本实用新型涉一种镀膜室，特别涉一种新型真空镀膜室，属于真空镀膜机技术领域。
背景技术：
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，真空镀膜室是真空镀膜机的重要组成部分，一般的真空镀膜室在对物料进行镀膜时，物料难以在真空镀膜室内做圆周运动，容易导致镀膜不均匀的现象，且一般的真空镀膜室内的转盘多采用固定安装的方式，不便于拆卸，无法根据不同物料对转盘进行更换，灵活性较差。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种新型真空镀膜室，以解决上述背景技术中提出的一般的真空镀膜室容易导致镀膜不均匀的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型真空镀膜室，包括筒身，所述筒身两侧的底部分别开设有真空口和氩气口，所述筒身一侧的顶部固定设有气压表，所述筒身的正面铰接有密封门，所述筒身两侧的内壁分别固定设有相互串联的阴极和阳极，所述筒身内部的底端通过轴承与转轴的底端转动连接，所述转轴的底部、中部和顶部均固定设有托板，三个所述托板的顶端均通过固定螺栓分别与三个转盘的底端固定连接，三个所述托板的顶端均固定覆盖有硅胶垫，所述筒身顶端的中部固定设有减速电机，所述减速电机的传动轴贯穿筒身与置于筒身内部的转轴的顶端固定连接，所述减速电机的传动轴与筒身的连接处固定设有机械密封件。
作为本实用新型的一种优选技术方案，三个所述转盘均包括两个拼接板，两个所述拼接板的一侧均通过铰链铰接，两个所述拼接板的另一侧均通过连接片固定连接，两个所述拼接板的顶端均固定设有若干个支撑条。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述筒身的底端固定设有三个支撑腿，三个所述支撑腿的底端均固定设有橡胶垫。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述密封门的表面固定设有把手槽，所述密封门背面的四个边侧均固定设有密封条。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空口和氩气口分别与真空管的一端和氩气管的一端固定连接，所述真空口的中部和氩气管的中部均固定设有阀门。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述筒身正面的顶部固定设有开关面板，所述开关面板的表面分别设有阴极开关和减速电机开关，所述阴极和减速电机分别通过阴极开关和减速电机开关与电源电性连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种新型真空镀膜室，通过减速电机驱动转轴转动，可以使支撑条上的物料与转轴同步转动，物料在筒身内部做圆周运动，从而避免了物料镀膜效果不均匀的现象，提高了对物料的镀膜质量，通过真空口便于抽取筒身内部的空气，使筒身的内部处于真空状态，通过氩气口便于往筒身内输送氩气，通过设置机械密封件，保证了减速电机的传动轴与筒身之间的密封性，转轴上的三个托板均通过固定螺栓分别与三个转盘固定连接，便于安装和拆卸三个转盘，通过硅胶垫提高了托板与转盘之间的稳定性，通过两个连接片便于打开两个拼接板，便于将其从转轴上取下，从而可根据不同物料对转盘进行更换，灵活性较好。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型筒身的内部结构示意图；
图3为本实用新型转盘的结构示意图。
图中：1、筒身；2、密封门；3、把手槽；4、支撑腿；5、气压表；6、真空口；7、氩气口；8、真空管；9、氩气管；10、阀门；11、阴极；12、阳极；13、轴承；14、转轴；15、减速电机；16、机械密封件；17、托板；18、转盘；19、支撑条；20、拼接板；21、铰链；22、连接片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供了一种新型真空镀膜室，包括筒身1，筒身1两侧的底部分别开设有真空口6和氩气口7，筒身1一侧的顶部固定设有气压表5，筒身1的正面铰接有密封门2，筒身1两侧的内壁分别固定设有相互串联的阴极11和阳极12，筒身1内部的底端通过轴承13与转轴14的底端转动连接，转轴14的底部、中部和顶部均固定设有托板17，三个托板17的顶端均通过固定螺栓分别与三个转盘18的底端固定连接，三个托板17的顶端均固定覆盖有硅胶垫，筒身1顶端的中部固定设有减速电机15，减速电机15的传动轴贯穿筒身1与置于筒身1内部的转轴14的顶端固定连接，通过减速电机15驱动转轴14转动，可以使支撑条19上的物料与转轴14同步转动，物料在筒身1内部做圆周运动，避免了物料镀膜效果不均匀的现象，提高了对物料的镀膜质量，减速电机15的传动轴与筒身1的连接处固定设有机械密封件16，保证了减速电机15的传动轴与筒身1之间的密封性。
