本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种真空镀膜机的坩埚调整装置。
背景技术：
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空蒸镀腔中蒸镀时，材料放置于坩埚中，坩埚放置于加热装置中，加热到蒸镀温度时，材料汽化，汽化分子从坩埚盖的喷孔飞出沉积到基板上形成固态薄膜。蒸镀坩埚是真空镀膜机上的重要部件之一。
蒸镀坩埚的高度和水平位置对基材的真空镀膜质量具有重要的影响，而现有的真空镀膜机中坩埚的位置调节起来较为不便，需要对其进行改进。
技术实现要素：
针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机的坩埚调整装置，以解决背景技术中提到的问题。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种真空镀膜机的坩埚调整装置，包括安装固定在真空镀膜机内真空镀膜室底部的支撑柱，所述支撑柱的上端通过滚动轴承转动连接有第一螺杆，所述第一螺杆的外部螺纹连接有管筒，所述管筒的顶端安装固定有固定座，所述支撑柱上焊接固定有固定块，所述固定座的底部固定有导向杆，所述固定块上开设有供所述导向杆穿过的导向孔，所述固定座内开设有滑槽，所述滑槽内沿水平方向滑移连接有滑块，所述固定座内还转动连接有第二螺杆，所述第二螺杆与所述滑块之间螺纹连接，所述滑块的顶部焊接固定有第一固定盘，所述第一固定盘通过若干个第一锁紧螺栓与坩埚连接，所述第一螺杆的外部还固定有驱动转盘。
通过采用上述技术方案，利用装置可以实现对真空镀膜室内的坩埚位置的调节，且调节方式简单、可靠；当需要调节坩埚的高度时，操作者可以转动第一螺杆外部的驱动转盘，当第一螺杆转动时将带动管筒转动，在导向杆和导向孔的配合下将带动固定座上方的坩埚升降，从而能够实现对坩埚高度的调节；当需要微调坩埚的水平位置时，操作者可以转动第二螺杆，当第二螺杆转动时将带动滑块在固定座内的滑槽中滑动，从而带动第一固定盘和其上方的坩埚进行水平位置的微调。
较佳的，所述管筒的顶端固定有第二固定盘，所述第二固定盘通过若干个第二锁紧螺栓与所述固定座连接。
通过采用上述技术方案，通过利用第二固定盘和第二锁紧螺栓能够方便实现固定座与管筒之间的固定。
较佳的，所述固定座内开设有槽孔，所述槽孔内沿竖直方向滑移连接有定位柱，所述定位柱与所述槽孔孔底之间连接有弹簧，所述第二固定盘上开设有供所述定位柱竖直插入的定位孔。
通过采用上述技术方案，在槽孔内的弹簧弹力作用下，竖直滑移连接在槽孔内的定位柱可以插入到第二固定盘上的定位孔内，从而实现对固定座安装时的安装定位。
较佳的，所述第二螺杆的端部固定有圆盘，所述圆盘在背离所述第二螺杆的一面偏心固定有把手杆。
通过采用上述技术方案，通过摇动圆盘上偏心固定的把手杆能够方便操作者带动第二螺杆转动。
较佳的，所述第二螺杆的外部螺纹连接有紧固套。
通过采用上述技术方案，拧紧第二螺杆外部的紧固套能够将第二螺杆位置更加牢靠的锁定。
较佳的，所述驱动转盘上焊接固定有若干个驱动杆，若干个所述驱动杆的端部均具有圆形端球。
通过采用上述技术方案，通过利用驱动杆和圆形端球能够方便带动驱动转盘转动。
较佳的，所述滑块为燕尾块，所述滑槽为与所述滑块相互配合的燕尾槽。
通过采用上述技术方案，燕尾块和燕尾槽方便进行加工生产。
较佳的，所述导向杆在远离所述固定座的一端固定有限位块。
通过采用上述技术方案，导向杆端部的限位块能够限制坩埚的竖直调节行程。
综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
利用装置可以实现对真空镀膜室内的坩埚位置的调节，且调节方式简单、可靠；当需要调节坩埚的高度时，操作者可以转动第一螺杆外部的驱动转盘，当第一螺杆转动时将带动管筒转动，在导向杆和导向孔的配合下将带动固定座上方的坩埚升降，从而能够实现对坩埚高度的调节；当需要微调坩埚的水平位置时，操作者可以转动第二螺杆，当第二螺杆转动时将带动滑块在固定座内的滑槽中滑动，从而带动第一固定盘和其上方的坩埚进行水平位置的微调。
