本实用新型属于真空磁控溅射设备技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种新型磁控溅射换靶辅助工具。
背景技术：
真空磁控溅射技术是一种利用阴极表面配合的磁场形成电子陷阱，使在e×b的作用下电子紧贴阴极表面漂移。真空磁控溅射设备中设置了一个与靶面正交的磁场，溅射产生的电子在正交的电磁场中作近似摆线运动，增加了电子行程，提高了气体的离化率，同时高能量离子与气体碰撞后失去能量，基体温度较低，因此可以在不耐高温的材料上完成镀膜，这种技术是目前太阳能薄膜电池生产技术中最尖端的技术，是由航天工业、兵器工业和核工业三个方面相结合的顶尖技术的民用化，目前在太阳能薄膜电池生产中通过这种技术达到节能环保的目的，同时也能够生产高质量的太阳能薄膜电池。真空磁控溅射镀膜设备在日常更换靶材时需要将靶材吊起并进出腔体，目前真空磁控溅射设备在日常更换靶材的过程中，由于吊挂方式落后，在吊挂靶材进出腔体时，受到腔壁的阻挡，导致更换靶材的效率极低。
技术实现要素：
本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。
为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种新型磁控溅射换靶辅助工具，包括：
滑块，其结构包括：安装板，安装板两端安装有侧板，安装板下表面设置有套孔，侧板设置有安装通孔，安装通孔中设置有键槽；轮轴，其结构包括设置为一体的安装轴、限位部件以及滚轮轴，其中限位部件位于安装轴与滚轮轴之间；卡箍，其安装于滚轮轴的环形沟槽中；滚轮，其安装于滚轮轴上且位于卡箍与限位部件之间，滚轮的内圈与滚轮轴固定连接，且外圈可转动；安装轴上设置有与键槽相适配的轮轴键槽，安装轴通过平键固定在安装通孔中；
导轨，滑块放置于导轨上且导轨位于滚轮与安装板之间。
优选的是，其中，所述平键为长条状结构，其高度等于轮轴键槽的深度，轮轴键槽深度大于侧板的键槽深度。
优选的是，其中，所述安装轴与滚轮轴的大小相同，限位部件的半径大于安装轴与滚轮轴的半径。
优选的是，其中，所述侧板具有安装槽，安装槽上具有螺孔，侧板通过安装槽卡在安装板两侧，螺栓将侧板与安装板固定。
优选的是，其中，所述滚轮的内圈与轮轴采用的是可拆卸的过盈配合安装方式，即轮轴的滚轮轴直径大于滚轮内圈的内径，滚轮为圆柱滚子轴承。
优选的是，其中，所述单个侧板上至少安装有两个轮轴，且所述安装轴完全安装于侧板的安装通孔中，即限位部件的一端抵住侧板的表面，另一端抵住滚轮。
优选的是，其中，所述套孔位于导轨下方，轮轴的滚轮放置于导轨上表面。
优选的是，其中，所述卡箍为有开口的圆环状结构，其中，卡箍的开口两端设置有夹孔。
本实用新型至少包括以下有益效果：轴两端设计有阶梯，方便轮轴与侧板、轮轴与滚轮的定位；同时，轮轴上设计有环形沟槽，以便于用卡箍固定滚轮，使其不会发生轴向位移。轮轴与侧板之间采用键连接，可以轻松将轮轴进行拆装，方便滑块安装在导轨上。套孔则用于吊挂靶材。工作时，滚轮在导轨上表面滚动，从而带动物料沿导轨行进。
相比现有的行车吊或龙门吊方式，此设计具有结构简单、易于安装、使用方便的特点，在简化换靶工作的同时，显著提高换靶效率。
本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明：
图1为本实用新型提供的新型磁控溅射换靶辅助工具结构示意图；
图2为本实用新型提供的新型磁控溅射换靶辅助工具的滑块结构示意图；
图3为本实用新型提供的新型磁控溅射换靶辅助工具轮轴、卡箍以及滚轮的结构示意图；
图4为本实用新型提供的新型磁控溅射换靶辅助工具轮轴的结构示意图；
图5为本实用新型提供的新型磁控溅射换靶辅助工具卡箍的结构示意图；
图6为本实用新型提供的新型磁控溅射换靶辅助工具侧板的结构示意图。
具体实施方式：
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
如图1-6所示：本实用新型的一种新型磁控溅射换靶辅助工具，包括：
滑块，其结构包括：安装板1，安装板两端安装有侧板2，安装板下表面设置有套孔3，侧板2设置有安装通孔21，安装通孔21中设置有键槽22；轮轴4，其结构包括设置为一体的安装轴44、限位部件43以及滚轮轴45，其中限位部件43位于安装轴44与滚轮轴45之间；卡箍6，其安装于滚轮轴45的环形沟槽42中；滚轮5，其安装于滚轮轴45上且位于卡箍6与限位部件43之间，滚轮5的内圈与滚轮45固定连接，且外圈可转动；安装轴44上设置有与键槽22相适配的轮轴键槽41，安装轴44通过平键(图中未示出)固定在安装通孔21中；
