本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，具体为一种钟罩式化学气相沉积炉。
背景技术：
化学气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，在中温、高温或者常压下都可以进行反应，化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助，而且也可以生产出很多别的手段无法制备出的一些晶体，但是在产生晶体的过程中一下杂质会留在炉体内壁上，传统的沉积炉对内部杂质不便于清理，为工作人员的操作带来不便，而且加工过程中，沉积炉内的热量不易于排散，导致对沉积炉的使用效率降低，所以我们提出了一种钟罩式化学气相沉积炉，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种钟罩式化学气相沉积炉，以解决上述背景技术提出的目前市场上的沉积炉对内部杂质不便于清理，为工作人员的操作带来不便，而且加工过程中，沉积炉内的热量不易于排散，导致对沉积炉的使用效率降低的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种钟罩式化学气相沉积炉，包括底座、第二炉体、第一连接齿轮和电机，所述底座的上方设置有第一炉体，且第一炉体的顶部连接有炉盖，并且炉盖的上方设置有连接口，所述第二炉体设置于第一炉体的内部，且第二炉体的顶部安装有固定板，并且固定板通过凹槽与密封套环相连接，所述凹槽开设于密封套环的底部，且密封套环通过连接板与炉盖相连接，所述第一连接齿轮设置于第二炉体的外壁上，且第一连接齿轮的左侧啮合连接有第二连接齿轮，并且第二连接齿轮的底部安装有转轴，所述电机设置于第一炉体的外侧，且电机的输出端与转轴相连接，并且电机的底部与防护架相连接，所述第二炉体的内部设置有连接杆，且连接杆的左侧安装有刮板，所述第二炉体和第一炉体之间连接有导热片。
优选的，所述第一炉体和第二炉体的中心线位于同一直线上，且第一炉体和炉盖的连接方式为法兰连接。
优选的，所述固定板和第二炉体为一体式结构，且固定板和密封套环的连接方式为贴合连接。
优选的，所述连接板和炉盖的连接方式为焊接，且连接板和密封套环的连接方式为粘接。
优选的，所述连接杆和炉盖的连接方式为焊接，且连接杆和刮板为螺栓连接，并且刮板和第二炉体的内壁为贴合连接。
优选的，所述导热片与第一炉体和第二炉体的连接方式均为焊接，且导热片的高度小于第二炉体的高度。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该钟罩式化学气相沉积炉，
(1)第二炉体内部设置有连接杆，且连接杆左侧连接的刮板和第二炉体为贴合连接，当第二炉体转动时，可以通过刮板将第二炉体内壁上留有的杂质进行刮除，实现对第二炉体进行清理的目的，为工作人员的操作带来便利；
(2)第二炉体和第一炉体之间设置有导热片，可以在化学气相沉积过程中，通过导热片将加工时的热量迅速传递给第一炉体，让第一炉体在自然风的环境下更快的进行冷却，提高该沉积炉的使用效率；
(3)第二炉体顶部的固定板与连接板底部的密封套环为贴合连接，这样在不影响第二炉体转动的时候，可以保证第二炉体的密封性，进一步确保了该沉积炉的正常使用。
附图说明
图1为本实用新型整体剖视结构示意图；
图2为本实用新型图1中a处放大结构示意图；
图3为本实用新型第二炉体和刮板连接俯视结构示意图；
图4为本实用新型密封套环和凹槽连接结构示意图。
图中：1、底座；2、第一炉体；3、炉盖；4、连接口；5、第二炉体；6、固定板；7、凹槽；8、密封套环；9、连接板；10、第一连接齿轮；11、第二连接齿轮；12、转轴；13、电机；14、防护架；15、连接杆；16、刮板；17、导热片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种钟罩式化学气相沉积炉，包括底座1、第一炉体2、炉盖3、连接口4、第二炉体5、固定板6、凹槽7、密封套环8、连接板9、第一连接齿轮10、第二连接齿轮11、转轴12、电机13、防护架14、连接杆15、刮板16和导热片17，底座1的上方设置有第一炉体2，且第一炉体2的顶部连接有炉盖3，并且炉盖3的上方设置有连接口4，第二炉体5设置于第一炉体2的内部，且第二炉体5的顶部安装有固定板6，并且固定板6通过凹槽7与密封套环8相连接，凹槽7开设于密封套环8的底部，且密封套环8通过连接板9与炉盖3相连接，第一连接齿轮10设置于第二炉体5的外壁上，且第一连接齿轮10的左侧啮合连接有第二连接齿轮11，并且第二连接齿轮11的底部安装有转轴12，电机13设置于第一炉体2的外侧，且电机13的输出端与转轴12相连接，并且电机13的底部与防护架14相连接，第二炉体5的内部设置有连接杆15，且连接杆15的左侧安装有刮板16，第二炉体5和第一炉体2之间连接有导热片17；
