本发明涉及半导体器件测试领域，特别涉及一种老化测试系统。
背景技术：
1、在ate(自动测试设备)中的一系列测试中，包括对被测器件dut进行老化测试，以确保被测器件dut能够达标。当前大多数的老化测试为环境类(不同湿度、温度等环境下)的老化测试设备，或者通过把被测器件dut直接接到实际应用中，且直接带负载来进行老化测试，这样会比较浪费电能，并不节能，而且被测器件dut的电压、电流都不能由上位机控制。
技术实现思路
1、本发明的目的在于，提供一种节能的老化测试系统，使得被测器件的电压、电流都可以由上位机控制。
2、为了解决以上问题，本发明提供一种老化测试系统，用于对被测器件进行老化测试，包括上位机、供电系统、主控模块、第一变换器、被测器件模块、第二变换器和储能模块，所述被测器件模块包括多个被测器件，所述供电系统通过所述第一变换器连接所述被测器件模块，所述被测器件模块通过所述第二变换器连接所述储能模块，所述主控模块连接所述上位机、供电系统、第一变换器、被测器件模块、第二变换器和储能模块，所述上位机向所述主控模块提供控制参数，所述储能模块和供电系统均能够分别向所述被测器件模块供电；所述主控模块根据所述被测器件模块的电参数或所述储能模块的状态，并通过控制所述第一变换器和第二变换器改变所述被测器件的电参数，以实现由所述储能模块或所述供电系统供电。
3、可选的，所述控制参数包括流经所述被测器件的最大电流和最大电压。
4、可选的，所述供电系统包括整流逆变器，所述整流逆变器的一端连接一交流电源，所述整流逆变器的另一端通过bus总线连接所述第一变换器，所述整流逆变器能够将所述交流电源提供的交流电信号转换了直流电信号并发送给所述第一变换器，还能够将所述第一变换器提供的直流电信号转换为交流电信号，并反馈给所述交流电源；所述主控模块连接所述bus总线，并监控所述bus总线上的电流和电压，所述主控模块还连接所述整流逆变器，以控制所述整流逆变器处于整流模式或逆变并网模式。
5、进一步的，所述交流电源为电网市电，所述整流逆变器为三电平整流逆变器。
6、进一步的，所述储能模块包括蓄电池和bms电池管理模块，所述蓄电池的一端连接所述第二变换器，另一端连接所述bms电池管理模块的一端，所述bms电池管理模块的另一端连接所述主控模块，所述bms电池管理模块用于采集所述蓄电池的电池参数，并将所述电池参数反馈给所述主控模块，所述主控模块通过监控所述电池参数来确定所述蓄电池的状态，以控制由所述储能模块或所述供电系统供电。
7、进一步的，所述主控模块还连接所述第一变换器、被测器件模块和第二变换器，所述主控模块能够监控流经所述被测器件的电流和电压，并能够通过所述第一变换器和第二变换器控制流经所述被测器件的电流和电压，并控制所述整流逆变器的所处模式以及所述蓄电池的充放电模式。
8、进一步的，所述老化测试系统还包括温控模块，所述温控模块的一端连接所述被测器件模块，所述温控模块的另一端连接所述主控模块，所述温控模块实时监测所述被测器件的温升情况，并将所述被测器件的温升情况反馈给所述主控模块，所述主控模块根据反馈通过所述温控模块控制所述被测器件模块处于规定的温度来进行老化测试。
9、进一步的，所述第一变换器和第二变换器均具有第一端口、第二端口和控制端口，所述被测器件模块具有第一端口、第二端口、电信号监控端口和温度控制，所述第一变换器的第一端口通过bus总线连接所述整流逆变器，所述第一变换器的第二端口连接所述被测器件模块的第一端口，所述第一变换器的控制端口连接所述主控模块，所述被测器件模块的第二端口连接所述第二变换器的第一端口，所述被测器件模块的电信号监控端口连接所述主控模块，所述被测器件模块的温度控制连接所述温控模块，所述第二变换器的第二端口连接所述蓄电池，所述第二变换器的控制端口连接所述主控模块。
10、可选的，所述第一变换器和第二变换器均为双向的隔离变换器，所述被测器件模块为双向模块。
11、可选的，所述被测器件模块包括多个并联连接的子被测器件模块，每个所述子被测器件模块包括第一被测器件、第二被测器件、第三被测器件、第四被测器件、第一电容、第二电容、电感，所述第一变换器的第二端口和第二变换器的第一端口均包括正极端口和负极端口；
12、所述第一电容的正极端连接所述第一变换器的第二端口的正极端口，所述第一电容的负极端连接所述第一变换器的第二端口的负极端口，所述第二电容的正极端连接所述第二变换器的第一端口的正极端口，所述第二电容的负极端连接所述第二变换器的第一端口的负极端口；
13、所述第一电容的正极端连接所述第一被测器件的漏极，所述第一电容的负极端同时连接所述第二被测器件的源极、所述第四被测器件的源极和所述第二电容的负极端，所述第一被测器件的源极同时连接所述第二被测器件的漏极和所述电感的一端，所述电感的另一端同时连接所述第四被测器件的漏极和所述第三被测器件的源极，所述第三被测器件的漏极连接所述第二电容的正极端。
14、与现有技术相比，本发明具有以下意想不到的技术效果：