附图说明
图1是用于展示真空镀膜机和真空镀膜机内的坩埚调整装置的结构示意图；
图2是真空镀膜机的坩埚调整装置的结构示意图之一；
图3是图2中的a处放大图；
图4是真空镀膜机的坩埚调整装置的结构示意图之二；
图5是真空镀膜机的坩埚调整装置的结构剖视图；
图6是图5中的b处放大图。
附图标记：1、真空镀膜机；2、支撑柱；3、滚动轴承；4、第一螺杆；5、管筒；6、固定座；7、固定块；8、导向杆；9、导向孔；10、滑槽；11、滑块；12、第二螺杆；13、第一固定盘；14、第一锁紧螺栓；15、坩埚；16、驱动转盘；17、第二固定盘；18、第二锁紧螺栓；19、槽孔；20、定位柱；21、弹簧；22、定位孔；23、圆盘；24、把手杆；25、紧固套；26、驱动杆；27、圆形端球；28、限位块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参考图1、图2和图4，一种真空镀膜机的坩埚调整装置，包括安装固定在真空镀膜机1内真空镀膜室底部的支撑柱2；为了方便调节真空镀膜室内蒸镀坩埚15的高度和水平位置，在支撑柱2的上端通过滚动轴承3转动连接有第一螺杆4，同时在第一螺杆4的外部螺纹连接有管筒5，在管筒5的顶端安装固定有固定座6，坩埚15位于固定座6的上方，当转动第一螺杆4时将带动管筒5升降；为了给固定座6的竖直滑动进行导向，在支撑柱2上焊接固定有固定块7，在固定座6的底部固定有导向杆8，在固定块7上开设有供导向杆8穿过的导向孔9；为了方便调节坩埚15的水平位置，在固定座6内开设有滑槽10，在滑槽10内沿水平方向滑移连接有滑块11，同时在固定座6内还转动连接有第二螺杆12，将第二螺杆12与滑块11之间螺纹连接，同时将滑块11的顶部焊接固定有第一固定盘13，将第一固定盘13通过四个第一锁紧螺栓14与坩埚15连接；故利用装置可以实现对真空镀膜室内的坩埚15位置的调节，且调节方式简单、可靠；当需要调节坩埚15的高度时，操作者可以转动第一螺杆4外部的驱动转盘16，当第一螺杆4转动时将带动管筒5转动，在导向杆8和导向孔9的配合下将带动固定座6上方的坩埚15升降，从而能够实现对坩埚15高度的调节；当需要微调坩埚15的水平位置时，操作者可以转动第二螺杆12，当第二螺杆12转动时将带动滑块11在固定座6内的滑槽10中滑动，从而带动第一固定盘13和其上方的坩埚15进行水平位置的微调。
参考图5和图6，为了方便实现管筒5与固定座6之间的连接和固定，在管筒5的顶端固定有第二固定盘17，同时将第二固定盘17通过四个第二锁紧螺栓18与固定座6连接，通过利用第二固定盘17和第二锁紧螺栓18能够方便实现固定座6与管筒5之间的固定；为了实现固定座6与管筒5之间的安装定位，在固定座6内开设有槽孔19，在槽孔19内沿竖直方向滑移连接有定位柱20，同时将定位柱20与槽孔19孔底之间连接有弹簧21，在第二固定盘17上开设有供定位柱20竖直插入的定位孔22，在槽孔19内的弹簧21弹力作用下，竖直滑移连接在槽孔19内的定位柱20可以插入到第二固定盘17上的定位孔22内，从而实现对固定座6安装时的安装定位。
参考图4，为了方便操作者带动第二螺杆12转动，在第二螺杆12的端部固定有圆盘23，同时将圆盘23在背离第二螺杆12的一面偏心固定有把手杆24，通过摇动圆盘23上偏心固定的把手杆24能够方便操作者带动第二螺杆12转动；为了充分锁定第二螺杆12的位置，在第二螺杆12的外部螺纹连接有紧固套25，拧紧第二螺杆12外部的紧固套25能够将第二螺杆12位置更加牢靠的锁定。