导轨7，滑块放置于导轨7上且导轨7位于滚轮5与安装板1之间。
工作原理：导轨安装于真空磁控溅射镀膜设备腔体的进口外，并部分伸进腔体中，滑块安装于导轨上，滑块的滚轮位于导轨的上表面两侧；滑块的套孔可吊挂靶材，也可由多个滑块相配合吊挂靶材，通过人力驱动的方法可使滑块沿导轨方向移动，可将靶材吊挂进出腔体，从而完成对靶材的更换。
另一种实例中，所述平键为长条状结构，其高度等于轮轴键槽41的深度，轮轴键槽41深度大于侧板2的键槽22深度，即将轮轴4安装于时侧板2上的安装通孔21中时，先将平键放进轮轴键槽41中，将轮轴4的安装轴44推进安装通孔21中，由于平键的高度等于轮轴键槽41的深度，所以平键外表面与安装轴44表面齐平，当推至轮轴键槽41位于键槽22正上方时，平键从轮轴键槽41中掉下，又由于平键高度大于键槽22的深度，所以平键上部位于键槽22外但位于轮轴键槽41中，平键通过这样的方式将轮轴4与侧板2的连接固定。
另一种实例中，所述安装轴44与滚轮轴45的大小相同，限位部件43的半径大于安装轴44与滚轮轴45的半径。
另一种实例中，所述侧板2具有安装槽24，安装槽上具有螺孔23，侧板2通过安装槽24卡在安装板1两侧，螺栓将侧板2与安装板1固定。
另一种实例中，所述滚轮5的内圈与轮轴采用的是可拆卸的过盈配合安装方式，即轮轴4的滚轮轴45直径大于滚轮5内圈的内径，这样的安装方式使滚轮5的安装更紧固，滚轮5为圆柱滚子轴承。
另一种实例中，所述单个侧板2上至少安装有两个轮轴，且所述安装轴44完全安装于侧板的安装通孔21中，即限位部件43的一端抵住侧板2的表面，另一端抵住滚轮5，这样的方式使轮轴4与侧板2的安装更稳固，轮轴4不会在侧板2上发生轴向位移，也避免了滚轮5在安装轴44上发生侧向位移。
另一种实例中，所述套孔3位于导轨7下方，轮轴4的滚轮5放置于导轨7上表面。
另一种实例中，所述卡箍6为有开口的圆环状结构，其中，卡箍的开口两端设置有夹孔61，通过扳手扳动夹孔61便可将卡箍取下，再将滚轮从轮轴上取下。
这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。
尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
1.一种新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，包括：
滑块，其结构包括：安装板，安装板两端安装有侧板，安装板下表面设置有套孔，侧板设置有安装通孔，安装通孔中设置有键槽；轮轴，其结构包括设置为一体的安装轴、限位部件以及滚轮轴，其中限位部件位于安装轴与滚轮轴之间；卡箍，其安装于滚轮轴的环形沟槽中；滚轮，其安装于滚轮轴上且位于卡箍与限位部件之间，滚轮的内圈与滚轮轴固定连接，且外圈可转动；安装轴上设置有与键槽相适配的轮轴键槽，安装轴通过平键固定在安装通孔中；
导轨，滑块放置于导轨上且导轨位于滚轮与安装板之间。
2.如权利要求1所述的新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，所述平键为长条状结构，其高度等于轮轴键槽的深度，轮轴键槽深度大于侧板的键槽深度。
3.如权利要求2所述的新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，所述安装轴与滚轮轴的大小相同，限位部件的半径大于安装轴与滚轮轴的半径。
4.如权利要求1所述的新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，所述侧板具有安装槽，安装槽上具有螺孔，侧板通过安装槽卡在安装板两侧，螺栓将侧板与安装板固定。
5.如权利要求1所述的新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，所述滚轮的内圈与轮轴采用的是可拆卸的过盈配合安装方式，即轮轴的滚轮轴直径大于滚轮内圈的内径，滚轮为圆柱滚子轴承。
6.如权利要求1所述的新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，所述单个侧板上至少安装有两个轮轴，且所述安装轴完全安装于侧板的安装通孔中，即限位部件的一端抵住侧板的表面，另一端抵住滚轮。
7.如权利要求1所述的新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，所述套孔位于导轨下方，轮轴的滚轮放置于导轨上表面。
8.如权利要求1所述的新型磁控溅射换靶辅助工具，其特征在于，所述卡箍为有开口的圆环状结构，其中，卡箍的开口两端设置有夹孔。
技术总结