优选的，三个转盘18均包括两个拼接板20，两个拼接板20的一侧均通过铰链21铰接，两个拼接板20的另一侧均通过连接片22固定连接，便于打开两个拼接板20，两个拼接板20的顶端均固定设有若干个支撑条19，通过若干个支撑条19可对物料进行支撑。
优选的，筒身1的底端固定设有三个支撑腿4，三个支撑腿4的底端均固定设有橡胶垫，保证了筒身1的稳定性，密封门2的表面固定设有把手槽3，通过把手槽3便于打开密封门2，密封门2背面的四个边侧均固定设有密封条，保证了密封门2的密封性能。
优选的，真空口6和氩气口7分别与真空管8的一端和氩气管9的一端固定连接，真空口6的中部和氩气管9的中部均固定设有阀门10，通过阀门10可分别打开和关闭真空口6和氩气口7。
优选的，筒身1正面的顶部固定设有开关面板，开关面板的表面分别设有阴极开关和减速电机开关，阴极11和减速电机15分别通过阴极开关和减速电机开关与电源电性连接，通过阴极开关和减速电机开关便于分别打开和关闭阴极11和减速电机15。
具体使用时，本实用新型一种新型真空镀膜室，打开密封门2，将物料依次放在若干个支撑条19上，然后关闭密封门2，将真空管8的一端与真空泵的抽气口固定连接，打开真空管8的阀门10，抽取筒身1内部的空气，并观察气压表5，待筒身1的内部为真空状态时，停止抽气活动，将氩气管9的一端与氩气罐的出气口固定连接，打开氩气管9的阀门10，通过氩气管9往筒身1内输送氩气，打开阴极开关，阴极11被激发出电子，电子在阴极11与阳极12的电场作用下加速飞向物体，与氩气中的氩原子发生碰撞，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶分子沉积在物料的表面形成薄膜，与此同时，打开减速电机开关，型号可为90yyjt的减速电机15驱动转轴14转动，型号可为zgj-80的机械密封件16保证了减速电机15的传动轴与筒身1之间的密封性，使支撑条19上的物料与转轴14同步转动，物料在筒身1的内部做圆周运动，可均匀镀膜，镀膜结束后，首先关闭阀门10，然后关闭减速电机开关和阴极开关，打开密封门2取出物料，需要更换针对不同物料使用的转盘18时，通过固定螺栓将转盘18拆卸，然后通过两个连接片22打开两个拼接板20，将其从转轴14上取下，更换另一个转盘18即可。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
1.一种新型真空镀膜室，包括筒身(1)，其特征在于，所述筒身(1)两侧的底部分别开设有真空口(6)和氩气口(7)，所述筒身(1)一侧的顶部固定设有气压表(5)，所述筒身(1)的正面铰接有密封门(2)，所述筒身(1)两侧的内壁分别固定设有相互串联的阴极(11)和阳极(12)，所述筒身(1)内部的底端通过轴承(13)与转轴(14)的底端转动连接，所述转轴(14)的底部、中部和顶部均固定设有托板(17)，三个所述托板(17)的顶端均通过固定螺栓分别与三个转盘(18)的底端固定连接，三个所述托板(17)的顶端均固定覆盖有硅胶垫，所述筒身(1)顶端的中部固定设有减速电机(15)，所述减速电机(15)的传动轴贯穿筒身(1)与置于筒身(1)内部的转轴(14)的顶端固定连接，所述减速电机(15)的传动轴与筒身(1)的连接处固定设有机械密封件(16)。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜室，其特征在于：三个所述转盘(18)均包括两个拼接板(20)，两个所述拼接板(20)的一侧均通过铰链(21)铰接，两个所述拼接板(20)的另一侧均通过连接片(22)固定连接，两个所述拼接板(20)的顶端均固定设有若干个支撑条(19)。
3.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜室，其特征在于：所述筒身(1)的底端固定设有三个支撑腿(4)，三个所述支撑腿(4)的底端均固定设有橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜室，其特征在于：所述密封门(2)的表面固定设有把手槽(3)，所述密封门(2)背面的四个边侧均固定设有密封条。
5.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜室，其特征在于：所述真空口(6)和氩气口(7)分别与真空管(8)的一端和氩气管(9)的一端固定连接，所述真空口(6)的中部和氩气管(9)的中部均固定设有阀门(10)。
6.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜室，其特征在于：所述筒身(1)正面的顶部固定设有开关面板，所述开关面板的表面分别设有阴极开关和减速电机开关，所述阴极(11)和减速电机(15)分别通过阴极开关和减速电机开关与电源电性连接。
技术总结