15、本发明提供一种老化测试系统，本发明提供一种老化测试系统，用于对被测器件进行老化测试，包括上位机、供电系统、主控模块、第一变换器、被测器件模块、第二变换器和储能模块，所述被测器件模块包括多个被测器件，所述供电系统通过所述第一变换器连接所述被测器件模块，所述被测器件模块通过所述第二变换器连接所述储能模块，所述主控模块连接所述上位机、供电系统、第一变换器、被测器件模块、第二变换器和储能模块，所述上位机向所述主控模块提供控制参数，所述储能模块和供电系统均能够分别向所述被测器件模块供电；根据所述被测器件模块的电参数或所述储能模块的状态，所述主控模块通过控制所述第一变换器和第二变换器改变所述被测器件的电参数来确认由所述储能模块或所述供电系统供电。本发明通过所述上位机控制被测器件模块中各被测器件的电流和电压，使得老化测试无需直接接到实际应用中，实现了老化测试的模拟实际应用测试，从而使得老化测试后反馈的制造参数更加准确，有利于工艺改善进而得到更优的半导体器件，同时所述储能模块和供电系统的分别，降低了仅通过供电系统供电造成的能耗，节省了能耗。本发明的老化测试系统结构简单，适用性强，更易在ate设备中使用，极大地方便了测试，以及提高了产线生产效率。
1.一种老化测试系统，用于对被测器件进行老化测试，其特征在于，包括上位机、供电系统、主控模块、第一变换器、被测器件模块、第二变换器和储能模块，所述被测器件模块包括多个被测器件，所述供电系统通过所述第一变换器连接所述被测器件模块，所述被测器件模块通过所述第二变换器连接所述储能模块，所述主控模块连接所述上位机、供电系统、第一变换器、被测器件模块、第二变换器和储能模块，所述上位机向所述主控模块提供控制参数，所述储能模块和供电系统均能够分别向所述被测器件模块供电；所述主控模块根据所述被测器件模块的电参数或所述储能模块的状态，并通过控制所述第一变换器和第二变换器改变所述被测器件的电参数，以实现由所述储能模块或所述供电系统供电。
2.如权利要求1所述的老化测试系统，其特征在于，所述控制参数包括流经所述被测器件的最大电流和最大电压。
3.如权利要求1所述的老化测试系统，其特征在于，所述供电系统包括整流逆变器，所述整流逆变器的一端连接一交流电源，所述整流逆变器的另一端通过bus总线连接所述第一变换器，所述整流逆变器能够将所述交流电源提供的交流电信号转换了直流电信号并发送给所述第一变换器，还能够将所述第一变换器提供的直流电信号转换为交流电信号，并反馈给所述交流电源；所述主控模块连接所述bus总线，并监控所述bus总线上的电流和电压，所述主控模块还连接所述整流逆变器，以控制所述整流逆变器处于整流模式或逆变并网模式。
4.如权利要求3所述的老化测试系统，其特征在于，所述交流电源为电网市电，所述整流逆变器为三电平整流逆变器。
5.如权利要求3所述的老化测试系统，其特征在于，所述储能模块包括蓄电池和bms电池管理模块，所述蓄电池的一端连接所述第二变换器，另一端连接所述bms电池管理模块的一端，所述bms电池管理模块的另一端连接所述主控模块，所述bms电池管理模块用于采集所述蓄电池的电池参数，并将所述电池参数反馈给所述主控模块，所述主控模块通过监控所述电池参数来确定所述蓄电池的状态，以控制由所述储能模块或所述供电系统供电。
6.如权利要求5所述的老化测试系统，其特征在于，所述主控模块还连接所述第一变换器、被测器件模块和第二变换器，所述主控模块能够监控流经所述被测器件的电流和电压，并能够通过所述第一变换器和第二变换器控制流经所述被测器件的电流和电压，并控制所述整流逆变器的所处模式以及所述蓄电池的充放电模式。
7.如权利要求5所述的老化测试系统，其特征在于，所述老化测试系统还包括温控模块，所述温控模块的一端连接所述被测器件模块，所述温控模块的另一端连接所述主控模块，所述温控模块实时监测所述被测器件的温升情况，并将所述被测器件的温升情况反馈给所述主控模块，所述主控模块根据反馈通过所述温控模块控制所述被测器件模块处于规定的温度来进行老化测试。
8.如权利要求7所述的老化测试系统，其特征在于，所述第一变换器和第二变换器均具有第一端口、第二端口和控制端口，所述被测器件模块具有第一端口、第二端口、电信号监控端口和温度控制，所述第一变换器的第一端口通过bus总线连接所述整流逆变器，所述第一变换器的第二端口连接所述被测器件模块的第一端口，所述第一变换器的控制端口连接所述主控模块，所述被测器件模块的第二端口连接所述第二变换器的第一端口，所述被测器件模块的电信号监控端口连接所述主控模块，所述被测器件模块的温度控制连接所述温控模块，所述第二变换器的第二端口连接所述蓄电池，所述第二变换器的控制端口连接所述主控模块。
9.如权利要求1所述的老化测试系统，其特征在于，所述第一变换器和第二变换器均为双向的隔离变换器，所述被测器件模块为双向模块。
10.如权利要求1所述的老化测试系统，其特征在于，所述被测器件模块包括多个并联连接的子被测器件模块，每个所述子被测器件模块包括第一被测器件、第二被测器件、第三被测器件、第四被测器件、第一电容、第二电容、电感，所述第一变换器的第二端口和第二变换器的第一端口均包括正极端口和负极端口；
