本实用新型涉及晶体生长设备上采用的波纹管组件，具体地说是一种具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件。
背景技术：
在单晶炉或多晶炉设备上采用的波纹管组件，上端法兰与炉底板相连，下端法兰与坩埚升降平台相连，上、下端法兰之间连接有波纹管。在炉底板的上方，通过石墨拖杆安装有坩埚，坩埚内盛有硅液。在晶体生长过程中，炉内的温度在1000℃以上，坩埚内部的硅液由于石墨拖杆的不慎倾斜而容易溅落出来；若碰到波纹管，会造成波纹管烫伤而破损，进而导致晶体报废。
技术实现要素：
为了防止溅落出来的高温硅液碰到波纹管内壁，本实用新型的目的在于提供一种具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
本实用新型包括上端法兰、下端法兰、波纹管及石墨拖杆，其中波纹管连接于所述上端法兰与下端法兰之间，所述石墨拖杆由该下端法兰、波纹管及上端法兰穿过；所述波纹管内部与石墨拖杆之间设有防止溅落出来的硅液接触到波纹管内壁的防烫护筒，该防烫护筒分为依次连接的多节，各节之间可相对伸缩，上端第一节与下端第一节分别与所述上端法兰、下端法兰连接；
其中：所述防烫护筒的各节均为环状，所述上端第一节的上端与上端法兰相连，下端沿径向向外延伸、形成环拖钩；所述下端第一节的下端与下端法兰相连，上端沿径向向内延伸、形成环挂钩；所述上端第一节与下端第一节之间的各节，上端均沿径向向内延伸、形成环挂钩，下端均沿径向向外延伸、形成环拖钩；除所述上端第一节及下端第一节外的其他各节，上端的环挂钩与上方相邻节的环拖钩搭接或固接，下端的环拖钩与下方相邻节的环挂钩搭接或固接；
所述防烫护筒的各节，由内至外同轴设置；
所述防烫护筒的各节中，轴向长度最长的节小于晶体生长结束后的所述波纹管的最短长度；
所述上端第一节的上端第一节内径大于石墨拖杆的外径。
所述下端第一节的下端第一节外径小于波纹管的内径；
所述防烫护筒的各节，相邻节中位于上方的外径小于位于下方的内径，即相邻节之间留有间隙。
本实用新型的优点与积极效果为：
1.本实用新型在波纹管内部加装了防烫护筒，确保高温硅液溅落出来不会直接碰到波纹管内壁，而是顺着防烫护筒流到波纹管底部；在流淌过程中，由于温度不断降低，进而保护波纹管不会烫伤泄露。
2.本实用新型的防烫护筒为可伸缩的多节，在随波纹管伸缩的过程中，移动自由，不会碰伤波纹管。
3.本实用新型防烫护筒相邻节之间留有间隙，可防止因高温导致膨胀而相互碰到，进而影响波纹管的使用。
附图说明
图1为本实用新型的内部结构剖视图；
图2为图1中a处的局部放大图；
其中：1为上端法兰，2为下端法兰，3为波纹管，4为炉底板安装槽，5为上端第一节，6为上端第一节内径，7为下端第一节，8为下端第一节外径，9为环拖钩，10为环挂钩，11为石墨拖杆，12为防烫护筒。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详述。
如图1、图2所示，本实用新型包括上端法兰1、下端法兰2、波纹管3及石墨拖杆11，其中波纹管3连接于上端法兰1与下端法兰2之间，石墨拖杆11由该下端法兰2、波纹管3及上端法兰1穿过；上端法兰1上开设有炉底板安装槽4，炉底板安装在该炉底板安装槽4中。
在波纹管3内部与石墨拖杆11之间设有防止溅落出来的硅液接触到波纹管3内壁的防烫护筒12，该防烫护筒12分为依次连接的多节，各节之间可相对伸缩。防烫护筒12的各节均为环状(本实施例为圆环状)，从上至下、由内向外同轴设置；即处于下方的一节位于处于上方的一节的外侧。上端第一节5的上端与上端法兰1的下表面焊接，下端沿径向向外延伸、形成环拖钩9；上端第一节5的上端第一节内径6大于石墨拖杆11的外径，确保上下移动自由。下端第一节7的下端与下端法兰2的上表面焊接，上端沿径向向内延伸、形成环挂钩10；下端第一节7的下端第一节外径8小于波纹管3的内径，确保移动过程中不碰伤波纹管3。上端第一节5与下端第一节7之间的各节，上端均沿径向向内延伸、形成环挂钩10，下端均沿径向向外延伸、形成环拖钩9；除上端第一节5及下端第一节7外的其他各节，上端的环挂钩10与上方相邻节的环拖钩9搭接或固接(本实施例为搭接)，下端的环拖钩9与下方相邻节的环挂钩10搭接或固接(本实施例为搭接)，进而使整个防烫护筒连成一体。防烫护筒12的各节中，轴向长度最长的节小于晶体生长结束后的波纹管3的最短长度。防烫护筒12的各节，相邻节中位于上方的外径小于位于下方的内径，即相邻节之间留有间隙，可以随波纹管3做自由伸缩运动；本实施例的相邻节中，处于上方的一节的外径要比处于下方的一节的内径小1毫米，防止因高温导致内处于上方的一节膨胀而碰到处于下方的一节，影响波纹管3使用。
本实用新型在波纹管3的内部加装防烫护筒12，确保高温硅液溅落出来不会直接碰到波纹管3的内壁，而是顺着防烫护筒12流到波纹管3的底部；在流淌过程中，由于温度不断降低，进而保护波纹管3不会烫伤泄漏。
1.一种具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，包括上端法兰、下端法兰、波纹管及石墨拖杆，其中波纹管连接于所述上端法兰与下端法兰之间，所述石墨拖杆由该下端法兰、波纹管及上端法兰穿过；其特征在于：所述波纹管(3)内部与石墨拖杆(11)之间设有防止溅落出来的硅液接触到波纹管(3)内壁的防烫护筒(12)，该防烫护筒(12)分为依次连接的多节，各节之间可相对伸缩，上端第一节(5)与下端第一节(7)分别与所述上端法兰(1)、下端法兰(2)连接。
2.根据权利要求1所述具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防烫护筒(12)的各节均为环状，所述上端第一节(5)的上端与上端法兰(1)相连，下端沿径向向外延伸、形成环拖钩(9)；所述下端第一节(7)的下端与下端法兰(2)相连，上端沿径向向内延伸、形成环挂钩(10)；所述上端第一节(5)与下端第一节(7)之间的各节，上端均沿径向向内延伸、形成环挂钩(10)，下端均沿径向向外延伸、形成环拖钩(9)；除所述上端第一节(5)及下端第一节(7)外的其他各节，上端的环挂钩(10)与上方相邻节的环拖钩(9)搭接或固接，下端的环拖钩(9)与下方相邻节的环挂钩(10)搭接或固接。
3.根据权利要求1所述具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防烫护筒(12)的各节，由内至外同轴设置。
4.根据权利要求1所述具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防烫护筒(12)的各节中，轴向长度最长的节小于晶体生长结束后的所述波纹管(3)的最短长度。
5.根据权利要求1所述具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述上端第一节(5)的上端第一节内径(6)大于石墨拖杆(11)的外径。
6.根据权利要求1所述具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述下端第一节(7)的下端第一节外径(8)小于波纹管(3)的内径。
7.根据权利要求1所述具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，其特征在于：所述防烫护筒(12)的各节，相邻节中位于上方的外径小于位于下方的内径，即相邻节之间留有间隙。
技术总结