述主动拨盘(29)的一侧固定连接有圆柱销(211),所述坩埚本体(4)的顶部设置有坩埚腔(6),所述坩埚本体(4)的外侧设置有检测机构(5),所述检测机构(5)包括套接环(56),所述套接环(56)的外表面固定连接有信号发生器(51),其中一个所述信号发生器(51)的下方设置有信号接收器(52)。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:所述定位机构(2)还包括第一皮带组件(21)和驱动电机(22),所述驱动电机(22)的一侧固定连接在支撑底座(1)的顶部,所述驱动电机(22)的输出端与第一转动轴(23)的外部通过第一皮带组件(21)连接。
3.根据权利要求2所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:两个所述套接环(56)之间通过螺栓固定,所述套接环(56)的内环面固定连接有定位杆(57),所述坩埚本体(4)的外表面开设有对应的定位槽(55),所述定位杆(57)插接在定位槽(55)的内部。
4.根据权利要求3所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:所述信号接收器(52)的底部固定连接有安装杆(53),所述安装杆(53)的一端通过螺栓固定连接有安装框(54),所述安装框(54)的一端固定连接在支撑架(24)的一侧。
5.根据权利要求4所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:所述固定机构(3)包括第一连接轴(31)、第二皮带组件(35)和支撑框(314),所述第一连接轴(31)转动连接在支撑架(24)的顶部,所述第一连接轴(31)通过第二皮带组件(35)连接有第二连接轴(39),所述第二连接轴(39)的一端固定连接在锁止块(210)的顶部,所述第一连接轴(31)的顶部固定连接有连接转盘(32),所述连接转盘(32)的一侧固定连接有推动块(36)。
6.根据权利要求5所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:所述固定机构(3)还包括套接块(38),所述套接块(38)的一端固定连接有导向杆(312),所述导向杆(312)的一端转动连接在坩埚本体(4)的顶部,所述导向杆(312)的两侧均固定连接有连接凸块(313),所述导向杆(312)的外部滑动连接有压板(34),所述导向杆(312)的外部套有弹簧(316),所述弹簧(316)的两端分别安装在套接块(38)的一端和压板(34)的一侧。
7.根据权利要求6所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:所述压板(34)的一侧固定连接有连接杆(311),所述连接杆(311)的一端固定连接有移动板(33)。
8.根据权利要求7所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:所述压板(34)的外表面固定连接有移动压杆(310),所述坩埚腔(6)的外表面固定连接有压动块(37),所述移动压杆(310)的一端与压动块(37)之间搭接。
9.根据权利要求8所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:所述移动板(33)的两侧均固定连接有连接滑杆(315),所述支撑架(24)的顶部固定连接有支撑框(314),所述支撑框(314)的两侧开设有导向滑槽(317),所述连接滑杆(315)滑动连接在导向滑槽(317)的内部。
10.根据权利要求9所述的一种坩埚定位检测装置,其特征在于:还包括以下检测步骤: