节能型高浓缩倍数处理系统的制作方法

    技术2023-12-06  90


    本实用新型有关于一种节能型高浓缩倍数处理系统,尤指一种可使该热氧化炉降低燃料使用量,以使该热氧化炉的尺寸可以缩小,而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理。



    背景技术:

    随着环保意识抬头,为了降低对空气的污染,政府开始对于烟囱的排放制定较为严格的标准,尤其是对半导体相关产业所产生的挥发性有机废气强制要求其削减率应大于90%、或总排放量小于0.6kg/hr。

    而目前业界在处理其挥发性有机废气,大都是先经过进气管路来进入浓缩转轮中,以先吸附污染物质再经焚化炉来燃烧,之后再将经过燃烧的干净气体排放至大气中。另外,在脱附的过程中,都需要通过加热器来提升温度,以达到脱附所需的温度,便于进行脱附使用。但是,经过脱附后的有机废气在输送至焚化炉燃烧时,根据风量需要较大的焚化炉才能焚化完全,避免未燃烧完全时就将有机废气排放出去,而造成空气无法达到排放标准。

    因此,本创作人有鉴于上述缺失,期望能提出一种减少设备投资及运行成本的节能型高浓缩倍数处理系统,令使用者可轻易操作组装,潜心研思、设计组制,以提供使用者便利性,为本创作人所欲研创的创作动机。



    技术实现要素:

    本实用新型的主要目的,在于提供一种节能型高浓缩倍数处理系统,包括有一废气进气管路、一进气管路、一转轮、一热氧化炉、一浓缩废气管路、一净气排放管路及一烟囱的组合设计,其主要在于该浓缩废气管路与该废气进气管路之间设有一连通管路,因此,使得该浓缩废气管路内的浓缩废气在进入该热氧化炉时,其浓缩废气的浓度能再提高接近两倍,使热氧化炉的燃料消耗能减少,且该进入热氧化炉的风量降为原来的一半,以使该热氧化炉的尺寸可以缩小,便于降低废气处理的能耗,进而增加整体的实用性。

    本实用新型的另一目的,在于提供一种节能型高浓缩倍数处理系统,并通过该连通管路设有阀门组,而该阀门组采用一阀门、两个阀门或三阀门的其中任一种方式来进行开度控制,以通过该阀门的开度来控制该浓缩废气管路内的浓缩废气进入该连通管路的风量,使可以根据进入该热氧化炉的浓缩废气的浓度来调整要回到废气进气管路的浓缩废气的流量,使浓缩废气在能与该废气进气管路内的废气合并后,再一次经由该转轮的吸附区来进行吸附,并经由该转轮的脱附区来脱附出其浓度再提高近两倍的浓缩废气,再通过该浓缩废气管路来输送至热氧化炉中,便于使该热氧化炉能减少其燃料的损耗,以提升该热氧化炉的使用效能,进而增加整体的使用性。

    为达上述目的,本实用新型为一种节能型高浓缩倍数处理系统,包括有一废气进气管路、一进气管路、一转轮、一热氧化炉、一浓缩废气管路、一净气排放管路及一烟囱,该转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,而该废气进气管路连接该转轮的吸附区,且该净气排放管路设于该转轮的吸附区与该烟囱之间,另该进气管路与该转轮的冷却区连接,而该浓缩废气管路设于该转轮的脱附区与该热氧化炉之间,其中该浓缩废气管路与该废气进气管路之间设有一连通管路。

    为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容,请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图,然而所附附图仅提供参考与说明用,非用以限制本实用新型。

    附图说明

    图1为本实用新型的第一种系统结构示意图。

    图2为本实用新型的第二种系统结构且该进气管路为新鲜空气进入的示意图。

    图3为本实用新型的第二种系统结构且该进气管路连接至废气进气管路的示意图。

    图4为本实用新型的第三种系统结构示意图。

    图5为本实用新型的增加连通分岐管路的第一种结构示意图。

    图6为本实用新型的增加连通分岐管路的第二种结构示意图。

    【附图标记】

    10、废气进气管路

    20、转轮

    21、吸附区

    22、冷却区

    23、脱附区

    30、进气管路

    40、热氧化炉

    41、三段式热氧化炉

    411、一次热交换器

    4111、进气管路

    4112、出气管路

    412、二次热交换器

    4121、进气管路

    4122、出气管路

    413、三次热交换器

    4131、进气管路

    4132、出气管路

    50、浓缩废气管路

    60、净气排放管路

    70、烟囱

    81、抽风机

    82、抽风机

    100、热交换器

    101、热气管路

    200、热气管路

    300、连通管路

    301、阀门组

    310、连通分岐管路

    具体实施方式

    请参阅图1-6,为本实用新型实施例的示意图,而本实用新型的节能型高浓缩倍数处理系统的优选实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的低浓度废气处理,以减少其燃料的损耗,进而降低整体废气处理的费用,使具有其实用性。

    而本实用新型的节能型高浓缩倍数处理系统,包括有一废气进气管路10、一转轮20、一进气管路30、一热氧化炉40、一浓缩废气管路50、一净气排放管路60及一烟囱70的组合设计(如图1至图4所示),其中该转轮20为沸石浓缩转轮或其他浓缩转轮,而该转轮20设有吸附区21、冷却区22及脱附区23,以进行废气的吸附及将被吸附至转轮20的废气脱附成浓缩废气。

    而该废气进气管路10连接该转轮20的吸附区21,以使该转轮20的吸附区21能吸附该废气进气管路10内的废气,而该废气经转轮20的吸附区21净化后由该净化排气管路60再输送至该烟囱70,以将经过该转轮20的吸附区21所吸附过的废气(该废气因浓度降低而达到排放标准)经由该净化排气管路60来输送至该烟囱70进行排放,其中该废气进气管路10连接至该转轮20的吸附区21,以将该废气进气管路10中的废气送至该转轮20的吸附区21中,而该转轮20的吸附区21与该烟囱70之间的净化排气管路60设有一抽风机81(如图1至图4所示),通过该抽风机81来将经过该转轮20的吸附区21所吸附过的干净气体抽送至烟囱70进行排放。

    另该进气管路30与该转轮20的冷却区22连接,而该进气管路30有两种实施方式,第一种为该进气管路30供新鲜空气进入(如图1、图2及图4所示),通过该新鲜空气来提供该转轮20的冷却区22以用于降温,另第二种时实施方式该进气管路30与该废气进气管路10连接(如图3所示),通过该废气进气管路10来提供该转轮20的冷却区22以用于降温。而上述的进气管路30的另一端再连接至一热交换器100(如图2、图3及图4所示),使经由该热交换器100来将温度提升至脱附所需的温度。另外,该热交换器100的一端与该热氧化炉40连接,而该热交换器100的另一端则与该烟囱70相连,以通过该热氧化炉40的高温来进一步提升该热交换器100的温度。

    另该热交换器100通过一热气管路101连接至该转轮20的脱附区23的一端(如图2、图3及图4所示),以将该热交换器100所燃烧的热气当做该转轮20的脱附区23的热源,使该转轮20的脱附区23内的有机废气物质经过该热气后脱附成浓缩废气。而该转轮20的脱附区23的另一端再通过该浓缩废气管路50连接至热氧化炉40中,且该浓缩废气管路50可以不设有抽风机(如图1至图3所示),也可以设有一抽风机82(如图4所示),通过该抽风机82将经过该转轮20的脱附区23的所脱附的浓缩废气经由该浓缩废气管路50输送至热氧化炉40中来进行燃烧氧化均匀。

    而本实用新型的转轮20的脱附区23除了利用上述通过热交换器100来提升温度外,也可以将该热氧化炉40中设为三段式热氧化炉41(如图1所示),而该三段式热氧化炉41设有三道热交换器,也就是一次热交换器411、二次热交换器412及三次热交换器413(其中该热交换器不以图示中的三个热交换器为限,也可以是两个热交换器或是多个热交换器),而该三次热交换器413有第三进气管路4131及第三出气管路4132,另该二次热交换器412设有第二进气管路4121及第二出气管路4122,另该一次热交换器411设有第一进气管路4111及第一出气管路4112,其中该三次热交换器413的第三进气管路4131连接该浓缩废气管路50,而该三次热交换器413的第三出气管路4132连接该一次热交换器411的第一进气管路4111,且该一次热交换器411的第一出气管路4112经热氧化炉40燃烧氧化均匀后,在连接至该烟囱70处,另该二次热交换器412的第二进气管路4121与该转轮20的冷却区22后的进气管路30连接,而该二次热交换器412的第二出气管路4122与该转轮20的脱附区23以一热气管路200相连接,使该浓缩废气在进入热氧化炉40前,先于三次热交换器413及一次热交换器411中来交替预热,使该浓缩废气能燃烧氧化均匀,且燃烧后的气体再经由烟囱70排出。