参考图5和图6，为了方便操作者驱动第一螺杆4转动，在第一螺杆4的外部还固定有驱动转盘16，通过转动驱动转盘16能够带动第一螺杆4转动；同时在驱动转盘16上焊接固定有三个驱动杆26，同时在三个驱动杆26的端部均具有圆形端球27，通过利用驱动杆26和圆形端球27能够方便带动驱动转盘16转动；同时将滑块11采用为燕尾块，滑槽10采用为与滑块11相互配合的燕尾槽，通过燕尾块和燕尾槽方便进行加工生产；为了对坩埚15的竖直调节高度进行限位，将导向杆8在远离固定座6的一端固定有限位块28，导向杆8端部的限位块28能够限制坩埚15的竖直调节行程。
其中真空镀膜机1作为现有技术，其可以是温州驰诚真空机械有限公司生的蒸发镀膜机。其中一些参数如下：电源类型：配置电阻蒸发电源、离子轰击电源、可控硅电源；材质用料：采用优质碳钢或不锈钢材质；泵抽系统：装备扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(配置可选深冷泵)；冷却系统：水循环冷却方式；坩埚15调整装置位于真空镀膜机1内，是以此真空镀膜机1作出的改进；且坩埚15是蒸镀坩埚15，蒸镀坩埚15的型号可以选择东莞市羿泰新材料有限公司生产的oled坩埚15。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种真空镀膜机的坩埚调整装置，包括安装固定在真空镀膜机(1)内真空镀膜室底部的支撑柱(2)，其特征在于：所述支撑柱(2)的上端通过滚动轴承(3)转动连接有第一螺杆(4)，所述第一螺杆(4)的外部螺纹连接有管筒(5)，所述管筒(5)的顶端安装固定有固定座(6)，所述支撑柱(2)上焊接固定有固定块(7)，所述固定座(6)的底部固定有导向杆(8)，所述固定块(7)上开设有供所述导向杆(8)穿过的导向孔(9)，所述固定座(6)内开设有滑槽(10)，所述滑槽(10)内沿水平方向滑移连接有滑块(11)，所述固定座(6)内还转动连接有第二螺杆(12)，所述第二螺杆(12)与所述滑块(11)之间螺纹连接，所述滑块(11)的顶部焊接固定有第一固定盘(13)，所述第一固定盘(13)通过若干个第一锁紧螺栓(14)与坩埚(15)连接，所述第一螺杆(4)的外部还固定有驱动转盘(16)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚调整装置，其特征在于：所述管筒(5)的顶端固定有第二固定盘(17)，所述第二固定盘(17)通过若干个第二锁紧螺栓(18)与所述固定座(6)连接。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的坩埚调整装置，其特征在于：所述固定座(6)内开设有槽孔(19)，所述槽孔(19)内沿竖直方向滑移连接有定位柱(20)，所述定位柱(20)与所述槽孔(19)孔底之间连接有弹簧(21)，所述第二固定盘(17)上开设有供所述定位柱(20)竖直插入的定位孔(22)。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚调整装置，其特征在于：所述第二螺杆(12)的端部固定有圆盘(23)，所述圆盘(23)在背离所述第二螺杆(12)的一面偏心固定有把手杆(24)。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚调整装置，其特征在于：所述第二螺杆(12)的外部螺纹连接有紧固套(25)。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚调整装置，其特征在于：所述驱动转盘(16)上焊接固定有若干个驱动杆(26)，若干个所述驱动杆(26)的端部均具有圆形端球(27)。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚调整装置，其特征在于：所述滑块(11)为燕尾块，所述滑槽(10)为与所述滑块(11)相互配合的燕尾槽。
8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的坩埚调整装置，其特征在于：所述导向杆(8)在远离所述固定座(6)的一端固定有限位块(28)。
技术总结