第一炉体2和第二炉体5的中心线位于同一直线上，且第一炉体2和炉盖3的连接方式为法兰连接，保证了第一炉体2和炉盖3之间连接的稳定性，同时便于后期的拆卸操作；
固定板6和第二炉体5为一体式结构，且固定板6和密封套环8的连接方式为贴合连接，这样在第二炉体5转动时，可以带动固定板6沿着密封套环8进行转动，确保了第二炉体5的密封性，从而保证了该沉积炉的正常工作；
连接板9和炉盖3的连接方式为焊接，且连接板9和密封套环8的连接方式为粘接，使连接板9和炉盖3之间连接的更加牢固，防止在使用过程中出现掉落的现象；
连接杆15和炉盖3的连接方式为焊接，且连接杆15和刮板16为螺栓连接，并且刮板16和第二炉体5的内壁为贴合连接，当第二炉体5转动的时候，可以通过刮板16对第二炉体5内壁上留有的杂质进行刮除，从而实现对第二炉体5进行清理的目的，为工作人员带来便利；
导热片17与第一炉体2和第二炉体5的连接方式均为焊接，且导热片17的高度小于第二炉体5的高度，可以通过导热片17加快第二炉体5内部热量的排散，进而提高了该沉积炉的使用效率。
工作原理：在使用该钟罩式化学气相沉积炉时，根据图1-4，首先工作人员将底座1和第一炉体2方向相应位置，然后通过连接口4放入相应的原料至第二炉体5内部进行操作，在该沉积炉产生晶体的过程中，第二炉体5内部会产生热量，由于第二炉体5的外壁和第一炉体2的内壁之间设置有导热片17，所以导热片17会将热量迅速传递给第一炉体2，使第一炉体2在自然风的环境下也可以快速冷却，从而加快对第二炉体5热量的排散，提高了晶体的生产效率；
同时在晶体生产过程中，会产生杂质留在第二炉体5的内壁上，当晶体生产结束后，工作人员可以通过外接电源启动电机13，电机13会带动转轴12和第二连接齿轮11进行旋转，而第二连接齿轮11和第二炉体5外壁上的第一连接齿轮10为啮合连接，所以可以带动第二炉体5进行转动，由于第二炉体5的内壁和刮板16为贴合连接，因此可以通过刮板16将第二炉体5内壁上的杂质刮除，对第二炉体5进行清理，为工作人员带来便利，也提高了杂质的清理效率，如果后期需要对刮板16进行清理，工作人员可以打开炉盖3，将炉盖3连同连接杆15一起拆卸取下，进而将刮板16从第二炉体5内部取出，之后便可以对刮板16进行清理，非常方便，以上便是整个装置的工作过程，且本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.一种钟罩式化学气相沉积炉，包括底座(1)、第二炉体(5)、第一连接齿轮(10)和电机(13)，其特征在于：所述底座(1)的上方设置有第一炉体(2)，且第一炉体(2)的顶部连接有炉盖(3)，并且炉盖(3)的上方设置有连接口(4)，所述第二炉体(5)设置于第一炉体(2)的内部，且第二炉体(5)的顶部安装有固定板(6)，并且固定板(6)通过凹槽(7)与密封套环(8)相连接，所述凹槽(7)开设于密封套环(8)的底部，且密封套环(8)通过连接板(9)与炉盖(3)相连接，所述第一连接齿轮(10)设置于第二炉体(5)的外壁上，且第一连接齿轮(10)的左侧啮合连接有第二连接齿轮(11)，并且第二连接齿轮(11)的底部安装有转轴(12)，所述电机(13)设置于第一炉体(2)的外侧，且电机(13)的输出端与转轴(12)相连接，并且电机(13)的底部与防护架(14)相连接，所述第二炉体(5)的内部设置有连接杆(15)，且连接杆(15)的左侧安装有刮板(16)，所述第二炉体(5)和第一炉体(2)之间连接有导热片(17)。
2.根据权利要求1所述的一种钟罩式化学气相沉积炉，其特征在于：所述第一炉体(2)和第二炉体(5)的中心线位于同一直线上，且第一炉体(2)和炉盖(3)的连接方式为法兰连接。
3.根据权利要求1所述的一种钟罩式化学气相沉积炉，其特征在于：所述固定板(6)和第二炉体(5)为一体式结构，且固定板(6)和密封套环(8)的连接方式为贴合连接。
4.根据权利要求1所述的一种钟罩式化学气相沉积炉，其特征在于：所述连接板(9)和炉盖(3)的连接方式为焊接，且连接板(9)和密封套环(8)的连接方式为粘接。
5.根据权利要求1所述的一种钟罩式化学气相沉积炉，其特征在于：所述连接杆(15)和炉盖(3)的连接方式为焊接，且连接杆(15)和刮板(16)为螺栓连接，并且刮板(16)和第二炉体(5)的内壁为贴合连接。
6.根据权利要求1所述的一种钟罩式化学气相沉积炉，其特征在于：所述导热片(17)与第一炉体(2)和第二炉体(5)的连接方式均为焊接，且导热片(17)的高度小于第二炉体(5)的高度。
技术总结