本实用新型涉及玻璃镀膜技术领域，特别是涉及一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统。
背景技术：
玻璃镀膜工艺是在玻璃表面涂渡一层或多层金属膜或金属化合物，以改变玻璃的光学性能，目前比较先进的玻璃镀膜工艺包括有磁控贱射镀膜。磁控溅射镀膜的工作原理如下：
电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出ar正离子和新的电子，新电子飞向基片，ar正离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射，在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。
实际生产过程中，需要对靶材进行冷却，通常采用循环的冷却水导入靶材内的冷却水腔体进行冷却。随着使用时间的推移，靶材的冷却水腔体内壁和水管内壁会产生污垢，污垢难以清理而降低了冷却效率，增加了冷却系统的负荷和能耗，需要改进。
技术实现要素：
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，无需拆卸，进行靶材冷却水腔体内壁和水管内壁的清洁，提升冷却效率。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，包括：水泵、混水管道、碎冰机、靶材和冷却塔，所述靶材中设置有冷却水腔体，所述靶材一端设置有与冷却水腔体连通的第一管接头，所述靶材另一端设置有与冷却水腔体连通的第二管接头，所述第一管接头与冷却塔的出水口之间设置有供水管，所述第二管接头与冷却塔的进水口之间设置有回水管，所述水泵串联在供水管或者回水管上，所述混水管道串联在供水管上，所述碎冰机设置在混水管道上方，所述碎冰机的底部设置有与混水管道垂直连通的落料管。
在本实用新型一个较佳实施例中，所述回水管上串联有过滤器。
在本实用新型一个较佳实施例中，所述混水管道的底部设置有水平支架。
在本实用新型一个较佳实施例中，所述碎冰机中设置有筛网。
在本实用新型一个较佳实施例中，所述筛网的网孔直径为1~2mm。
在本实用新型一个较佳实施例中，所述落料管上设置有阀门。
本实用新型的有益效果是：本实用新型指出的一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，维护人员定期把冰块导入碎冰机，形成直径1~2mm的冰粒后，打开落料管上阀门，使得冰粒掉入混水管道，随冷却水依次进入供水管、冷却水腔体和回水管，冰粒的硬度高，可以对供水管、冷却水腔体和回水管的内壁进行冲刷，清理掉污垢，冰粒随着在供水管、冷却水腔体和回水管中的流动而融化变小，吸热而降低了冷却水的温度，提升了对靶材的冷却效果，而且污垢清理后，确保了冷却水对靶材的冷却效果，可以适当降低冷却塔和水泵的功率，从而降低能耗。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1是本实用新型一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统一较佳实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1，本实用新型实施例包括：
如图1所示的自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，包括：水泵5、混水管道4、碎冰机2、靶材8和冷却塔1，所述靶材8中设置有冷却水腔体，可以通入冷却水，进行靶材8的直接冷却。
所述靶材8一端设置有与冷却水腔体连通的第一管接头7，所述靶材8另一端设置有与冷却水腔体连通的第二管接头9，所述第一管接头7与冷却塔1的出水口之间设置有供水管6，所述第二管接头9与冷却塔1的进水口之间设置有回水管11，形成冷却水循环管路，所述水泵5串联在供水管6或者回水管11上，驱动冷却水的循环，通过水泵5的档位开关调节流速，确保冷却效果的基础上，有利于降低能耗。
所述混水管道4串联在供水管6上，所述混水管道4的底部设置有水平支架12，确保混水管道4的水平，混水管道4采用不锈钢管，结构牢固，耐腐蚀性好。
所述碎冰机1设置在混水管道4上方，所述碎冰机2的底部设置有与混水管道4垂直连通的落料管3，冰块导入碎冰机2后，开启碎冰机2，产生较小的冰粒。所述落料管3上设置有阀门，打开阀门后，落料管3的冰粒导入混水管道4，随混水管道4中的水流依次进入供水管6、冷却水腔体和回水管11，冰粒的硬度高，可以对供水管6、冷却水腔体和回水管11内壁的污垢进行冲刷，实现自动清洁。碎冰机2的顶部入料口设置有闸板，阀门打开之前，闸板关闭，避免外部空气进入碎冰机2，减少对水泵5的不良影响。
所述回水管11上串联有过滤器10，对冷却水进行过滤，避免冲刷下来的污垢进入冷却塔1，确保清洁效果。回水管11上还可以安装水温表，进行冷却水温度的监测，方便进行冷却塔1和水泵5的功率调整。
所述碎冰机2中设置有筛网，所述筛网的网孔直径为1~2mm，使得冰粒的直径为1~2mm。冰粒随着在供水管6、冷却水腔体和回水管11中流动而融化变小，吸热而降低了冷却水的温度，提升了对靶材的冷却效果，避免浪费，还不会造成冰粒堵塞问题。
综上所述，本实用新型指出的一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，通过碎冰机产生的冰粒，实现了供水管、冷却水腔体和回水管内壁的清洁，提升了靶材的冷却效率。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
1.一种自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，其特征在于，包括：水泵、混水管道、碎冰机、靶材和冷却塔，所述靶材中设置有冷却水腔体，所述靶材一端设置有与冷却水腔体连通的第一管接头，所述靶材另一端设置有与冷却水腔体连通的第二管接头，所述第一管接头与冷却塔的出水口之间设置有供水管，所述第二管接头与冷却塔的进水口之间设置有回水管，所述水泵串联在供水管或者回水管上，所述混水管道串联在供水管上，所述碎冰机设置在混水管道上方，所述碎冰机的底部设置有与混水管道垂直连通的落料管。
2.根据权利要求1所述的自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，其特征在于，所述回水管上串联有过滤器。
3.根据权利要求1所述的自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，其特征在于，所述混水管道的底部设置有水平支架。
4.根据权利要求1所述的自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，其特征在于，所述碎冰机中设置有筛网。
5.根据权利要求4所述的自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，其特征在于，所述筛网的网孔直径为1~2mm。
6.根据权利要求1所述的自清洁式磁控溅射靶材冷却系统，其特征在于，所述落料管上设置有阀门。
技术总结