    而本实用新型主要在于该浓缩废气管路50与该废气进气管路10之间设有一连通管路300,该连通管路300设有阀门组301,而该阀门组301采用一阀门、两个阀门或三阀门的其中任一种方式来进行开度控制,其中该一阀门设置在连通管路300与浓缩废气管路50的接点处(如图1及图2的设计方式),而该两个阀门分别在连通管路300与浓缩废气管路50上各设一阀门(如图3的设计方式),另该三阀门分别在连通管路300与浓缩废气管路50接点处及连通管路300与浓缩废气管路50上各设一阀门(如图4的设计方式),以通过该阀门组301来控制该浓缩废气管路50内的浓缩废气进入该连通管路300的开度,且可以根据进入该热氧化炉40的浓缩废气的浓度来调整要回到废气进气管路10的浓缩废气的流量,使浓缩废气与该废气进气管路10内的废气再一次经由该转轮20的吸附区21来进行吸附,并经由该转轮20的脱附区23来脱附出其浓度再提高近两倍的浓缩废气,再通过该浓缩废气管路50来输送至热氧化炉40中,便于使该热氧化炉40减少其燃料的损耗,以降低该热氧化炉40的运行成本,且使该进入热氧化炉40的风量降低为原来的一半,以使该热氧化炉40的尺寸可以缩小,便可降低整体废气处理系统的初设费用。

    再者,上述的连通管路300设有一连通分岐管路310,而该连通分岐管路310的一端与该进气管路30连接,使该连通管路300的风量具有分流,当该进气管路30的一端供新鲜空气进入时,该进气管路30可由外气(新鲜空气)来提供风量,而由该连通管路300通过该连通分岐管路310来提供风量(如图5所示),通过两股的风量来提供该转轮20的冷却区22以用于降温。另当该进气管路30的一端与该废气进气管路10连接,且通过该废气进气管路10来提供风量时,除了可由该废气进气管路10来提供风量外,也可以由该连通管路300通过该连通分岐管路310来提供风量(如图6所示),通过两股的风量来提供该转轮20的冷却区22以用于降温。使浓缩废气的一部分除了与该废气进气管路10内的废气再一次经由该转轮20的吸附区21来进行吸附外,还能将浓缩废气的一部分输送到该进气管路30来提供该转轮20的冷却区22以用于降温。

    通过以上详细说明,可使本领域技术人员了解本实用新型的确可达成前述目的,确实已符合专利法的规定,现提出专利申请。

    以上所述内容,仅为本实用新型的优选实施例而已,当不能以此限定本实用新型实施的范围;因此,凡依本实用新型申请专利范围及实用新型说明书内容所作的简单的等效变化与修饰,都应仍落入本实用新型专利所涵盖的范围内。


    技术特征:

    1.一种节能型高浓缩倍数处理系统,包括有一废气进气管路、一进气管路、一转轮、一热氧化炉、一浓缩废气管路、一净气排放管路及一烟囱,该转轮设有吸附区、冷却区及脱附区,而该废气进气管路连接该转轮的吸附区,且该净气排放管路设于该转轮的吸附区与该烟囱之间,另该进气管路与该转轮的冷却区连接,而该浓缩废气管路设于该转轮的脱附区与该热氧化炉之间,其特征在于:该浓缩废气管路与该废气进气管路之间设有一连通管路。

    2.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该连通管路进一步设有阀门组,而该阀门组进一步采用一阀门、两个阀门或三阀门的其中任一种方式来进行开度控制。

    3.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该浓缩废气管路进一步设有一抽风机。

    4.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该净气排放管路进一步设有一抽风机。

    5.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该进气管路进一步连接至一热交换器,而该热交换器与该转轮的脱附区之间进一步设有一热气管路。

    6.如权利要求5所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该热交换器的一端进一步与该热氧化炉连接,而该热交换器的另一端与该烟囱相连。

    7.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该热氧化炉进一步设为三段式热氧化炉,而该三段式热氧化炉内进一步设有一次热交换器、二次热交换器及三次热交换器。

    8.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该进气管路进一步为新鲜空气进入。

    9.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该进气管路进一步与该废气进气管路连接。

    10.如权利要求1所述的节能型高浓缩倍数处理系统,其特征在于,该连通管路进一步设有一连通分岐管路,而该连通分岐管路的一端与该进气管路连接,使该连通管路的风量具有分流。

    技术总结
    本实用新型为一种节能型高浓缩倍数处理系统,包括有一废气进气管路、一进气管路、一转轮、一热氧化炉、一浓缩废气管路、一净气排放管路及一烟囱的组合设计,其主要在于该浓缩废气管路与该废气进气管路之间设有一连通管路,因此,使得该浓缩废气管路内的浓缩废气在进入该热氧化炉时,其浓缩废气的浓度能再提高接近两倍,使热氧化炉的燃料消耗能减少,且该进入热氧化炉的风量降为原来的一半,以使该热氧化炉的尺寸可以缩小,降低运转费用与设置成本。

    技术研发人员:洪守铭;刘邦昱;吕咏哲
    受保护的技术使用者:华懋科技股份有限公司;上海华懋环保节能设备有限公司
    技术研发日:2019.05.20
    技术公布日:2020.03.31

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